调频连续波激光多路并行相干精密长度测量方法

调频连续波激光多路并行相干精密长度测量方法
胡申博;刘俊辰;余苏;杨承昱;曲兴华;张福民
【期刊名称】《光电工程》
【年(卷),期】2024(51)3
【摘要】面向航空航天等大型复杂机电系统,长度测量的需求从单独的一维位移测量发展到多目标、灵活便于拓展的多路并行测量。

调频连续波激光雷达长度测量技术具备抗干扰、精度高、无合作等优势。

本文基于调频连续波激光雷达技术开展多路并行相干精密长度测量方法研究,针对传统长度测量系统存在光纤色散、辅助路光纤漂移导致长度测量精度降低问题,提出一种含有氰化氢气体吸收池的三光路马赫-曾德尔干涉测量系统,在此基础上,基于光开关结构实现精密长度多路并行测量。

通过精密导轨长度测量实验结果表明,提出的方法在3.6 m长度范围内标准差不超过25μm,实现了四路并行长度测量。

与商用激光干涉仪测量结果比较,多路测量结果的绝对误差不超过30μm。

【总页数】9页(P106-114)
【作者】胡申博;刘俊辰;余苏;杨承昱;曲兴华;张福民
【作者单位】天津大学精密仪器与光电子工程学院;天津大学精密测试技术及仪器全国重点实验室;二重(德阳)重型装备有限公司
【正文语种】中文
【中图分类】TN958.98
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