【CN110455833A】电子显微镜中的EELS检测技术【专利】

(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910366287.2
(22)申请日 2019.04.30
(30)优先权数据
18170373.7 2018.05.02 EP
(71)申请人 FEI 公司
地址 美国俄勒冈州
(72)发明人 B.H.弗雷塔　S.拉扎　S.库雅瓦　
M.奎佩　G.N.A.万维恩　
P.C.缇梅耶　J.麦克马克　
(74)专利代理机构 中国专利代理(香港)有限公
司 72001
代理人 张凌苗　申屠伟进
(51)Int.Cl.
G01N 23/04(2018.01)
H01J 37/26(2006.01)
(54)发明名称
电子显微镜中的EELS检测技术
(57)摘要
电子显微镜中的EELS检测技术。

一种在电子
显微镜中执行电子能量损耗光谱法(EELS)的方
法，其包括：在样本固持器上提供样本；从源产生
电子束；使用照明器来引导所述电子束以照射所
述样本；使用成像系统来接收透射穿过所述样本
的电子通量并将其引导到光谱设备上，所述光谱
设备包括：分散装置，其用于在分散方向上分散
所述通量以形成EELS光谱；检测器，其包括检测
表面，所述检测表面被细分为多个检测区，所述
方法具体包括：使用至少第一检测区、第二检测
区和第三检测区来登记多个EELS光谱实体；在所
述第三检测区正登记所述多个EELS光谱实体之
一的同时，
读出所述第一和所述第二检测区。

权利要求书2页 说明书10页 附图4页CN 110455833 A 2019.11.15
C N 110455833
A
权　利　要　求　书1/2页CN 110455833 A
1.一种在电子显微镜中执行电子能量损耗光谱法(EELS)的方法，其包括：
在样本固持器上提供样本；
从源产生电子束；
使用照明器来引导所述电子束以照射所述样本；
使用成像系统来接收透射穿过所述样本的电子通量并将其引导到光谱设备上，所述光谱设备包括：
分散装置，其用于在分散方向上分散所述通量以形成EELS光谱；
检测器，其包括检测表面，所述检测表面被细分为多个检测区，
特征在于：
使用至少第一检测区、第二检测区和第三检测区来连续地登记多个EELS光谱实体；
在所述第三检测区正记录所述多个EELS光谱实体之一的同时，读出所述第一和所述第二检测区。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个EELS光谱实体包括第一和第二光谱实体，所述第一和第二光谱实体包括在所述样本上的单个位置处截取的单一EELS光谱的不同区域。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，反复在一组在不同的样本位置进行的测量中，所述第一检测区用于登记仅相对明亮的光谱部分，且所述第二检测区和第三检测区用于登记仅相对暗淡的光谱部分。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个EELS光谱实体包括第一和第二光谱实体，所述第一和第二光谱实体包括分别在所述样本上的两个不同位置处截取的来自两个EELS 光谱的对应区域。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个EELS光谱实体包括第一和第二光谱实体，所述第一和第二光谱实体包括在所述样本上的同一位置处截取的EELS光谱的相同区域。

6.根据权利要求5所述的方法，其中将来自所述第一区的第一检测结果和来自所述第二区的第二检测结果相互减去，以便得到差分光谱。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的方法，其中第一偏转装置用于微调平行于所述分散方向的所述EELS光谱的位置。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的方法，其中第二偏转装置用于在大体上垂直于所述分散方向的方向上偏转所述EELS光谱。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，在两个相邻检测区上的登记会话之间，使用所述第二偏转装置的至少一部分来执行以下动作中的至少一个：
将所述EELS光谱偏转到所述检测表面周边以外的位置；
将所述EELS光谱停放在所述相邻区之间的位置处。

10.根据权利要求9的方法，其中，如果到所述周边以外的位置的偏转在从所述第一检测区朝向所述第二检测区延伸的方向上发生，则所述第一检测区被用于登记相对暗淡的光谱部分，且所述第二检测区用于登记相对明亮的光谱部分。

11.根据权利要求1-10中任一项所述的方法，其中所述检测区中的至少一个被进一步划分成两个部分，所述两个部分被配置为被同时读出。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述两个部分之间的差信号被用作度量以确定
2。