蒙特卡罗模拟金刚石薄膜化学气相沉积过程中甲烷浓度的影响

蒙特卡罗模拟金刚石薄膜化学气相沉积过程中甲烷浓度的影响尚勇;董丽芳;马博琴;王志军
【期刊名称】《人工晶体学报》
【年(卷),期】2005(34)2
【摘要】本工作采用蒙特卡罗模拟,研究了以CH4/H2气体混合物作为源料气体的电子辅助热丝化学气相沉积中甲烷浓度对气相沉积过程的影响.计算了典型实验条件下电子能量分布,研究了电子平均能量、碎片H及CH3数目的空间分布、H与CH3的比值及CH3携带的能量随甲烷浓度的变化.结果表明:当电子能量为2-3eV 时,电子的数密度达到一峰值;平均电子能量随着甲烷浓度的增加而增加;电子与气体分子碰撞产生的碎片H、CH3和CH2的数密度随距热丝的距离而变化;随着甲烷浓度的增加,原子氢H的数目缓慢下降,然而,官能团CH3和CH2的数目缓慢上升;H与CH3的数量比随甲烷浓度的增加而减少;碎片CH3携带的能量处于1～
5eV范围之内,且当甲烷浓度为1.3%时,该能量达到一最值.
【总页数】5页(P359-363)
【关键词】蒙特卡罗模拟技术;金刚石薄膜;化学气相沉积过程;甲烷;浓度
【作者】尚勇;董丽芳;马博琴;王志军
【作者单位】河北大学物理科学与技术学院
【正文语种】中文
【中图分类】O484
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