ACOUSTIC WAVE DEVICE AND METHOD FOR FORMING THE SA
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专利名称：ACOUSTIC WAVE DEVICE AND METHOD FOR
FORMING THE SAME
发明人：SUZANNE COMBE,クーム、スザンヌ,KURT
STEINER,スタイナー、カート,ALAN S CHEN,
チェン、アラン エス．,CHARLES E
CARPENTER,カーペンター、チャールズ
イー．,IAN YEE,イー、イアン,JEAN BRIOT,ブリ
オット、ジーン,GEORGE GRAMA,グラマ、
ジョージ
申请号：JP2014042579
申请日：20140305
公开号：JP2014176089A
公开日：
20140922
专利内容由知识产权出版社提供
专利附图：
摘要：PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an acoustic wave device, a formation
method of the acoustic wave device, and a system incorporating the acoustic wave device
therein.SOLUTION: An acoustic wave device 100 includes transducers 108a to 108b disposed on a substrate 104 and may have contacts 120a to 120c connected with the transducers 108a to 108b. The acoustic wave device 100 may further include a wall layer 124 which defines openings 128a to 128b enclosing the transducers 108a to 108b and a cap 140. Vias 136a to 136c may be disposed on the contacts 120a to 120c so as to penetrate through the cap 140 and the wall surface 124. A top metal may be disposed in the vias 136a to 136c. The top metal may form columnar parts 148a to 148c provided at the vias 136a to 136c and pads 152a to 152c provided on the cap 140 above the vias 136a to 136c.
申请人：TRIQUINT SEMICONDUCTOR INC,トライクイント・セミコンダクター・インコーポレイテッド
代理人：森下 賢樹
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