ESD测试项目操作规范

版本：A 文件编号: XA/QWI/7.5.3/14

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1.0目的:规范ESD测试项目正确的测量作业步骤和方法，减少因不同人员测量方法上的差异，而影响实际量

测数值之精确度。

2.0适用范围:适用本公司静电防护区域所有需测试项目。

3.0定义:

3.1 EPA：Electrostatic discharge Protected Area静电防护区域

3.2 表面电阻：在一给定的通电时间之后，施加于材料表面上的标准电极之间的直流电压对于电极之间

的电流的比值，在电极上可能的极化现象忽略不计。

3.3体积电阻：在一给定的通电时间之后，施加于与一块材料的相对两个面上相接触的两个引入电极之间

的直流电压对于该两个电极之间的电流的比值，在该两个电极上可能的极化现象忽略不计。

4.0权责:

4.1 IQC负责静电敏感组件来料包材及自购料辅助材料之入厂检测项目；

4.2行政科负责设备接地主线、静电接地主线、接地桩和防静电地板对地电阻项目测试；

4.3各部门负责静电皮/垫、静电扣、静电环、静电鞋、静电服/帽、流水线体、工作台、料架/周转车、

防静电工作椅、离子风机、静电地板表面、电烙铁、电动起子等项目测试；

4.4各EPA部门主管负责监督本部门人员进入EPA静电环和人体综合电阻测试；

4.5各EPA部门主管负责监控本区域环境温湿度并记录；

4.6各测试项目负责部门保存相关测试记录；

4.7各部门负责本部门ESD测试设备的维护与保养。

5.0内容：

5.1包材/生产周转辅材表面阻抗测试：

5.1.1 IQC负责供应商静电敏感组件来料之内包装材料入厂检测，以及气泡袋、保护膜自购料等包装辅

助材料之入厂检测，测试设备使用重锤测试仪，被测件需放于绝缘台上，绝缘台的表面电阻和体

积电阻均要大于1*1013Ω，其几何周边尺寸均大于被测材料100mm，且两锤之间的间距不小于

300mm，测试方法如下：

1）重锤测试仪测试线如下图方式连接，将两锤分别放置于被测材料表面；

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2）按住红色按钮“TEST”键并保持开始测试，直至上面LED不跳动并读数，LED假如在108下方，则表示被测材料表面电阻为108Ω；

3）防静电包装材料表面阻抗规格具体如下：

ESSD来料包装辅材：＜1*1010Ω，气泡袋：1*104~1*1011Ω；保护膜：＜1*109Ω；泡棉垫＜1*1010Ω,Tray盘:1*104~1*1011Ω

检验员需将测量结果记录于检验报告中。

5.2 静电皮/垫与静电线导通、表面阻抗测试；静电支线（含静电扣）导通测试：

5.2.1各部门负责静电皮之体积电阻和表面阻抗测试，测试设备使用重锤测试仪，测试方法与步骤如下： 1）重锤测试仪测试线如下图方式连接，表面电阻测试如下左图所示将两锤分别放置于被测材料表面，两锤之间的间距不小于300mm；体积电阻测试如下右图所示将一锤放置于被测静电皮上，另

一锤放置于静电地板上，测静电皮体积电阻时工作台本身对地电阻需满足标准要求（工作台对

静电地板电阻测试见5.4），两锤之间的间距不小于500mm；

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2）按住红色按钮“TEST”键并保持开始测试，直至LED不跳动并读数；

3）静电皮/垫之体积电阻和表面阻抗规格为1*104～1*109Ω，测试结束后即将测试值记录于【静电皮阻抗测试记录表】上，并注明测试日期，各部门负责记录之保存。

5.2.2 各部门负责静电支线（静电扣）导通测试，测试设备使用万用表，测试方法与步骤如下：

1）打开万用表开关，将测试档位调整到“200Ω”档；

2）将万用表的测试线一端接触一静电支线，另一测试线端接触另一静电支线金属线部位，读取电阻值。

3）测试完关闭万用表开关。

4）各部门测试人员需将测试数据记录于【静电线阻抗测试记录表】并保存，测试结果如大于4Ω，各部门自行负责进行检修

5.2.3 测量结果记录于检验报告中，测试结果如判定合格，需在被测物上贴上测试合格标签，并注明测

试有效期限，如测试后判定不合格，由各部门负责进行检修或按更换，修理或更换后需经再测试

合格后方可投入使用。

测试静电支线导通测试

万用表两侧头测试置位置

5.3静电服/帽子/手套表面阻抗测试：

5.3.1各部门负责静电服和帽子之表面阻抗测量，测试设备使用重锤测试仪，被测件需放于绝缘台上，

绝缘台的表面电阻和体积电阻均要大于1*1013Ω，要有足够的尺寸，点对点测量至少要测量3个不

同位置的值，且两锤之间的间距不小于300mm，点对点表面阻抗测量是指内表面和外表面之间的

电阻，测试方法与步骤如下：

1）准备工作：被测试静电服/帽子应预先洗净。洗涤后的静电服帽，在60±10℃温度下干燥1h后，

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以模拟穿用状态（正面朝外，扣上纽扣、拉锁），在常温下静置24h 。

2）将两重锤与测试仪用配套之测试线连接后，分别将重锤测试仪两锤放置于静电服内表面和外

表面上（如下图），连接两个电极的轴线应与服装纤维的轴线方向不同。

3）将重锤测试仪测试档打到“100V ” 档位，按住红色按钮“TEST ”键并保持开始测试，直至有

读数显示后方可松开按键并读数。

4）静电服帽表面阻抗电阻规格为1*106

～1*1011

Ω。

5）测试结束后即将测试值记录于【静电服/帽阻抗测试记录表】上，并注明测试日期，各部门负责记录之保存。

重锤测试仪

接缝

电极1

A

B

D

E

电极2

C

测试静电服表面阻抗

重锤测试仪两重锤放置位置