CG6300系列FEB测长仪 日立高新技术公司
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CG6300系列FEB测长仪日立高新技术公司
佚名
【期刊名称】《传感器世界》
【年(卷),期】2015(0)9
【摘要】日立高新技术公司发布了FEB（Field Emission Beam，场发射电子束）测长装置的新产品CG6300。
该机型可满足7nm工艺元件开发和10nm工艺元件量产时的工艺控制需求，预定2015年10月开始销售。
【总页数】2页(P39-40)
【关键词】测长仪;FEB;工艺控制;高新技术;测长装置;电子束;场发射;可满足
【正文语种】中文
【中图分类】TN141.32
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