用LIGA技术制作微马达构件

用LIGA技术制作微马达构件
梁静秋;姚劲松
【期刊名称】《北京同步辐射装置年报》
【年(卷),期】1998(000)001
【摘要】阐述了LIGA技术的组成及特点。

对LIGA工艺掩膜、X射线光刻、电铸及塑铸等进行了朱理分析。

用一次成型法制作了以聚酰亚胺为衬基、以Au为吸收体的X射线光刻掩膜。

简单介绍了这种掩膜的制作工艺过程，并用这种掩膜在北京电子对撞机国家实验室进行了同步辐射X射线光刻，得到了深度为500μm，深宽比达8．3的PMMA材料的微型电磁马达联轴器结构。

给出掩膜和X射线光刻照片。

同时，对Au、Ni等金属材料的厚膜电铸进行了工艺研究。

【总页数】4页(P220-223)
【作者】梁静秋;姚劲松
【作者单位】中国科学院长春光学精密机械研究所，长春130022;中国科学院长春光学精密机械研究所，长春130022
【正文语种】中文
【中图分类】TM38
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