基于MEMS技术的超微压压力传感器研究进展

基于MEMS技术的超微压压力传感器研究进展
薛伟;王权;丁建宁;杨继昌
【期刊名称】《农业机械学报》
【年(卷),期】2006(37)3
【摘要】针对国内外在硅微型压阻式压力传感器上的研究进展和产业化情况,从复合弹性元件的设计、芯片微加工工艺、芯片无应力封装和后期动静态标定等方面指出了其深入研究方向,以及产业化存在的问题和相应的对策.
【总页数】3页(P157-159)
【作者】薛伟;王权;丁建宁;杨继昌
【作者单位】温州大学工业工程学院,323035,温州市;江苏大学机械工程学
院,212013,镇江市;江苏大学机械工程学院,212013,镇江市;江苏大学机械工程学院,212013,镇江市
【正文语种】中文
【中图分类】TP212
【相关文献】
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