离子束,电子束光刻等离子体源
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离子束,电子束光刻等离子体源
卫冰
【期刊名称】《等离子体应用技术快报》
【年(卷),期】1999(000)006
【总页数】3页(P12-14)
【作者】卫冰
【作者单位】无
【正文语种】中文
【中图分类】O531
【相关文献】
1.离子束应用的紧凑ECR等离子体源 [J], 马丁
2.可引出正,负离子束的等离子体源 [J], 普丁
3.等离子体源离子注入：一种用离子束进行材料改性的新方法 [J], Conr.,JR;陈英方
4.二氧化碳基聚碳酸环己撑酯电子束光刻胶显影工艺优化 [J], 陆新宇;马彬泽;罗皓;齐欢;李强;伍广朋
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