【CN109897377A】一种柔性基材及其制作方法【专利】

(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910211881.4
(22)申请日 2019.03.19
(71)申请人 绵阳京东方光电科技有限公司
地址 621050 四川省绵阳市高新西区科发
大道中段198号
申请人 京东方科技集团股份有限公司
(72)发明人 韦新颖　楚俊波　李仁佑　
(74)专利代理机构 北京中博世达专利商标代理
有限公司 11274
代理人 申健
(51)Int.Cl.
C08L 79/08(2006.01)
C08K 3/26(2006.01)
C08K 3/22(2006.01)
C08J 5/18(2006.01)
(54)发明名称
一种柔性基材及其制作方法
(57)摘要
本发明实施例提供一种柔性基材及其制作
方法，涉及柔性电子器件制作领域，能够解决现
有柔性基材制作工艺复杂、制作成本较高且产品
良率较低的问题。

所述制作方法包括：在支撑物
上涂布聚酰胺酸溶液，并采用第一烘烤工艺烘烤
聚酰胺酸溶液以形成聚酰胺酸薄膜；在聚酰胺酸
薄膜上涂布氧化物溶胶，并采用第二烘烤工艺烘
烤氧化物溶胶以形成氧化物凝胶薄膜；采用第三
烘烤工艺烘烤聚酰胺酸薄膜和氧化物凝胶薄膜，
以形成聚酰亚胺/氧化物膜层，并将一组或叠层
设置的多组聚酰亚胺/氧化物膜层作为柔性基
材。

本发明用于制作柔性基材。

权利要求书2页 说明书5页 附图3页CN 109897377 A 2019.06.18
C N 109897377
A
权　利　要　求　书1/2页CN 109897377 A
1.一种柔性基材的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：
在支撑物上涂布聚酰胺酸溶液，并采用第一烘烤工艺烘烤所述聚酰胺酸溶液以形成聚酰胺酸薄膜；
在所述聚酰胺酸薄膜上涂布氧化物溶胶，并采用第二烘烤工艺烘烤所述氧化物溶胶以形成氧化物凝胶薄膜；
采用第三烘烤工艺烘烤所述聚酰胺酸薄膜和所述氧化物凝胶薄膜，以形成聚酰亚胺/氧化物膜层，并将一组或叠层设置的多组所述聚酰亚胺/氧化物膜层作为所述柔性基材。

2.根据权利要求1所述的柔性基材的制作方法，其特征在于，在所述采用第二烘烤工艺烘烤所述氧化物溶胶以形成氧化物凝胶薄膜之后，所述制作方法还包括：在所述氧化物凝胶薄膜上涂布聚酰胺酸溶液，并采用所述第一烘烤工艺烘烤所述聚酰胺酸溶液以形成聚酰胺酸薄膜；
所述采用第三烘烤工艺烘烤所述聚酰胺酸薄膜和所述氧化物凝胶薄膜，以形成聚酰亚胺/氧化物膜层，并将一组或叠层设置的多组所述聚酰亚胺/氧化物膜层作为所述柔性基材具体包括：
采用第三烘烤工艺烘烤所述聚酰胺酸薄膜和所述氧化物凝胶薄膜，以形成聚酰亚胺/氧化物/聚酰亚胺膜层，并将一组或叠层设置的多组所述聚酰亚胺/氧化物/聚酰亚胺膜层作为所述柔性基材。

3.根据权利要求1所述的柔性基材的制作方法，其特征在于，所述采用第三烘烤工艺烘烤所述聚酰胺酸薄膜和所述氧化物凝胶薄膜，以形成聚酰亚胺/氧化物膜层，并将一组或叠层设置的多组所述聚酰亚胺/氧化物膜层作为所述柔性基材具体包括：
采用第三烘烤工艺烘烤所述聚酰胺酸薄膜和所述氧化物凝胶薄膜，以形成聚酰亚胺/氧化物膜层；
在所述聚酰亚胺/氧化物膜层上涂布聚酰胺酸溶液，并采用所述第一烘烤工艺烘烤所述聚酰胺酸溶液以形成聚酰胺酸薄膜；
采用第三烘烤工艺烘烤所述聚酰胺酸薄膜，以形成聚酰亚胺/氧化物/聚酰亚胺膜层，并将一组或叠层设置的多组所述聚酰亚胺/氧化物/聚酰亚胺膜层作为所述柔性基材。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的柔性基材的制作方法，其特征在于，所述第一烘烤工艺包括：
在200℃以下的氮气或惰性气体环境中挥发所述聚酰胺酸溶液中50％以上的溶剂。

5.根据权利要求1所述的柔性基材的制作方法，其特征在于，所述第二烘烤工艺包括：
在200℃以下的氮气或惰性气体环境中以1℃/min～5℃/min的升温速率分阶段升温来挥发所述氧化物溶胶中的溶剂。

6.根据权利要求1至3中任意一项所述的柔性基材的制作方法，其特征在于，所述第三烘烤工艺包括：
在氮气或惰性气体环境中以3℃/min～10℃/min的升温速率分阶段升温至预设温度，并在所述预设温度上持续预设时长；其中，所述预设温度大于或等于300℃。

7.根据权利要求1所述的柔性基材的制作方法，其特征在于，所述氧化物为SiO2、Al2O3、MgO2、ZnO、ZrO2中的任意一种或任意几种的混合物。

8.根据权利要求1所述的柔性基材的制作方法，其特征在于，所述支撑物为玻璃基板或
2。