新的3D缺陷检测技术实现纳米级快速检测

新的3D缺陷检测技术实现纳米级快速检测
李莉萍
【期刊名称】《计测技术》
【年(卷),期】2013(33)4
【摘要】设备制造技术所涉及的器件规模越来越小，有的不过就22nm，可复杂程度却越来越高，因此，缺陷对于器件性能的不利影响也越来越大，而缺陷检测也越来越难。

美国国家标准技术研究院（NIST）下属的物理测量实验室（PML）已经找到一种能够快速且无损地生成3D图像的技术，从而实现了纳米级缺陷的快速检测。

【总页数】1页(P36-36)
【关键词】缺陷检测;快速检测;检测技术;3D图像;纳米级;标准技术研究院;设备制造技术;器件性能
【作者】李莉萍
【作者单位】
【正文语种】中文
【中图分类】TN407
【相关文献】
1.我国食品检验检测新体系建设正式启动/食品添加剂行业标准将有重大调整/新型食品安全检测装置问世/大米新陈快速检测试剂在无锡问世/快速粮食成分光电分析仪研制成功/台式小型面包成形机新设备/国内首个蒸谷米加工企业正式投产/肉类
制品质量快速检测器 [J],
2.超声波探伤视频检测及系统实现——计算机视觉技术在焊缝缺陷检测中的应用(3) [J], 杨燕萍;杨清平;金顺敬;汤一平
3.7CDMA解相关多用户检测的快速处理方法摘要]针对CDMA多用户检测的解相关方法运算过程的复杂度较高、异步情况下难以实现等问题进行了研究,提出了一
种解相关多用户检测的快速处理方法,从而便于实现及快速软件处理.仿真结果表明,该方法使运算复杂度大大降低,同时又使误码率较传统 [J], 胡艳军;朱近康
4.新冠病毒抗体检测试剂盒实现15分钟快速检测 [J],
5.硅基材料纳米级体缺陷检测技术的研究 [J], 陈军;尤政;周兆英
因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买。