洁净厂房二次配管实施要领-胡云云

洁净厂房二次配管
实施要领
胡云云2011年01月
前言
做好二次配管要协调掌握好多方面的要领，来自于技术、生产、品控、洁净、安全、文控等各个方面，本文就前三个要领与大家一起探讨。

针对大规模洁净厂房二次配管的实施，从我在合肥京东方六代线二次配项目中得到的体会来看，就技术、生产、品控这三者的关系而言，一定要坚定不移的贯彻这样一个思路：
技术指导生产，品控强化生产
内容提要
一、技术要领
（一）对工艺及工艺设备的理解
（二）对重要工序的指导
（三）对作业空间的规划
二、生产要领
（一）行之有效的生产制度
（二）符合要求的生产计划
（三）快速反应的生产体系
三、品控要领
（一）树立品控思想
（二）严格品控过程
（三）保证品控结果
一、技术要领
（一）对工艺及工艺设备的理解
理由：1、二次配接触的都是工艺设备；
2、二次配的顺序往往跟着工艺走。

作为管理者，应对二次配项目有全盘的理解，以便在技术指导、生产安排、品控重点三个方面上做出部署。

以合肥京东方六代线为例进行说明。

合肥京东方六代线项目背景：工作量大、工期紧，业主需要在二十天内做出CF 的两条产线以供试产，分别是BML 、
RED 这两条产线。

首先对Color Filter 厂房内的工艺及设备情况进行分析.
1、对工艺的理解
其中BML 为直线型布置，RED 为回转型布置。

1、对工艺的理解
六代线的Color Filter洁净室面积约为23000m2，根据其功能可大致分为五个部分，见下表：
主要区域占地面积（m2）设备台数（台）主要作用
Photo Area15000235光刻（涂胶、曝光、显影等）Sputter Area250030溅射
Repair Area230048维修
Stocker Area10004运输通道
Others Area220035其他辅助功能
Sub-total23000352
从表中可以看出，Photo Area和Sputter Area占去了洁净室大部分面积，这就是六代线Color Filter厂房的两大核心工艺¡¡Photo（光刻）和Sputter（溅射）。

1、对工艺的理解
要清楚两个工艺流程：
从大方向上来看，CF工艺流程为：
玻璃基板→BM →RGB →ITO →PS →CF玻璃→CELL工艺
而BM、RGB、PS 的工艺流程如下：
Loader → Cleaner → Distribution Conveyor → Coater→Prebake →
Chromaticity Measurement C/V → Exposure Conveyor → Exposure→
Overhead Conveyor → Developer→ Buffer → All Sheet Inspection →
Inspection Distribution C/V → Review → Visual Inspection → Post Bake → Unloader
同时把握住关键设备。

这些设备往往调试时间最长、调试难度最大，因此要尽量做到提前提供条件。

像上面这个工艺过程比较清晰，主要是围绕着涂胶Coater、曝光Exposure、显影Developer三大核心步骤进行。

1、对工艺的理解
Coater
（TOK）
Exposure
（NSK）
Developer
（Shibaura ）
*TFT-LCD 工艺流程（BOE G6）
沉积PECVD/SPUTTER →Cleaner → PR 涂附Coater → Exposure →Developer → 刻蚀Wet Etch/Dry Etch → PR 剥离→检查
BM （Coater+Exposure+Developer ）→RGB
（Coater+Exposure+Developer ）→ ITO Sputter → PS （Coater+Exposure+Developer ）→检查
TFT 玻璃
CF 玻璃
玻璃基板
（1500mm*1800mm ）
玻璃基板
（1500mm*1800mm ）
CF 玻璃→清洗→PI 取向膜涂布→取向→液晶滴注TFT 玻璃→清洗→PI 取向膜涂布→取向→涂封框胶真空贴盒→切割→检查
Array 工艺流程
Color Filter 工艺流程
Cell 工艺流程
Cell 玻璃
（32¡Pannle ）(710mm*400mm)
模组成品
偏光片、PCB 板、驱动IC 、B/L Unit 、金属边框、光学膜、灯管、导光板
TFT 玻璃
CF 玻璃
在TFT 厂房里，很多设备不是独立存在，还涉及到很多关联设备，比如需要进行抽真空的工艺设备，像PECVD
、Sputter 、Dry Etch 、Coater ，它们可能的关联设备会有Vacuum Pump 、Scrubber 等。

其中PECVD 和Dry Etch 两种设备抽出的气体含有部分危险气体，通常需要经过Scrubber 燃烧处理后再接入排风管道，其真空排气连接管路的流程可简单表示为：Main Equipment →Vaccum Pump →Local Scrubber →Exhaust Air Duct 。

而Sputter 和Coater 在真空泵出口后可直接接入相应的排风系统，其真空排气连接管路的流程可表示为：Main Equipment →Vaccum Pump →Exhaust Air Duct 。

流程可形象的描述为：
2、对工艺设备的理解
主要的真空排气管路分为两部分：
一部分是真空管路，即机台Hook up 至Pump Inlet ；一部分是排气管路，即
Pump
Outlet 至Local Scrubber 、Local Scrubber 至Exhaust Air Duct 。

2、对工艺设备的理解
2、对工艺设备的理解
在进行真空排气管道施工时，需提前针对每台设备进行管路设计。

管路设计及管路施工需注意以下几个重点：
1）保证抽真空的速率：
a.真空管路管径一般需大于PUMP抽气口径的1.25-2倍，即进行扩管。

举例如下（见
下页列表）：
b.管路尽量直，减少弯头，即施工时90°及45°弯头数量不得超过预估数量，若需现
场实际施工状况因素，则需与设备工程师进行讨论，经工程師同意下才能超过预估弯头数量。

2、对工艺设备的理解
Work Scope Process Chamber Load Lock X-fer(TC)
EQ Vendor
AKT/JEL
Project
Vaccum Pump
Vendor
2）避震设计：需避免PUMP 抽气时震动造成管路漏气，一般需在机台及PUMP
端加装波纹软管或
PU 护套等。

3）测漏设计：机台端及PUMP 端须预留NW25测漏口，以方便将来加装Leak Check Valve 。

4）拆装设计：为使管路拆卸方便，须于适当长度管路设计加装Flange 。

一般来说，真空管每段不得超过2.5m ，排气管路每段不得超过1.5m （如图）
5）管路接口密封要好，尤其是针对一些有腐蚀性的气体管路，应着重注意垫片的材料质量及施工质量。

2、对工艺设备的理解
6）了解需求表（以某CVD为例）2、对工艺设备的理解
Proc ess 机台
型号
Cham
ber
CHAMBER 数
量
tact time or
Gas
Flow&Pressure
Chamb
er
Volume
vacuum
line size
使用
gas/chemic
al
预估
Pumping
speed
(L/min)
CVD AKT
55K
X
L/L1
<20sec,ATM to
0.3 Torr
(include Slow
pump 5sec
-->500torr)
1100L6"N2/He200000 T/C1
25 slm @ 1
torr
26000L4"N230000 P/C5
130 slm@ 0.7
Torr
2500L12"
N2/SiH4/NH
3/PH3/H2/N
F3/Ar/N2O
70000
2、对工艺设备的理解
7）画出连接管路原理图
实施一个大规模厂房的二次配管项目，在施工开始之初，应编制《施工要领书》，部分工序指导到工人。

以焊接管道为例，应至少涵盖以下内容：
（二）对重点工序的指导
对于重点工序的指导，核心在于：流程标准化。

举例：不锈钢管的切割1）切割流程：
2）切割机具：
✓小口径管道（6.35mm~12.7mm ）：不锈钢割刀
大口径管道（大于12.7mm ）：GF 锯。

✓切割好的管子应放置于搁架上；
✓切管时若刀片不利应立即更换以免损坏管子。

（二）对重点工序的指导
固定管道
充气保护
实施切割
切割划线
切割检查端面处理管口封堵
根据需要选择管段
举例：不锈钢管的焊接
1
）焊接流程：
2）焊接机具：
✓自动焊：ARC MACHINES INC 207A 等。

手工焊：手工氩弧焊机。

（二）对重点工序的指导
点固焊口
3M 胶带密
封进行充气
焊口组对
拆除3M 胶
带
实施焊接
外表面处理
两端封堵，保持正压
固定管道
在了解整个区域的二次配管主线后，应分区域进行局部空间规划，从而
做到整厂的空间规划。

同时应以工艺设备为单位，针对每台工艺设备，画出单台设备的二次配
管轴测图。

（有的设备需画多张轴测图，有的小设备可以多个合在一起画）
一、技术要领
（三）对作业空间的规划
二、生产要领
1、作业确认表格化管理
制订成套的生产使用表格。

✓材料整理单、阀门状态改变确认单、送电确认单、停电确
认单、二次配验收报告等。

每一个重要步骤都必须书面签字确认。

✓
作业面的接收确认；✓
原有管道阀门、电气开关等物件的状态改变确认；✓工艺设备试运行前的各环节确认；
✓单台设备的验收确认；
每天检查执行情况。

（一）行之有效的生产制度
（一）行之有效的生产制度
2、生产进度动态化管理
以产线、设备为单位，进行动态管理，便于实时了解进度情况。

✓一般来说工艺设备的动力需求有若干种，遇到紧急设备往往需要先提供配电及压缩空气。

✓生产过程中，多台设备多个点同时进行，容易产生混乱。

✓管道二次配实时状态表-B3100520.xls
（二）左右兼顾的生产计划
1、计划的制订
✓多个计划的配合：进度计划、人员计划、材料计划。

✓既要满足来自业主的进度需求，又要符合项目部及公司的资源情况。

比如：根据要求，4000个点需要在40天内完成，则每天需要完成100个点，从人员需求上至少要50组（每组2人）。

✓二次配的时间往往很紧，前期分析要准确。

2、计划的调整
✓前松后紧。

平均每天完成100个点，但最好前期每天完成120个点，后期进行调整。

✓设备需求变化带来的调整。

3、计划的完成
✓机台完成后，应组织业主进行单台设备验收后签字确认.
✓确认后体现在动态管理表里。

二次配的几个特点：
✓不确定性因素多：设备位置变化、设备接口变化、施工时间改变等；✓
工作开展紧急：随时可能抢工；
✓接口型式繁杂：设备来自于多个国家，标准不一；
¡¡
建立快速反应体系。

满足调试需求，必要时24小时施工。

（三）快速反应的生产体系
三、品控要领
二次配管的品控思想：品质第一。

二次配工作是连接工艺设备的最后一道工程工序，施工品质将直接影响到
产品的成品率。

（一）树立品控思想
过程控制是二次配管品控的重中之重。

二次配管中，过程控制包括：材料控制、机具控制、人员控制、作业环境控制、
气源控制、切割控制、焊接控制等等。

以人员控制、焊接控制、气源控制为例。

（二）严格品控过程
1、人员控制
必须建立严格的培训和考核制度！
所有参与二次配管施工的人员必须经过培训。

对焊工及管工进行考核，考核合格后发上岗证，专人专号，严禁无证操作。

（二）严格品控过程
11单元
12单元13单元1
4单元焊工编号
焊接类型
公司简称项目简称
焊接类型手工焊自动焊代号S Z 如：CESEⅡ-BOEB3-Z01
2、焊接控制
所有焊工必须是经过项目考核通过并发证的人员。

焊接完成后应及时进行外表面处理。

焊接控制的两个重点：（
1）试焊
A. 自动焊：每天正式焊接前，必须进行试焊！经检验合格后方可正式施焊。

试片需写上日期、系统、焊工证号，同时将焊接数据填写在焊接纪录表上。

发生下列情况之一时需重新做试片: 改变管材的炉号、改变管材的尺寸、焊接机台断电的时候、焊把更换、焊接途中焊接机数据的更改、钨棒的更换、焊接的吹扫气中断等。

B. 手工焊：重点是考核及焊口责任制。

（二）严格品控过程
（2）焊口责任制
焊口责任制要做到焊接记录表、管段图、现场焊口三者统一。

要能体现出任何一
个管段或管件的管径、长度、编号，任何一个焊口的焊口编号、焊接人员、焊接方式、焊接日期、焊接状况等。

（二）严格品控过程
XXX PROJECT WELD RECORDING
DATE WELDER I.D. #WELD #TUBE
SIZE
TUBE CLASS WELD
TYPE WELD
MACHINE
WELD A/R LOCATION SYSTEM TOTAL WELDS REJECT 090309a
m CESEⅡ-
BOEB3
-Z04CI 1/2"EP T/T ARC207A FAB G4---H4, E6-F6O28CO T/T ARC207A
3、气源控制
焊接气：采用氩气，纯度不低于
99.999%
保护气：采用液氩或氩气（纯度不低于99.999%）
如果气站提供的气体一般不合格，应在气源处加
装纯化器和过滤器。

保护气供给系统图
（二）严格品控过程
为更好的保证品控结果，实行定期检查和抽查制度。

定期检查应在前期确定好检查时间，坚定不移的执行下去，由品控负责
人牵头，技术经理、各专业负责人等参加。

如合肥京东方六代线项目定于每周二、六16:00pm 进行一周两次的定期检查。

（三）保证品控结果
抽查之五项测试：
（三）保证品控结果✓
第三方测试
✓专业的测试仪器
✓
完整的测试记录
压力测试氦测漏（如需要）
微粒子测试
水含量测试氧含量测试
结语
二次配实施的时间段仍属厂房建设期，但已处于向运行期过渡的阶段，期间打交道的人会很多，比如BOE G6项目，动力技术部、制造部、生产技术部、设备供应商都是我们每天必须频繁接触的人。

如果项目部没有一个好的思路、一种清晰的做事方式，很容易陷入被动，而二次配施工往往没有挽回的时间。

如果掌握了技术、生产、品控这三部分要领，相信二次配的实施已成功了一半。

THANK YOU!
洁净厂房二次配管实施要领。