MSDS培训特气部分

惰性 N2O、H2、O2、Ar 、He 、CF4、Kr、NE、XE、H2N2、SF6
惰性气体
惰性气体如在空气中的含量过高，会置换出空气中的氧气而引起窒息，暴露在氧气含量<19.5%的大 气中会导致头晕，昏迷，口水增多，反应迟钝，反胃，呕吐，失去意识和死亡。暴露在氧气含量 <12%的大气中会无任何先兆的失去知觉，并失去自我救护的能力。当气瓶处于高温或有火的环境中 时，气瓶内的压力会上升此时会通过泄压装置迅速排放，如泄压装置失灵会引起钢瓶剧烈爆炸。
磷酸
英文名：PHOSPHORIC ACID 分子式：H3PO4 分子量：98.0 性状：无色透明柱状结晶或无色无臭的粘稠液体吸湿性强。 理化常数：
相对密度：1.834（18℃） 熔点：41.5℃ 蒸气压：3.8Pa（20℃） 相对密度：1.685（25℃） 凝固点：21.1℃ 沸点：158℃ 粘度：47.0C.P溶于水、醇和醚
O2
性状：无色无味的气体。氧是不可燃但助燃的物质。它是氧化性气体并可以急剧加速燃烧。氧气一 定要远离油和油脂。
危险性：氧能剧烈的加速燃烧。有些物质在空气中不会燃烧，但在含有超过23％的氧的空气中就会 燃烧。防火服在氧气含量过高的空气中也会燃烧，起不到任何保护作用。当氧气接触易燃物、油、 油脂或其它碳氢化合物时会形成爆炸物质。当钢瓶暴露在高温或有火的环境中时由于热量的作用， 钢瓶中的压力会升高，造成迅速排空或爆炸。多数钢瓶设有温度上升时的泄压装置。由于温度升高 钢瓶内的压力迅速增大，如果泄压装置失灵会引起钢瓶爆炸。
MSDS 培训 ——特种气体部分
设备运行部：陈波
FAB区域各设备所需气体 CVD: SiH4、NH3、NF3、N2O、O2、He、Ar、H2 RIE: SF6、CL2、O2、Ar、CF4 ELA: NE、HCL、XE、O2 蒸度: H2N2、O2、Ar Dry Remove : H2、O2、Ar 、He 、CF4 ALMOAL : Kr、Ar CDE : O2、He 、CF4 ION doping : Ar SPC : Ar ITO : Ar 、O2 IP：B2H6
Silane Trichlorosilane(TCS) Tungsten Hexafluoride
Xxnon
分子式
中文名称
钢瓶压力 钢瓶接口 瓶内
(psig)@70 ℉
CGA/DISS
状态
毒 腐 燃 双层管
HF3
氟化氢
1450 670/640 气 毒 腐 否 否
NH3
氨气
114.1 660/720 液 毒 腐 燃 否
CL2
性状：黄绿色有刺激性气体。液化后为黄绿色透明液体。有剧毒，空气中最大容许浓度为1ppm。易 溶于水和碱溶液。常温时加压到6-8大气压或在大气压下冷至-35℃～40℃可液化。
危险性：在日光下与易燃气体混合时会发生燃烧爆炸。气体外泄时会使人畜中毒，甚至死亡。对支 气管及肺脏有刺激作用，并导致支气管炎、肺气肿、肺炎等严重疾病。受高热时瓶内压力增大，危 险性增加，本身虽不燃，但有助燃性。
毒性：不管是在气体状态还是在水溶液状态，都象碱那样起作用。根据浓度的不同，其作用也就不同。 其刺激缓慢，到对于鼻、喉、肺、眼的敏感的覆膜产生强烈的刺激。在氨蒸气浓度超过700ppm以上的浓 度中受害半小时以上，则眼睛就要引起不治的伤害。如吸入6000～10000ppm的氨污染空气，就会产生急 剧的痉孪及喉头炎症等暴卒死去。如泄漏到大气中，即使浓度相当低，也能够通过刺鼻的臭气来检测。 由于氨蒸气对水的溶解度很高，所以要刺激湿的皮肤表面。
SIF4 0 1 1 2 3 3 3 1 1 1 0 0 2 0 3 3
SIH4 2 0 3 3 0 0 0 0 1 2 3 3 2 3 0 0 3 SICL4 0 1 2 3 3 1 3 1 0 2 2 2 2 2 1 0 3 3
WF6 0 2 0 0 3 3 3 2 0 0 0 0 3 0 3 3 0
HCL 性状: 是腐蚀性气体,易溶解于水、乙醇、乙醚，能和多数金属反应，生成氯化物和氢气，与氟起激 烈反应。空气中容许浓度为5ppm。
毒性：如吸入就要刺激眼、气管、喉、鼻的粘膜并咳嗽。在35ppm中被侵害不久，就刺激喉咙；到了 50～100ppm浓度时，还能忍耐1小时；在350ppm浓度时，浸害10分钟，喉及胸就疼痛，同时呼吸困难； 在此以上浓度时，就要肺气肿，常常产生喉头痉缩。在1000～2000ppm浓度时，就有生命危险。盐酸 雾的有毒作用比氯化氢少，这是因为它不象氯化氢那样有加水分解作用。作为紧急处理，轻度的情 况下为气管发炎程度，一般要进行吸氧。急性中毒时，要将昏倒的患者移到空气新鲜并且暖和的地 方。停止呼吸时，要进行人工呼吸，并火速去叫医生。患者要放在舒适暖和的环境，但不要过热。 在适当进行吸氧时，不必要注射刺激剂。
常用气体特性表
英文名称
Hydrogen Fluorine Ammonia
Nitric Oxide Oxygen Ozone
Phosphine Phosphorus Oxychloride
Sulfur Hexafluoride Silicon Terachloride Silicon Tetrafluorids Dichlorosillane(DCS)
危险性：燃烧时发出肉眼难见的淡蓝色火焰，氢气极仪易点燃，即使是静电火花也会产生燃烧爆炸。曝 露于高热或火焰时，钢瓶内压力会上升，大部分的钢瓶皆被设计可由钢瓶阀的破裂片释放高压气体。如 果破裂片失效，可能导致爆炸。。
毒性、腐蚀性 CL2 、 HCL、 NH3、NF3 、10%B2H6 、 20%PH3/H2
毒性：急性中毒表现为中枢神经受害，引起厉害的痉挛，并伴有呼吸困难、血压下降、呕吐、腹泻、 衰弱和发抖。很多场合与食物中毒症兆相似，常常诊断错误。慢性中毒时，将产生抗胆硷脂酶那样 的中枢神经系统反应，并伴有牙痛、下巴浮肿及下颚坏等。征兆有：胸部郁闷、头痛、眼花（发 晕）、食欲不振，容易自然骨折、体重减轻、不安以及疲劳、贫血、干渴。在空气中最大允许浓度 为0.3ppm。
10%B2H6
性状：无色易燃剧毒气体，有不适的气味，易水解，能溶于二硫化碳。空气中最大容许浓度为 0.1ppm。
毒性：遇火种极易燃烧。受热和遇碱均分解产生硼和氢。一吸入硼烷，肺部就要受到侵害，肾脏、 肝脏就会患病。如接触到皮肤，就会引起皮肤炎。慢性中毒的症状是：如受到硼烷的侵害，一时会 出现浑身发冷、咳嗽、胸部压迫等症状。
危险性：受到猛烈撞击使钢瓶受到损伤时，气体外逸会危及人畜健康与生命。遇水则变为腐蚀性氨水， 受热后瓶内压力增大。空气中氨蒸气浓度达15.7～27.4%时，遇火星会引起燃烧爆炸。有油类存在时，更 增加燃烧危险。
20%PH3/H2
性状：无色气体，剧毒。空气中含有0.01毫克/升时，吸入即中毒。能溶于乙醇、乙醚，微溶于冷水， 不溶于热水。极易燃烧。是一种较强的还原剂。平时制得的PH3中因含有少数的二磷化四氢，在空气 中能自燃。
灭火时切忌用水及泡沫
NF3
性状：无色，无嗅有毒腐蚀气体，有时浓度很低的不纯气体会有刺鼻的霉味。 毒性：急性暴露会降低血液的携氧能力。短期急性暴露在NF3中会使血红素转变为高铁血红蛋白，从
而使血红细胞不能运输氧气并导致青紫。当短期暴露结束后，这个反应会向相反方向进行，生成血 红素。暴露在高浓度的NF3中会破坏血红细胞(溶血症)。由于血液中的氧气减少会引起虚弱、眩晕和 混乱。 危险性：该气体会加强其它物质的燃烧。在火焰或热量的作用下，钢瓶会剧烈排空或爆炸。
3 :Expiosion possible
HF 2 1 0 0 2 0 1 2 0
N2O 1 3 2 2 3 2 0 2 1 1
NF3 0 2 1 2 3 2 1 2 1 0 1
NH3 2 0 3 3 1 0 1 1 2 2 2 2
O2 1 3 0 1 3 3 0 2 0 0 0 0 3
PH3 2 0 3 3 0 0 0 0 2 2 3 3 1 3 SI2H6 2 0 3 3 0 0 0 0 1 2 3 3 2 3 0
3
2
SI2H
BCL3 CH4 CL2 F2 GeH4 H2 H2O H2S HCL HF N2O NF3 NH3 O2 PH3 6 SIF4 SIH4 SICL4
气体泄漏的处理
自我保护
一、如闻到异味，尽量不要长时间待在该区域，请立即通知你的主管或安全员查证解决。 二、如遇泄露报警，请尽快撤离该区域。 三、如果吸入，应将吸入者转移到空气新鲜的地方；如果呼吸刺激持续，应就医。如果皮肤接触到
气 否否否 否 气 毒否否 否 液 毒否燃 需 液 毒腐否 否 液 否否否 否 液 毒腐否 否 气 毒否否 否 液 毒腐燃 否
SIH4
SIHCL3
WF6 Xe
四氢化硅(硅烷) 三氯氢硅 六氟化钨 氙气
1000 -4.7 2.4 970
350/632 气 毒 否 燃 需 678/636 液 毒 腐 燃 否 670/638 液 毒 腐 否 否 580/718 气 否 否 否 否
危险性：能自燃，受高热分解放出有毒的PO4气体。遇氧化剂发生强烈反应。遇火种立即燃烧爆炸。 灭火时应戴防毒面具
H2 性状：无色无味的压缩气体。 毒性：无毒；只造成窒息、人体会因急速缺氧造成受伤甚至死亡。
应该注意超过其空气中爆炸下限（既浓度超过４％），会造成缺氧及爆炸性的危害。中等浓度吸入造成 晕眩、头痛、反胃、呕吐、意识不清。
产物，sio2会对眼睛，呼吸道及皮肤产生刺激，仍要避免不必要的接触 钢瓶储存温度不可高于125℉(52℃)、热源、明火和火花。可能与空气和氧化剂形成爆炸性混合物。
NH3
性状：无色，有刺激性恶臭的气体。在适当压力下可液化成液氨，同时放出大量热。当压力减低时，则 气化而逸出，同时吸收周围大量热。有毒，空气中最大允许浓度为50ppm。本品易溶于水、乙醇和乙醚， 水溶液呈碱性。
易燃、易爆 SiH4、NH3 、H2 、 20%PH3/H2 、10%B2H6
SIH4 性状：SIH4为无色有窒息性味道的高压气体，其在空气中的比重为1.2（air=1）。有自燃的特性， 其爆炸的范围为1.4%~96%。时量平均容许浓度（TWA）：5PPM
毒性：硅烷的毒性为急性、局部性。 危险性：在空气中会自燃，爆炸，无需引火点。SIH4若发生泄漏，则可能燃烧或爆炸，其燃烧的副
NO
一氧化碳
2000 660/728 气 毒 否 否 需
O2 O3 PH3 POCL3 SF6 SICL4 SIF4 SIH2CL2
氧气 臭氧 磷化氢(磷烷) 氯氧化磷 六氟化硫 四氯化硅 四氟化硅 二氯二氢硅
2600 -
593 -14.19
320 -11 1000 9.1
540/714 -/-
350/632 N/A/N/A 590/716 N/A/636 330/642 678/636
HNO3/C2H4O2/H3PO4 1% HF 清洗剂 Thinner 去静电液 TEOS IPA 丙酮(ACETONE) 无水乙醇
化学品性质简介
一． 按类型分类 酸性 碱性 有机
二． 按有害性分类 腐蚀性 易燃易爆性 毒性等
三． 相关性 腐蚀性——酸碱性 反应性——氧化还原性 易燃易爆性——闪点、自然温度、爆炸极限等
（液态），立即用大量水冲洗皮肤15分钟，就医。如果进入眼睛，立即用大量水冲洗15分钟，立即 就医。
安全措施 1.气体侦测系统 2.VMB抽空 3.气柜过流保护 4.排风
MSDS培训 ——化学品部分
FAB区域各设备所需化学品
HMDS 0.5%显影液 光刻胶 隔离柱用 光刻胶 TMAH (2.38%) N342 BHF306 ITO-刻蚀液
气体反应表
CH4 2
CL2 0 3
F2
2
GeH4 2
32 023
0 ：No Reaction
H2 1 0 3 3 0
1 :Reaction Possible
H2O 2 0 1 2 0 0
2 :Strong Reaction possible
H2S 2 0 2 2 0 0 0 HCL 0 0 0 2 0 0 1 0