E4991A测试步骤

L、C、R器件测试步骤
1.打开E4991A阻抗分析仪电源。

2.将仪器初始化：按[Preset]键
3.选择扫描参数：本实验使用频率扫描（无扫描参数可跳过）
a.按[Sweep]键进入扫描目录。

b.该目录下，设置扫描点数，平均点数，扫描参数和扫描类型
4.设置扫描范围:100MHz-1G
a.按[start]键→ [1][0][0][M/µ]
b.当前菜单下，单击向下箭头[↓]，激活stop菜单
c.→ [1[G/n]
d.可通过屏幕下方的频率显示范围，检测频率设置是否成功。

5.设置激励信号的大小：
a.按[source]键→ [↓] →点击下拉菜单选择，选择激励单位
b.当前菜单下，按[↑]箭头，→ [3][0][0][k/m]输入激励信号功率。

6.测试测试台的校准：
a.按[cal/compen]键进入校准界面。

b.按[ cal kit menu] ，cal kit type 下拉菜单选择校准件类型（本实验选
择7mm校准件），然后返回上一层菜单。

c.按[Cal meun]键→连接开路校准件→按 [meas open] ，此时菜单变
灰色，等[meas open]菜单左边出现一个√时，换上短路校准件，按
[meas short] ，等[meas short]菜单左边出现一个√时，换上负载校准
件。

同样的方法校准load和Low Loss C。

d.最后不要忘记按下[Done]键，完成校准。

e.此时[cal menu]从uncal变成了fix状态，表示校准已完成。

7.进行夹具补偿：（本实验使用安捷伦公司的测试夹具，只需进行
open/short补偿，即可获得较高的精度）。

a.把16192A测试夹具和测试台相连，并拧紧，使夹具保持水平。

b.接上被测件，并固定住（这一步非常关键，保证补偿完成后，夹具
的状态保持不变）。

c.拆下被测件，进行补偿。

d.按[comp menu]→测试终端断开，按[meas open]
e.选择合适的短路连接件，进行连接（尽量不要再移动夹具的两个固
定架，同时尽量使短路连接件水平放置，不要倾斜），按 [meas
open]键，等补偿完毕，左边出现一个打钩标志，按[Done]，完成补
偿。

8.连接被测件
a.把被测件连接到测试终端，注意尽量不要移动两个固定架，并且水
平放置被测件，并保证接触良好。

9.调整曲线显示
a.按[trace]键，激活trace1，软菜单上按[meas parameters] →下拉菜
单选择测量参数，本实验测量电感，所以选择Ls
b.选择显示格式，按[format]，下拉菜单选择线性或者对数显示方式。

此时要注意，不管对数方式还是线性方式，显示的结果都不会发生
改变，只是对数显示时，纵坐标显示范围更宽而已。

10.分析曲线数据
a.按[marker]键，在stimulus菜单下，输入marker坐标，得到期望的
读数。

11.数据的存储
a.按[save/recall]键，→ save data →输入目录和文件名，即可得到.dat
格式的数据文件。