玻璃搬运机器人
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Forearm Rotation 2 Bend Rotation 1
Position repeatability Ambient temperature Robot type Robot mass Clean class
1 [rad] = 180 / [°], 1 [N・m] = 1 / 9.8 [kgf・m] Note 1) During development, specifications may change without notice.
2,000
J5轴 负荷 扭矩 NACHI SC400LC
1,61 1 Nm ○
1,73 0 Nm ○
1,85 0 Nm
J5轴
○
允许扭矩
1,960Nm J5轴
2,300
Offset
他社 CR165200
×
×
×
允许扭矩
1,058Nm
400kg可搬6轴多关节机器人 SC400LC 应用案例
400kg可搬6轴多关节机器人 SC400LC 应用案例
・测试位置
0. 個数( 3μ粒子数/C F)
時刻
” 複合動作”
1000 100
FS 209D cl ass100 FS 209D cl ass10 S H 200C
個) 粒子個数(
10 1 0. 1护项目
SH-C系列的定期维护项目
维护内容
加润滑油 润滑油更换
场所 J4轴减速机以外 (3个部位)
周期
12个月/次
20,000小时(稼动 减速机(6个部位) 时间)/次 或4年/次
电池更换
电池基板 电容器更换
机器人本体底座部
机器人本体底座部
3年/次
6年/次
大保养、请在40,000小时稼动时间 或 8年内、短期实施。
世界最大可搬重量的长手臂机器人
SC400LC(400kg可搬)登场
180 deg/s 3000 mm/s 80 kg 80 kg + 55 kg 2000 × 2200 X 1.1 (LCD) 10 (Federal Standard 209D)
*1: In case of standard hand for double arm. Without traverse unit.
外観図
動作範囲
8G抓手 布局图
规格概略
NACHI
SJ25C
自由度/(控制轴数)
上下 动作范围 回转 前后 上下
A社 CSL1200D
B社 RH-100G HWDC
4/(5)
1600 mm 340 deg 2400 mm 1300 mm/s 210 deg/s 2700 mm/s 2000 mm/s 25 kg/手臂 1300×1250 (LCD) 10 930 mm/s 850 mm
大型玻璃基板搬运机器人
Artis SJ系列
CLEAN ROBOT 一览
Series / Model Feature
SJ25C
第5代 对应机型
Class 10
上下活动空间 1.6/2.2m 前后活动空间 2.4m
SJ
系列
上下屈伸型 玻璃搬运 机器人
SJ80C
第6・7代 对应机型
Class 10
项目 最大臂长 上下最大活动空间 可搬重量 J5軸 允许扭矩 允许惯性 瞬间 规格
3,623 mm 4,998 mm 400 kg
1,960 N・m 980 N・m 200 kg・m2 147 kg・m2
±0.5 mm Class 1000
J6軸 J5軸 J6軸
位置重复精度
更大的可搬重量・手首扭矩 长手臂构造有更大的动作范围
CLEAN 度 本体重量
3,800 kg
→最适用于超大型玻璃・等离子用玻璃搬运
400kg可搬6轴多关节机器人 SC400LC
上下・水平方向较大的动作空间
可实现工件的倾斜・反转动作
强力型手首扭矩
Case2 大型等离子用玻璃基板 【 2300×2000×2.8mm(45kg) 】
OFFSET
300mm 500mm 700mm
Spec.
Robot type Construction Number of axes Drive system S Arm Max. operating range Wrist H V R2 B R1 S Arm Max. speed Wrist H V R2 B R1 Pay load R2 Wrist torque B R1
(SH200C)
・测试环境
CLASS 1000 CLEANROOM + CLEANCHAMBER
” データ 区間” 10. 0 9. 0 8. 0 7. 0 6. 0 5. 0 4. 0 3. 0 2. 0 1. 0 0. 0
10: 04 10: 19 10: 33 10: 48 11: 02 11: 16 11: 31 11: 45
上下活动空间 1.8 / 2.4m 前后活动空间 3.7m
SJ120C
第8,9代 对应机型
Class 10
上下活动空间 2.8m 前后活动空间 4.5m
SHC
系列
垂直 多关节型
Class 1000
SH133C SH200C
可搬重量 133kg/150kg 6 自由度
(可对应垂直放置 的布局)
1600mms可搬重量25kg手臂20kg手臂25kg15kg适用glasssize13001250lcd12001000lcd11001100lcdcleanclassfederalstandard209d101010link构造?固定长手臂方式高剛性?固定方式高剛性?低剛性上下轴驱动构造?2个马达独立驱动控制实现同步?1個1个马达皮带传送实现2个关节实现同步驱动?1个马达驱动轴连接实现3个关节同步驱动前后轴?最终端减速?最终端减速?最终端减速第27页共38页rrobot主要尺寸sj25c16d第28页共38页超大型玻璃基板搬运机器人sj120c28d应用案例第29页共38页新一代机器人控制装置axcontroller第30页共38页采用业界领先的电脑平台短距离移动性能提高了30软件plc不需要外部编程机器人动作性能的答复提升windowsntembeddedrtos安全第一的设计简单易懂的操作指南2重化的非常停止回路国际安全规格基准3处死角限制开关图形文字电子手册直观的异常显示内容对应国际标准语言iec11313可用tp编辑梯形图协调控制多种控制各种网络对应拥有多种功能可对应各式各样的应用windowsntembeddedmicrosoft社登録商標ax控制装置的特长第31页共38页软件plcisagrafaltersys社登録商標通过软件plc控制周边装置通过tp编辑ld梯形图ethernetoffline编程支持国际标准55种语言ldsfcfbdstil必要周辺装置isagraf周边装置的控制回路由机器人控制装置来控制第32页共38页触摸屏设计案例触摸式显示屏装備手柄上实现操作面板成本下降31键8画面248键可配置周边装置的操作?监视器功能周辺装置一键式的示教画面切换第33页共38页过去的控制装置ax控制装置堆积如山的手册操作简单直观的电子说明手册便于操作第34页共38页??为难
•高性能高性能控制装置(以电脑为基础的AX控制装置)
比起监视控制,震动控制等实现了大型机器人厂家机器人的动作特性
Operational area including wrist bending axis(B-axis)
(SH133C)
Difference between +/-135deg. and +/-125deg.
OFFSET
100mm 300mm 500mm
2,200
J5軸 负荷 扭矩 NACHI SH200C
1,03 1 Nm ○ ○
1,10 3 Nm ○ ×
1,17 7 Nm ○ ×
J5軸 允许扭矩 1,274Nm J5軸 允许扭矩 1,058Nm
2,500
Offset
他社 CR165200
粒子测试结果
SJ80C-XXX-01 18D / 18SL 24D / 24SL
3 / (4) 4 / (5) 2400 mm
SJ120C-XXX-01 28D / 28S
3 / (4) 4 / (5) 2800 mm 340 deg 4480 mm 1050 mm/s 180 deg/s 3600 mm/s 120 kg 120 kg + 120 kg 2200 × 2500 X 1.1 (LCD)
CLEAN ROOM的对应 垂直多关节型机器人 Artis SH-C 系列
SH133C SH200C
机器人外观
SH133C
133KG可搬6轴多关节机器人SH133C 应用案例
Item
Specification SH133C-01 SH166C-01 Articulator 6 AC servo system Swivel Forward and backward Upward and downward Rotation 2 Bend Rotation 1 Swivel Forward and backward Upward and downward Rotation 2 Bend Rotation 1 Wrist 3.40 rad/s 3.49 rad/s 4.54 rad/s 133 kg Max 70 kg 745 N•m 745 N•m 441 N•m 951 N•m 951 N•m 490 N•m ±0.3 mm 0 ~ 45 ° C Floor mount 1300 kg Class 1000 (Federal Standard 2090) 1345 kg 0 ~ 35 ° C 1.75 rad/s 1.57 rad/s 1.66 rad/s 2.27 rad/s 2.27 rad/s 3.14 rad/s 166 kg ±2.36 rad ±6.28 rad 1.32 rad/s 1.17 rad/s 1.25 rad/s 1.56 rad/s 1.56 rad/s 2.49 rad/s 150 kg Max 25 kg 1274 N•m 1274 N•m 686 N•m ±2.88 rad +1.40 ~ -1.05 rad +2.62 ~ -2.23 rad ±6.28 rad ±2.27 rad SH200C-01
4
1600 mm 340 deg 2300 mm 1300 mm/s 500 mm/s 900 mm
4
1400 mm 320 deg 1600 mm 800 mm/s
动作速度
回转 前后 导轨
210 deg/s 2700 mm/s ? 20 kg/手臂 1200×1000 (LCD) 10
135 deg/s 1800 mm/s 1600 mm/s 25 kg + 15 kg 1100×1100 (LCD) 10
(+/- 135deg. and +/-125deg.) (+/- 135deg. and +/-125deg.)
+700mm UP
基本规格(与他社对比)
他社
机器人型号
ARTIS SH200C
多关节型 6
mm
CR165-200
多关节型 6 2,446 1,058
构造 自由度 最大臂长
J4軸
2,674 1,274
上下活动空间 1.8 / 2.4m 前后活动空间 3.7m
SJ120C
第8・9代 对应机型
Class 10
上下活动空间 2.8m 前后活动空间 4.5m
机器人外观
SJ25C-16D(上下Stroke 1.6m/Double Arm)
基本规格
SJ25C-XXX-01 16D / 16SL
Freedom (No. of motor) Work Range Single Arm Double Arm Z-axis Rotation-axis Horizontal-axis Z-axis Max Velocity Rotation-axis Horizontal-axis Payload Single Arm Double Arm Applicable Glass Size Clean Class 3 / (4) 4 / (5) 1600 mm 340 deg 2400 mm 1300 mm/s 210 deg/s 2700 mm/s 25 kg 25 kg + 25 kg 1300 × 1250 X 0.7 (LCD) 1800 mm 340 deg 3670 mm 1100 mm/s 1450 mm/s
大型玻璃基板搬运用机器人
Artis系列
CLEAN ROBOT 一览
Series / Model Feature
SJ25C
Class 10
SJ
系列 上下屈伸型 玻璃搬运 机器人
第5代 对应机型
上下活动空间 1.6/2.2m 前后活动空间 2.4m
SJ80C
第6,7代 对应机型
Class 10
机器人外观
特长
•等级最大的可搬重量、允许扭矩
可搬运玻璃基板等工件至空间狭小的箱体内 可搭载高刚性的抓手 → 最大限度的控制工件的弯曲变形・震动
•较大的动作范围 可对应次世代的大型玻璃基板的垂直放置布局
•较大的手臂动作范围可实现工件各种各样的姿势
可实现玻璃基板的垂直型搬运 等级最大的手臂弯曲轴(B轴)可实现±135°的动作范围
可搬重量 适用 Glass Size Clean class (Federal Standard 209D)
Link构造 上下轴 驱动构造
・固定长手臂方式(高剛性) ・2个马达独立驱动控制实现同 步
・固定リンク方式(高剛性) ・1個1个马达/皮带传送实现2个关 节实现同步驱动
N・m
手首允许扭矩
J5軸
J6軸 J4軸
N・m
N・m kg・m2 kg・m2 kg・m2
1,274
686 117.3 117.3 65.9
CLASS 1,000
1,058
490 51.25 51.25 15 CLASS 1,000
手首允许 瞬间惯性
J5軸 J6軸
CLEAN度
强力型手首扭矩
Case1 第8代液晶用玻璃基板 【 2500×2200×0.7mm(11kg) 】
Horizontal direction approx. 700mm wider(23%up)
Vertical direction approx. 300mm wider(23%up)
+300mm UP
Horizontal operation area comparison Vertical operation area comparison