碲锌镉晶片的机械化学磨抛分析

ｐ ｌ ｈ ｎ ｒ ｃ ｓ ， ｏ ｅ ｉ ｎ ｔ ｅｍａ ｈ ｎ ｎ ａ ｇ ｆｔ ｅｗａ ｅ ｓｓ ｒａ ｅｗｅ ｅｃ ｍｐ ｒ ｄ ａ ｄ ｔ ｅｓｕ ｙ ｏ ｏｉ ｉｇｐ ｏ ｅ ｓ ｔ ｌ ｓ ｍｉ ａ ｅｔ ｃ ｉ ｉ ｇ ｄ ｍａ ｅ ｏ ｆ ｒ ｕ ｃ ｒ ｏ ａ ｅ ， ｎ ｔ ｄ ｆ ｈ ｈ ｆ ｈ
中图分类 号 ：Ｔ １ Ｎ２ ３ 文献 标识 码 ：Ａ 文章 编号 ： １０ ８ １２０ ）２０ １．３ ０ １８９ （０ ８０ ．１１０
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机 ，才 能够 实现所 需 目的。 同时 ， 由于 Ｃ Ｔ 晶片 属 Ｚ
于特 殊 的半 导体材料 ，十分 难 以加 工 ，需 要建 立专 用 的磨抛 设备 以及相应 的磨抛 技术 ｌ Ｊ 】。
要参 数 ，从数 学意 义上 ，粗 糙度算 术 平均 Ｒ ａ是在 取 样 长度 内，轮 廓偏 离平 均线 的算 术平 均值 ；平 整度 是
ｍｅ ｈ ｎ ｃ ｌｐ ｉｈｉ ｇ，ｃ ｍｉａ ｃ ｎ ｃ ｌｐ ｌｓ ｎｇ ａ ｄ ｃ ｅ ｃ ｌｐ ｉｈｉ ｇ．Ｉ ｈｅ ｓ ｍｅ ｃ ｎ ｉｉ ｎｓ ｈ ｃ ａ ｉａ ｏｌｓ ｎ ｈｅ ｃ ｌｍｅ ｈａ ｉ ａ ｏ ｉｈｉ ｎ ｈ ｍｉ ａ ｏｌｓ ｎ ｎ ｔ ａ ｏ ｄ ｔｏ ，ｔ ｅ ｃ ａ ｇｅ ｕｒａ ｅ ｏ ｈ ｅ ｆ ｒ ｒ ｅ ｔ ｗｉｈ ３ ｉ ｔｒｅ ｏ ｔｒ ｈ ｎ ｓ ｏｆ ｓ ｆ ｃ ｆ ｔ ｒ ｅ ｗａ ｅ ｓ ｗｅ ｅ ｔｓ ｔ Ｄ ｎ ｅ ｆ ｒ ｍｅ ｅ ．Ｂａ ｅ ｈ ｆｅ ｅ ｔ ｌｐ ｎｇ ａ ｄ ｓ ｄ ｏｎ ｔ ｅ ｄｉｆ ｒ ｎ ａ ｐｉ ｎ
出现 了多种新 原理 的磨 抛工 艺方 法 以及相 应 的设 备 。 实现超精 密研 磨和 抛光 的方 法有 很 多 ，有 些可 以靠 手
引言
随着 红 外热像 仪 的不 断发展 ，对 于红 外探 测器 的 性 能 的要 求越 来越 高 。为 了满 足探测 器性 能及 其均匀 性 等方 面的 需求 ，对碲 锌镉 （ ｄ 一Ｚ ｙ ｅ Ｃ ｎＴ ，简 写 Ｃ Ｔ） Ｚ
Ｃ Ｔ 晶片 的表 面磨 抛 工艺 中 ， 了手工抛 光 是依靠 人 Ｚ 除 工完成 之 外 ，其它 均是 在 磨抛装 置上 进行 的 。以粘 接 在 旋转 盘 上 的抛 光 垫为基 底 ，该基 底 与 Ｃ Ｔ 晶片 表 Ｚ 面 紧密 接触 ，并通 过 固定 晶片 的夹 具对 晶片施 加一 定 的压 力 ，抛光 时抛 光盘 与夹 具相 对转 动 ，同时在抛 光
指 晶片 具有 的宏 观 凹 凸高度 相对理 想平 面 的偏差 。本 文利 用 三 维形 貌 干涉 仪 对 不 同抛 光 方 法抛 光 的 Ｃ Ｔ Ｚ 晶片表 面检 测 ，监 测不 同抛 光方法 抛 光 的 Ｃ Ｔ 晶片 Ｚ
表 面形 貌质 量及 晶片表 面粗 糙度和 平 整度 。
随着 对 Ｃ Ｔ 表面质 量 要求 的不 断提 高 ，近年 来 Ｚ
ＺＨ Ａ ＮＧ ｅ ， ＨＵ ＡＮ Ｇ ｕ Ｍ ｉ Ｈ ｉ
（ ｎ ｎ ｓ ｉ ｔ ｈ ｓｃ ， ｎ ｎ ｕ ｎ ｎ ６ ０ ２ ， ｈ ｎ Ｋｕ ｍｉ ｇ Ｉ ｔ ｕ ｅ Ｐ ｙ ｉｓ Ｋｕ ｍｉ ｇ Ｙ ｎ ａ ５ ２ ３ Ｃ ｉ ａ） ｎ ｔ
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第３卷 第２ ０ 期 ２０ ０ ８年 ２月
Ｖｂ１３ ＮＯ． ．０ ２
Ｉｆ ｒｄ ｅｈ ｏｏ ｙ ｎ ａｅ ｃ ｎ ｌｇ ｒ Ｔ
Ｆ ｂ ２ ０ ｅ． ０ ８
碲 锌 镉 晶 片 的机 械 化 学磨 抛 分 析
张 梅 ，黄 晖
（ 昆明物 理研 究所，云南 昆明 ６０ ２ ） ５ ２ ３
晶片 的几何 尺寸 以及表 面质 量有 了更 高 的要求 ，必 须
精 确到微 米量 级 。而 这些 要求 仅仅 靠 人工 是不 能够 完 成 的 ，必 须 依靠 性 能优 良的工 艺 设 备— — 精 密 磨抛
盘上添 加 专 门的磨 抛料 ，依靠 晶片 、抛 光垫 以及 磨抛
料 之 间产 生 的摩 擦 力实现 对 Ｃ Ｔ晶片 的抛 光 。 Ｚ 粗 糙度 和平 整度 是衡 量 Ｃ Ｔ 晶片表 面 质量 的重 Ｚ
ｒ ｕｇ ｎ ｓ ｅｗａ ｅ ｓｗｅ ｅｐ ｒｏ ｍ ｅ ． ｏ ｈ ｅ ｓｏｆｔ ｆ ｒ ｒ ｅ ｒ ｄ ｈ ｆ Ｋｅ ｒ ｓ： Ｃａ ｍｉ ｍ ｎ ｌｕ ｉ ｅ ｌｐｐ ｎｇａ ｄ ｐ ｉｈｉ ｇ； ｒ ｕｇ ｎｅ ｓ ｙ ｗｏ ｄ ｄ ｕ ＺｉｃＴｅ ｌ ｒｄ ； ａ ｉ ｎ ｏｌｓ ｎ ｏ ｈ ｓ
摘要：对 ＜ １ ＞方 向的三块碲锌镉 晶片进行 了不同的机械磨抛 、化学机械抛光、化学抛光，在相 同 ｌ１ 的测量条件下用 三维形貌干涉仪进行表面监测。比较 了碲锌镉晶片不 同的磨抛方法对碲锌镉 晶片表面
机械损伤的情况，开展 了碲锌镉晶片不同的磨抛方法对损伤的去除及 平整 度 实现 的研 究 。 关键 词 ：碲锌镉 ；磨 抛 ；粗 糙度 ；平 整度