耐高温压力—振动复合传感器设计与仿真

耐高温压力—振动复合传感器设计与仿真
孙博山;熊继军;李晨
【期刊名称】《传感器与微系统》
【年(卷),期】2022(41)9
【摘要】针对高温环境受限空间内压力及振动参数测量的实际需求,设计了一种基于陶瓷共烧工艺的压力—振动复合传感器,将压力、加速度参数转换为电容值实现测量。

通过MATLAB软件对复合敏感结构参数进行仿真分析并确定结构尺寸,利用Ansys Workbench对复合敏感结构的静态力学、模态、谐响应及热力学参数进行仿真分析。

结果表明:设计的传感器在0~0.5 MPa压力和0~25 g加速度载荷下能够正常工作;结构的模态分析一阶频率为701.44 Hz,且与谐响应分析结果基本一致;1200℃下压力灵敏度为2.3 pF/MPa,振动灵敏度为1.188 pF/g。

【总页数】5页(P16-19)
【作者】孙博山;熊继军;李晨
【作者单位】电子测试国防科技重点实验室;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
【正文语种】中文
【中图分类】TP212
【相关文献】
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