能够精确测量电场强度的新型MEMS电场传感器

能够精确测量电场强度的新型MEMS电场传感器
 电场的精确测量，对于很多应用都非常重要，例如天气预报、工业设备的过程控制或者是高压电缆工作人员的安全问题等。

然而从技术角度来说，精确的电场测量并非易事。

 据麦姆斯咨询报道，一支来自维也纳技术大学（TU Wien）的研究团队突破当前其它测量设备所采用的设计原理，开发了一款硅基MEMS电场测量传感器。

通过和克雷姆斯多瑙河大学（Danube University Krems）集成传感器系统研究院的合作，这款传感器的主要设计优势是它不会干扰正在测量的电场。

该研究成果发表于近期出版的Nature Electronics杂志。

 MEMS电场传感器的测量原理
 目前用于测量电场强度的设备具有一些显着的缺陷，TU Wien传感器和执行器系统研究院的Andreas Kainz解释称，这些设备均包含带电部件。

在测量时，这些导电金属组件会显着影响被测电场；如果设备需要接地以提供测量参考值，那幺这种影响会被进一步放大。

因此这种电场测量设备往往相对不太实用，并且运输也较困难。

 TU Wien开发的这款MEMS传感器采用硅材料制造，并且基于非常简单。