低温高压快速生长纳米晶硅薄膜中氢的作用

低温高压快速生长纳米晶硅薄膜中氢的作用
低温高压快速生长纳米晶硅薄膜是一种重要的硅材料制备方法。

在该过程中，氢扮演着极其重要的角色。

首先，在高压条件下，氢气可以减少硅原子之间的相互作用力，提高硅原子的扩散系数，从而促进硅原子在衬底表面上的扩散，从而实现了纳米晶硅的快速生长。

其次，氢气还可以作为保护气体，防止氧化等不必要反应的发生，保证了纳米晶硅薄膜的纯度和质量。

此外，氢还能影响纳米晶硅薄膜的晶格结构、能带结构和光学特性等方面，从而调控其电学和光学性能，具有重要的应用价值。