氮化镓纳米超结构及其制备方法以及氮化镓基激光器[发明专利]

专利名称：氮化镓纳米超结构及其制备方法以及氮化镓基激光器
专利类型：发明专利
发明人：王淼,易觉民,王建峰,徐科
申请号：CN202210009700.1
申请日：20220105
公开号：CN114509838A
公开日：
20220517
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明公开了一种氮化镓纳米超结构及其制备方法以及设置有该氮化镓纳米超结构的氮化镓基激光器，该氮化镓纳米超结构用于实现氮化镓基激光器圆偏振出光。

氮化镓纳米超结构由下至上依次包括衬底、介质膜层以及纳米光栅结构层，所述纳米光栅结构层的光栅材料包括氮化镓、n型氮化镓、p型氮化镓中的一种，光栅周期范围为100nm‑280nm，光栅高度范围为100nm‑300nm，光栅线宽为50nm‑200nm。

本发明的氮化镓纳米超结构，其能够实现高效圆偏振出光功能，将其应用于氮化镓基激光器上可实现该氮化镓基激光器的圆偏振出光。

申请人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
地址：215123 江苏省苏州市工业园区若水路398号
国籍：CN
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