多层膜Laue透镜对10keV硬X射线聚焦性能的理论计算

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光学仪器
第３７卷
］］１２高分辨率硬Ｘ射线聚焦元件［。目前研究比较多的Ｘ射线聚焦元件有折射式复合折射透镜［，掠入射式［］］４５和衍射式波带片［。ＫＢ镜３多层膜Ｌ能够实现高效率的纳米级硬Ｘ射线聚焦。现阶ａｕｅ透镜是一种新型的硬Ｘ射线聚焦元件，［］段用一维波带片能够形成聚焦效率为３分辨率为１０％，１．２ｎｍ的聚焦光斑６。通过两个多层膜Ｌａｕｅ透［］镜正交放置能够形成聚焦效率为１大小为２二维聚７％，５ｎｍˑ ２７ｎｍ的二维聚焦光斑７。在实际应用中，但是光通过两个正交放置的多层膜Ｌ消光严重，以至到达焦平面的光通量焦更加具有价值，ａｕｅ透镜后，
多层膜Ｌａｕｅ透镜对１０ｋｅＶ硬Ｘ射线聚焦性能的理论计算
成丽华，李浩川，岳帅鹏
（同济大学物理科学与工程学院，上海）２０００９２
摘要：采用Ｎ／总膜厚为４利用衍射动力学理论分析ｂＣＳｉ材料组合设计多层膜Ｌａｕｅ透镜，０μ ｍ，多层膜Ｌａｕｅ透镜对硬Ｘ射线的衍射效率及聚焦分辨率。通过两种方法提高多层膜Ｌａｕｅ透镜的分辨率。第一种方式是减小膜层的最外层宽度，该方法要求结构必须是楔型结构，制备极其困难。第二种方法是使用多层膜Ｌ该方法在不增加制备难题的前提下能有ａｕｅ透镜的高级次，效提高分辨率。通过使用多层膜Ｌ对１ａｕｅ透镜的－３级次，０ｋｅＶ硬Ｘ射线获得了分辨率为衍射效率为４６．７２ｎｍ，９．３１％的聚焦光斑。关键词：Ｘ射线；多层膜Ｌａｕｅ透镜；衍射动力学；衍射效率；高级次中图分类号：：／Ｏ４３４Ａ ∳ １０．３９６９．ｉｓｓｎ．１００５５６３０．２０１５．０６．０１４文献标志码：ｊ
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引言
穿透性强等优势。伴随着第三代同步辐射光源的发展，需要大量Ｘ射线显微术具有极限分辨率高，
收稿日期：２０１５０３０９基金项目：国家自然科学基金大科学装置联合重点项目（）Ｕ１４３２２４４作者简介：成丽华（ —），女，硕士研究生，主要从事多层膜Ｌ：１９８８ａｕｅ透镜的研究。Ｅｍａｉｌｃｈｅｎ６ｌｉｈｕａ１６３．ｃｏｍｇ＠
： ≏‟ ˇ ∑ˇ ＴｈｅｄｎａｍｉｃａｌｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎｔｈｅｏｒｉｓｅｍｌｏｅｄｔｏａｎａｌｚｅｔｈｅｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎｅｆｆｉｃｉｅｎｃｎｄｙｙｐｙｙｙａｔｈｅｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎｒａｔｉｏｏｆｈａｒｄＸｒａａｖｅｓｉｎｓｉｄｅｔｈｅｍｕｌｔｉｌａｅｒＬａｕｅｌｅｎｓｅｓ．ＴｈｅｍｕｌｔｉｌａｅｒＬａｕｅｙｗｙｙ／ｌｅｎｓｅｓａｒｅｍａｄｅｆｒｏｍＮｂＣＳｉｗｉｔｈａｚｏｎｅｔｈｉｃｋｎｅｓｓｏｆ４０μ ｍ．Ｔｈｅｒｅａｒｅｔｗｏｗａｓｔｏｉｍｒｏｖｅｙｐｔｈｅｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎｒａｔｉｏ．Ｔｈｅｆｉｒｓｔｗａｓｔｏｒｅｄｕｃｅｔｈｅｏｕｔｍｏｓｔｚｏｎｅｔｈｉｃｋｎｅｓｓａｎｄｕｓｅｗｅｄｅｙｉｇ，ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｂｕｔｉｔｉｓｈａｒｄｔｏｆｏｒｍｔｈｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅ．Ｔｈｅｓｅｃｏｎｄｗａｉｓｔｏｕｓｅｔｈｅｈｉｈｏｒｄｅｒ．Ｔｈｉｓｙｇｗａａｎｉｍｒｏｖｅｔｈｅｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎｒａｔｉｏｗｉｔｈｏｕｔｃｈａｎｉｎｈｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅ．Ｔｈｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔａｙｃｐｇｇｔｆｏｃｕｓｅｄｂｅａｍｓｉｚｅｏｆ６．７２ｎｍａｎｄａｍｅａｎｅｆｆｉｃｉｅｎｃｆ４９．３１％ｃａｎｂｅｏｂｔａｉｎｅｄｂｈｅ－３ｒｄｙｏｙｔｏｒｄｅｒｏｆｍｕｌｔｉｌａｅｒＬａｕｅｌｅｎｓｗｉｔｈ１０ｋｅＶＸｒａ．ｙｙ：；ｍ；；； ˙∑‟ ＸｒａｕｌｔｉｌａｅｒＬａｕｅｌｅｎｓｄｎａｍｉｃａｌｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎｔｈｅｏｒｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙｙｙｙｙ æ ｈｉｈｏｒｄｅｒｇ
第３７卷第６期２０１５年１２月
光学仪器
ＯＰＴＩＣＡＬＩＮＳＴＲＵＭＥＮＴＳ
，Ｖｏｌ．３７Ｎｏ．６，Ｄｅｃｅｍｂｅｒ２０１５
（）１００５５６３０２０１５０６０５３５０６文章编号：