缓蚀剂的评价

1.干点和馏分
1.CY-202-C的干点和馏分（称重81g）
气相温度（℃）质量（g）百分含量（%）颜色
98~100 6.1 7.53 无色透明
76~90 17.48 21.58 无色透明
130~140 52.25 64.51 无色透明
最终有极少量棕黑色液体无法蒸出约3g，冷却后呈固体。

现象说明主要成分为三种。

由于最终还剩余物质没有蒸出，所以无法确定该溶液的干点。

2. 1号胺的干点和馏分（称重28.06g）
气相温度（℃）质量（g）百分含量（%）颜色
110~126 5.26 18.75 无色透明
130~140 3.9 13.90 无色透明
180~190 4.55 16.22 淡黄色透明
167~100 3.18 11.33 淡黄色透明
100~90 1.0 3.6 淡黄色透明
最终剩余大量棕黑色液体约2g。

在130~140℃时，温度变化是在130℃和140℃之间来回波动；在180~190℃时，温度变化是在180℃和190℃之间来回波动；第四个温度区间由167℃缓慢降低至100℃（20min）；最终在100~90℃稳定2分钟后，无溶剂蒸出。

以上现象说明1号胺物质里混合的物质很多，并且很不稳定，所以导致蒸馏时温度波动很大。

由于最终还剩余物质没有蒸出，所以无法确定该溶液的干点。

3.CY-202-D（称重31.8g）
气相温度（℃）质量（g）百分含量（%）颜色
110~190 23.15 72.80 无色透明
190~170 5.88 18.49 淡黄色透明
最终剩余少量棕黑色液体约2g。

现象说明该溶液组成主要为两种。

由于最终还剩余物质没有蒸出，所以无法确定该溶液的干点。

4.CY-202-A（称重39g）
气相温度（℃）质量（g）百分含量（%）颜色
130~180 6.47 16.60 无色透明
190~200 27.33 70.08 淡黄色透明（颜色很浅）最终剩余少量棕黑色液体约2g。

现象说明该溶液组成主要为2种。

其中在130~180℃时，温度是迅速上升，130℃开始出现馏分，升温至180℃在2min以
内；在190~200℃区间内，出现温度降至176℃，但是迅速升温至190℃（30秒完成）。

由于最终还剩余物质没有蒸出，所以无法确定该溶液的干点。

2.对氯化铵的增溶
配制氯化铵饱和溶液，均取50ml至烧杯中，加入0.5ml 1%的缓蚀剂（即100ppm）.
先加入1.0g氯化铵，搅拌不溶，加热后溶解，静置过夜
名称现象
1号胺有极少量析出
CY-202-A 无析出
CY-202-C 无析出
CY-202-D 有极少量析出
再均加入0.5g氯化铵，搅拌不溶，加热后溶解，静置1.5h
名称现象
1号胺无析出
CY-202-A 无析出
CY-202-C 无析出
CY-202-D 无析出
继续加入0.5g氯化铵，搅拌不溶，加热后溶解，静置3.5h
名称现象
1号胺大量析出
CY-202-A 大量析出
CY-202-C 大量析出
CY-202-D 大量析出
通过观察发现，1号胺析出量比其他三种少，剩下三种无法用肉眼判断
将CY-202-A，CY-202-C，CY-202-D三种溶液中均再加入0.5ml（即目前浓度为200ppm)，搅拌不溶，加热溶解，静置1.5h
名称现象
CY-202-A 无析出
CY-202-C 有大量析出
CY-202-D 无析出
继续静置1.5h后
名称现象
CY-202-A 无析出
CY-202-C 大量析出
CY-202-D 少量析出
静置过夜后
名称现象
CY-202-A 大量析出
CY-202-C 大量析出
CY-202-D 大量析出
通过观察发现CY-202-D的析出量相对少，CY-202-A和CY-202-C的析出量相对多
总结：1号胺的氯化铵增容效果最好，其次是CY-202-D，CY-202-A和CY-202-C的效果最差
3.挂片实验结果（缓蚀效果）
配制3%的氯化铵溶液，分为5份，其中分别是空白，1号胺，CY-202-A，CY-202-C，CY-202-D，浓度均为100ppm，在60℃下3天，称重挂片
名称挂前和挂后挂片的质量差(g)
空白0.0095
1号胺0.0127
CY-202-A 0.0094
CY-202-C 0.0114
CY-202-D 0.0088
通过数据发现，1号胺和CY-202-C的缓蚀效果还不如空白，CY-202-A和CY-202-D的效果比空白好，CY-202-D的效果最好。

总结：CY-202-A，CY-202-C，CY-202-D三种缓蚀剂对比，氯化铵增容效果好的是CY-202-D，CY-202-A和CY-202-C的效果较差；缓蚀效果CY-202-D的效果最好。

综上所述，CY-202-D的性能最好。