超精密加工的发展动向和展望
超精密加工技术的发展与展望
精密与特种加工技术结课论文题目：超精密加工技术的发展与展望指导教师：沈浩学院：机电工程学院专业：机械工程姓名：司皇腾学号： 152085201020超精密加工技术的发展与展望摘要:超精密加工是多种技术综合的一种加工技术,是获得高形状精度、表面精度和表面完整性的必要手段。
根据当前国内外超精密加工技术的发展状况,对超精密切削、磨削、研磨以及超精密特种加工及复合加工技术进行综述,简单地对超精密加工的发展趋势进行预测。
精密加工技术发展方向是：向高精度、高效率方向发展；向大型化、微型化方向发展；向加工检测一体化方向发展；机床向多功能模块化方向发展。
本世纪的精密加工发展到超精密加工历程比较复杂且难度大，目前超精密加工日趋成熟，已形成系列，它包括超精密切削、超精密磨削、超精密研磨、超精密特种加工等。
在不久的将来，精密加工也必将实现精密化、智能化、自动化、高效信息化、柔性化、集成化。
创新思想及先进制造模式的提出也必将为精密与超精密技术发展提供策略。
环保也是机械制造业发展的必然趋势。
关键词:加工精度;超精密加工技术;超精密特种加工;纳米技术;复合加工【引言】精密加工和超精密加工代表了加工精度发展的不同阶段，往往我们一提到超精密这个词，就会觉得它很神秘，但同任何复杂的高新技术一样，经过一段时间的熟悉和掌握，都会被大众所了解，也就不再是所谓的高科技了，超精密加工也是这样。
实际上，如果拥有超精密的加工设备，并且在其它相关技术和工艺上能匹配，经过一段时间的实践之后，就能很好地掌握它，但这需要一个过程。
超精密加工领域集成了很多IT、机械以及电气控制方面的技术，设备方面的操作和使用也非常复杂，所以，只有在对它有很深的理解之后才能把它用好。
通常按加工精度划分,可将机械加工分为一般加工、精密加工、超精密加工。
在不同的历史阶段,不同的科学技术水平下,对超精密加工有不同的定义,由于生产技术的不断发展,划分的界限不断变化。
过去的超精密加工对今天来说可能已经是普通加工了,所以对其划分的界限是相对的,而且在具体数值上至今没有确切的界限。
精密和超精密加工现状与发展趋势
精密和超精密加工现状与发展趋势一、精密和超精密加工的概念与范畴通常，按加工精度划分，机械加工可分为一般加工、精密加工、超精密加工三个阶段。
目前，精密加工是指加工精度为1~0.1µ;m，表面粗糙度为Ra0.1~0.01µ;m的加工技术，但这个界限是随着加工技术的进步不断变化的，今天的精密加工可能就是明天的一般加工。
精密加工所要解决的问题，一是加工精度，包括形位公差、尺寸精度及表面状况；二是加工效率，有些加工可以取得较好的加工精度，却难以取得高的加工效率。
精密加工包括微细加工和超微细加工、光整加工等加工技术。
传统的精密加工方法有砂带磨削、精密切削、珩磨、精密研磨与抛光等。
a. 砂带磨削是用粘有磨料的混纺布为磨具对工件进行加工，属于涂附磨具磨削加工的范畴，有生产率高、表面质量好、使用范围广等特点。
b. 精密切削，也称金刚石刀具切削(SPDT)，用高精密的机床和单晶金刚石刀具进行切削加工，主要用于铜、铝等不宜磨削加工的软金属的精密加工，如计算机用的磁鼓、磁盘及大功率激光用的金属反光镜等，比一般切削加工精度要高1~2个等级。
c. 珩磨,用油石砂条组成的珩磨头，在一定压力下沿工件表面往复运动，加工后的表面粗糙度可达Ra0.4~0.1µ;m，最好可到Ra0.025µ;m，主要用来加工铸铁及钢，不宜用来加工硬度小、韧性好的有色金属。
d. 精密研磨与抛光通过介于工件和工具间的磨料及加工液，工件及研具作相互机械摩擦，使工件达到所要求的尺寸与精度的加工方法。
精密研磨与抛光对于金属和非金属工件都可以达到其他加工方法所不能达到的精度和表面粗糙度，被研磨表面的粗糙度Ra≤0.025µ;m加工变质层很小，表面质量高，精密研磨的设备简单，主要用于平面、圆柱面、齿轮齿面及有密封要求的配偶件的加工，也可用于量规、量块、喷油嘴、阀体与阀芯的光整加工。
e. 抛光是利用机械、化学、电化学的方法对工件表面进行的一种微细加工，主要用来降低工件表面粗糙度，常用的方法有：手工或机械抛光、超声波抛光、化学抛光、电化学抛光及电化学机械复合加工等。
简析超精密机械加工的未来发展趋势
2023-11-06
目 录
• 引言 • 超精密机械加工技术概述 • 超精密机械加工发展现状 • 超精密机械加工的未来发展趋势 • 未来发展展望与建议 • 结论与参考文献
01
引言
研究背景与意义
01
制造业的快速发展
随着全球制造业的快速发展，超精密机械加工技术在航空航天、电子
提升知识产权保护意识
建立健全知识产权保护机制，鼓励企业申请专利，保护核心技术 和创新成果。
加强产学研合作，推动产业发展
建立产业联盟
通过政府引导，建立超精密机 械加工产业联盟，促进企业间 的交流与合作，推动产业链的
完善和发展。
加强校企合作
鼓励企业与高校、职业院校建立 合作关系，共同培养专业人才， 提高技术水平。
建立创新奖励机制，鼓励员工开展技术创新和发 明创造活动，提高企业的技术实力和创新能力。
06
结论与参考文献
结论
超精密机械加工技 术将不断升级
随着科技的不断进步，超精密机 械加工技术将继续升级，包括加 工精度、效率、可靠性和稳定性 的提升。
智能化和自动化将 成为主流
未来超精密机械加工将更加依赖 于智能化和自动化技术，减少人 工干预，提高加工质量和效率。
根据应用领域不同，超精密机械加工可以分为航空航天、医疗器械、光学仪器、电子设备等领域。
03
超精密机械加工发展现状
国际发展现状
1. 技术迭代
01
国际上，超精密机械加工技术正在不断升级，从传统的机械加
工向更先进的激光加工、纳米加工等方向发展。
2. 高精度、高效率
02
国际研究者正在追求更高的精度和效率，以满足更复杂和精细
2024年超精密数控铣床市场策略
2024年超精密数控铣床市场策略概述本文档旨在提供关于2024年超精密数控铣床市场策略的详细信息。
超精密数控铣床在现代工业领域具有重要的地位，具备高精度、高效能的特点，广泛应用于航空航天、汽车制造、电子设备等行业。
本文将介绍超精密数控铣床市场的背景和趋势，并提供一些市场策略的建议。
市场背景超精密数控铣床市场在全球范围内都呈现出稳步增长的趋势。
随着现代制造业对工业自动化和精密加工的需求不断增加，超精密数控铣床成为优选的设备之一。
全球航空航天、汽车制造、电子设备等行业的发展也直接促进了超精密数控铣床市场的持续增长。
市场趋势1.技术创新：超精密数控铣床市场中，不断涌现出新的技术和创新，以满足越来越高的精度和效率需求。
例如，高速切削技术、智能控制系统等的引入使得超精密数控铣床的性能得到进一步提升。
2.行业应用拓展：除了传统的航空航天、汽车制造、电子设备行业，超精密数控铣床在其他行业也呈现出增长的机会。
医疗设备制造、光学仪器制造等行业对高精度和高质量的需求也在不断增加，为超精密数控铣床市场带来新的增长点。
3.智能化发展：随着人工智能、云计算等技术的快速发展，超精密数控铣床也朝着智能化的方向迈进。
智能化超精密数控铣床能够根据加工需求自动调整参数，并通过数据分析和优化提供更高效的生产解决方案。
市场策略建议根据市场背景和趋势，以下是一些2024年超精密数控铣床市场策略的建议：1.技术创新：加大研发投入，不断推出新的技术创新，提高产品的性能和竞争力。
与科研机构和大学合作，加强技术交流和合作，为超精密数控铣床的技术进步做出贡献。
2.市场拓展：除了现有的航空航天、汽车制造、电子设备等传统行业，积极拓展其他行业的市场。
例如，与医疗设备制造商合作，共同开发适用于医疗设备制造的超精密数控铣床。
3.品牌建设：加强品牌宣传和推广。
通过参加行业展览、技术论坛等活动，提高品牌知名度和美誉度。
与现有客户保持良好的合作关系，争取口碑推荐。
超精密机械加工的前景分析
五、结论
综上所述，超精密机械加工技术在现代制造业中具有广泛的应用前景和市场 空间。未来，随着技术的不断进步和市场的不断扩大，超精密机械加工将会呈现 出更高精度、更高效率、更加智能化和自动化的发展趋势。随着市场竞争的加剧， 企业需要不断提高自身的技术水平和创新能力，以适应不断变化的市场需求并取 得竞争优势。
在具体实践中，可以加强对引进技术的消化吸收和再创新，注重人才培养和 团队建设，加强与科研院所和高校的合作交流，推动产学研用协同创新，以提高 我国超精密机械加工的整体水平和国际竞争力。
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4、清洗：清洗技术是超精密机械加工中一种重要的辅助工艺，它主要采用 超声波、溶剂或高压水等手段对加工件进行清洁处理，以去除表面的污垢、油脂 和氧化层等。在清洗过程中，要注意选择合适的清洗剂和清洗方式，以保证清洗 质量和效率。
二、超精密机械加工的应用范围 和市场空间
超精密机械加工被广泛应用于航空航天、军工、汽车、医疗器械、光学仪器、 电子通讯等领域。在这些领域中，超精密机械加工能够为产品带来高精度、高质 量和高效率的生产，同时也能够降低生产成本和提高产品竞争力。随着科技的不 断进步和制造业的持续发展，超精密机械加工的市场空间也将不断扩大。
2、磨削：磨削技术是一种利用砂轮等磨具对材料进行表面处理的过程，它 可以实现高精度的加工，同时也能提高生产效率。在磨削过程中，要注意砂轮的 选择和冷却，以保证磨削质量和精度。
3、雕刻：雕刻技术主要通过电脑控制的数控机床对材料进行精确的切削和 磨削，以达到一定的形状和精度要求。在雕刻过程中，要选择合适的刀具和加工 参数，以保证雕刻质量和效率。
超精密机械加工的前景分析
目录
01 一、超精密机械加工 的关键技术
二、超精密机械加工
超精密加工技术的发展现状
超精密加工技术的发展现状超精密加工技术的发展现状，哎呀，真是个让人觉得又神奇又复杂的话题啊！咱们得先了解一下超精密加工是什么。
它其实就是用极高的精度来加工材料，想想看，能把东西做到这么精准，真是令人叹为观止。
现在的制造业可离不开它，尤其是在航空、医疗、电子这些领域，越是高端的东西，越离不开超精密加工。
想象一下，微米级别的加工，那得多细腻啊！说真的，这技术的发展，真的是让人感觉到科技的力量。
在这过程中，咱们得提到几项关键技术，比如说光刻、超声波加工，还有激光加工。
光刻技术可谓是个“大明星”，在芯片制造中大显身手，像是在细致的画布上作画，光线勾勒出无数精致的图案。
超声波加工呢，哎，别小看它，利用声波的振动来加工，能把很多材料轻松处理掉，真是个“小帮手”。
激光加工嘛，嘿，那可是一把双刃剑，精准又快速，火花四溅的场景让人忍不住想为它点赞。
不过，话说回来，技术再先进，也得面对一些挑战。
比如说，成本问题。
超精密加工的设备可不是白菜价，维护保养更是个大开销。
这让很多小企业在这条路上犹豫不决，真是让人心疼。
材料的选择也非常重要，有些材料在超精密加工中表现得特别好，而有些则像个“死胖子”，怎么都弄不动。
为了追求更好的效果，研究人员们可是费尽心思，真是“煞费苦心”啊。
还有就是人才的培养。
这方面可不能马虎，超精密加工需要的人才既要有理论知识，又要有丰富的实践经验。
现在的大学里，很多学校已经开始设置相关课程，目的就是希望能培养出更多的技术人才，未来可得靠他们“撑门面”呢。
真心希望越来越多的人能加入这个行业，给我们带来更多的惊喜。
说到应用，超精密加工的舞台可大了！像航天器、手术刀、手机的内部零件等等，几乎无处不在。
你看看，航天器上那些复杂的零部件，没有超精密加工，恐怕就飞不起来了！还有手术刀，医生可不能用个普通的刀子，精细的切口直接关系到手术的成功与否，这可是关乎生命的大事啊！而手机的微小零件，哪个能离开超精密加工的加持？所以说，这技术的重要性，不用多说，大家都懂。
精密超精密发展趋势
精密和超精密加工技术的发展趋势精密加工技术的发展趋势1.精密化精密加工的核心主要体现在对尺寸精度、仿形精度、表面质量的要求。
当前精密电火花加工的精度已有全面提高，尺寸加工要求可达±2-3μm、底面拐角R 值可小于0.03mm，最佳加工表面粗糙度可低于Ra0.3μm。
通过采用一系列先进加工技术和工艺方法，可达到镜面加工效果且能够成功地完成微型接插件、IC 塑封、手机、CD盒等高精密模具部位的电火花加工。
2.智能化智能化是向21世纪制造技术的发展趋势之一。
智能制造技术(IMT)是将人工智能融入制造过程的各个环节，通过模拟人类专家的智能活动，取代或延伸制造系统中的部分脑力劳动，在制造过程中系统能自动监测其运行状态，在受到外界干扰或内部激励能自动调整其参数，以达到最佳状态和具备自组织能力。
新型数控电火花机床采用了模糊控制技术和专家系统智能控制技术。
模糊控制技术是由计算机监测来判定电火花加工间隙的状态，在保持稳定电弧的范围内自动选择使加工效率达到最高的加工条件；自动监控加工过程，实现最稳定的加工过程的控制技术。
采用人机对话方式的专家系统，根据加工的条件、要求，合理输入设定值后便能自动创建加工程序，选用最佳加工条件组合来进行加工。
在线自动监测、调整加工过程，实现加工过程的最优化控制。
专家系统在检测加工条件时，只要输入加工形状、电极与工件材质、加工位置、目标粗糙度值、电极缩放量、摇动方式、锥度值等指标，就可自动推算并配置最佳加工条件。
专家系统智能技术的应用使机床操作更容易，对操作人员的技术水平要求更低。
3.自动化自动化技术的成功应用，不但提高了效率，保证了产品质量，还可以代替人去完成危险场合的工作。
对于批量较大的生产自动化，可通过机床自动化改装、应用自动机床、专用组合机床、自动生产线来完成。
小批量生产自动化可通过NC，MC，CAM，FMS，CIM，IMS等来完成。
在末来的自动化技术实施过程中，将更加重视人在自动化系统中的作用。
超精密加工的发展动向和展望
超精密加工的发展动向和展望超精密加工经过数十年的努力，日趋成熟，不论是超精密机床、金刚石工具，还是超精密加工工艺已形成了一整套完整的超精密制造技术系统，为推动机械制造向更高层次发展奠定了基础，现在正在向纳米级精度或毫微米精度迈进，其前景十分令人鼓舞。
但是从另一个角度来分析，随着科技的发展，对它的要求越来越高，而现实的情况又受到技术水平的制约，依然存在许多困难。
1综述超精密加工技术是一门综合性的系统工程，它的发展综合地利用了机床、工具、计量、环境技术、微电子技术、计算机技术、数控技术等的进步。
日本的津和秀夫教授形象地将超精密加工比作富士山的山顶，所以在某种意义上说，已到达了精密加工的顶峰。
日本的文献上，经常出现向极限靠拢的提法。
虽然从技术的角度来说，有些模糊，但是很形象化。
实际上，加工精度在现有的水平上再提高一步已是相当困难。
以现在的产品而言，凡是要求高的尺寸，大部分是超越现有标准的，这从另一个侧面反映了超精密的实际情况，相当多的要求，均以技术条件的形式来表示，或标明具体的特殊公差，而今天除了精度以外，对表面还提出了新的要求——表面完整性。
日本谷口纪男教授往往将超精密加工技术与微细加工综合在一起来加以介绍，客观上反映了两种技术的交叉，也体现了时代的特征。
本文想就超精密加工发展的趋势，说明一些个人的看法。
超精密加工技术随着时间的推延，精度、难度、复杂性等都在向更高层次发展，使加工技术也随之需要不断加以更新，来与之相适应。
以金刚石切削为例，其刃口圆弧半径一直在向更小的方向发展，因为它的大小直接影响到被加工表面的粗糙度，与光学镜面的反射率直接有关，而今反射率要求越来越高，如激光陀螺反射镜的反射率已提出了99.99%，必然要求金刚石刀具更加锋利，根据日本大阪大学岛田尚一博士介绍，为了进行切薄试验，目标是达到切屑的厚度1nm，其刃口圆弧半径趋近2～4nm。
直至今日，这个水平仍为世界最高的。
为了达到这个高度，促使金刚石研磨机也改变了传统的结构，而采用了空气轴承作为支承，研磨盘的端面跳动能在机床上自行修正，使其端面跳动控制在0.5μm以下，我国航空系统303所研制的刃磨机就是一例。
精密和超精密加工技术及其发展展望(精密加工)
1.2 超精密加工技术的现状
4 加工工具
加工工具主要是指刀具、磨具及刃磨技术。用 金刚石刀具超精密切削，值得研究的问题有：金刚 石刀具的超精密刃磨，其刃口钝圆半径应达到2～ 4nm，同时应解决其检测方法，刃口钝圆半径与切 削厚度关系密切，若切削的厚度欲达到10nm，则刃 口钝圆半径应为2nm。
表面粗糙度可用电感式、压电晶体式表面形貌仪等
进行接触测量，或用光纤法、电容法、超声微波法和 隧道显微镜法进行非接触测量；
表面应力、表面变质层深度、表面微裂纹等缺陷，
可用X光衍射法、激光干涉法等来测量。检测可采取 离线的、在位的和在线的三种方式。
2013-9-22
1.2 超精密加工技术的现状
5 检测与误差补偿
在非传统加工中，出现了电子束、离子束、激
光束等高能加工、微波加工、超声加工、刻蚀、电 火花和电化学加工等多种方法，特别是复合加工， 如磁性研磨、磁流体抛光、电解研磨、超声珩磨等 ，在加工机理上均有所创新。
2013-9-22
1.2 超精密加工技术的现状
2 被加工材料
用精密和超精密加工的零件，其材料的化学成 分、物理力学性能、加工工艺性能均有严格要求。 例如，要求被加工材料质地均匀，性能稳定，无外 部及内部微观缺陷；其化学成分的误差应在10-2 ～ 10-3数量级，不能含有杂质；其物理力学性能，如拉 伸强度、硬度、延伸率、弹性模量、热导率和膨胀 系数等应达到10-5～10-6数量级；材料在冶炼、铸造 、辗轧、热处理等工艺过程中，应严格控制熔渣过 滤、辗轧方向、温度等，使材质纯净、晶粒大小匀 称、无方向性，能满足物理、化学、力学等性能要 求。
国家（中小零件加工） 。
我国的超精密加工技术在70年代末期有了长足
精密加工产业发展趋势
精密加工产业发展趋势精密加工产业是指利用精密加工技术对金属、非金属材料进行精细加工的产业。
随着科技的发展和全球化的进程，精密加工产业正经历着深刻的变革和发展。
本文将从技术、市场、政策等方面分析精密加工产业的发展趋势。
一、技术发展趋势1. 自动化和智能化：随着人工智能技术的迅猛发展，精密加工设备和系统将趋向自动化和智能化，实现自动化生产、智能控制和智能检测等功能。
例如，采用机器人代替人工操作，利用大数据和云计算技术进行生产过程的实时监测和优化。
2. 高效能力和多功能：精密加工设备将朝着高效能力和多功能方向发展。
通过提高精密加工设备的生产能力和效率，同时实现多种工艺和功能的整合。
例如，融合激光加工和机器人技术，实现一机多用、灵活生产的目标。
3. 精准度和稳定性：精密加工产业的核心要求是提高产品的精度和稳定性。
因此，未来的精密加工技术将更加注重对微小细节的处理和控制。
例如，采用纳米级线切割技术，实现对微米尺度物体的高精度加工和组装。
4. 绿色和环保：未来的精密加工技术将更加注重环保和可持续发展。
例如，采用新型材料和清洁能源，减少环境污染和能源消耗。
同时，提倡循环利用和废物资源化利用，减少资源浪费和环境负荷。
二、市场发展趋势1. 高端市场需求增加：随着全球经济的不断发展，人们对高端产品和服务的需求也在不断增加。
高精密、高质量的产品在航空航天、汽车、电子通信等领域具有广泛的应用前景。
因此，精密加工产业将面临更大的市场需求。
2. 定制化需求增长：消费者的需求越来越个性化和定制化，要求产品能够满足其个性化需求。
精密加工产业将面临更多的定制化需求，必须具备灵活的生产能力和技术储备，能够满足不同客户的个性化需求。
3. 跨行业合作融合：精密加工产业将与各行各业的产业链深度融合，形成产业链的优势互补和资源共享。
例如，精密加工产业与电子、机械、材料、化工等行业进行跨行业合作，共同研发和生产高精密、高质量的产品。
4. 新兴市场需求增长：随着新兴市场经济的迅猛发展，精密加工产业将面临更大的市场机遇。
精密和超精密加工现状与发展趋势.doc
精密和超精密加工现状与发展趋势核心提示：当前精密和超精密加工精度从微米到亚微米，乃至纳米，在汽车、家电、IT电子信息高技术领域和军用、民用工业有广泛应用。
同时，精密和超精密加工技术的发展也促进了机械、模具、液压、电子、半导体、光学、传感器和测量技术及金属加工工业的发展。
一、精密和超精密加工的概念与范畴通常，按加工精度划分，机械加工可分为一般加工、精密加工、超精密加工三个阶段。
目前，精密加工是指加工精度为1~0.1μm，表面粗糙度为Ra0.1~0.01μm的加工技术，但这个界限是随着加工技术的进步不断变化的，今天的精密加工可能就是明天的一般加工。
精密加工所要解决的问题，一是加工精度，包括形位公差、尺寸精度及表面状况；二是加工效率，有些加工可以取得较好的加工精度，却难以取得高的加工效率。
精密加工包括微细加工和超微细加工、光整加工等加工技术。
传统的精密加工方法有砂带磨削、精密切削、珩磨、精密研磨与抛光等。
a. 砂带磨削是用粘有磨料的混纺布为磨具对工件进行加工，属于涂附磨具磨削加工的范畴，有生产率高、表面质量好、使用范围广等特点。
b. 精密切削，也称金刚石刀具切削(SPDT)，用高精密的机床和单晶金刚石刀具进行切削加工，主要用于铜、铝等不宜磨削加工的软金属的精密加工，如计算机用的磁鼓、磁盘及大功率激光用的金属反光镜等，比一般切削加工精度要高1~2个等级。
c. 珩磨,用油石砂条组成的珩磨头，在一定压力下沿工件表面往复运动，加工后的表面粗糙度可达Ra0.4~0.1μm，最好可到Ra0.025μm，主要用来加工铸铁及钢，不宜用来加工硬度小、韧性好的有色金属。
d. 精密研磨与抛光通过介于工件和工具间的磨料及加工液，工件及研具作相互机械摩擦，使工件达到所要求的尺寸与精度的加工方法。
精密研磨与抛光对于金属和非金属工件都可以达到其他加工方法所不能达到的精度和表面粗糙度，被研磨表面的粗糙度Ra≤0.025μm加工变质层很小，表面质量高，精密研磨的设备简单，主要用于平面、圆柱面、齿轮齿面及有密封要求的配偶件的加工，也可用于量规、量块、喷油嘴、阀体与阀芯的光整加工。
国外超精密加工技术的现状和发展趋势
国外超精密加工技术的现状和发展趋势1. 引言在当今世界，超精密加工技术已经成为了制造业的重要组成部分。
随着科技的不断发展，国外的超精密加工技术也取得了长足的进步。
本文将从多个角度对国外超精密加工技术的现状和发展趋势进行评估和探讨。
2. 现状分析超精密加工技术是指在微米或纳米级别进行加工的技术，其精度和表面质量要求非常高。
当前，国外一些先进制造业发达国家，如日本、德国和美国等，都在超精密加工技术领域具有举足轻重的地位。
这些国家的企业和研究机构不断推动着超精密加工技术的发展，不断推陈出新，取得了许多创新成果。
3. 技术发展趋势未来，国外超精密加工技术将朝着更高精度、更复杂形状、更多材料的加工方向发展。
随着人工智能、大数据和物联网等新一代信息技术的不断涌现，超精密加工技术将更加智能化、数字化和柔性化。
新型材料、纳米技术的应用，也将极大地拓展超精密加工技术的应用范围。
4. 我的观点我认为，国外超精密加工技术的快速发展将为全球制造业带来深远影响。
随着超精密加工技术在航空航天、医疗器械、电子器件等领域的广泛应用，将极大地推动相关产业的发展。
超精密加工技术的不断突破也将为人类社会带来更多便利和可能性。
5. 总结国外超精密加工技术的现状和发展趋势令人振奋。
技术不断创新，应用领域不断拓展，为制造业注入了新的活力。
我对超精密加工技术的未来充满信心，相信它将在全球范围内发挥越来越重要的作用。
通过本文的介绍和分析，相信您已经对国外超精密加工技术的现状和发展趋势有了更深入的了解。
希望本文能够为您带来一些启发和思考，并对您在相关领域的学习和工作有所帮助。
超精密加工技术在国外的发展已经取得了显著的进步，但仍有许多挑战和机遇。
在不断推动超精密加工技术的发展的国外也在积极探索新的技术路径和应用领域，以应对日益复杂的市场需求和竞争压力。
国外超精密加工技术在材料加工和表面处理方面取得了重大突破。
随着新型材料的广泛应用和纳米技术的发展，超精密加工技术已经能够处理更多种类的材料，包括金属、陶瓷、复合材料等。
超精密加工的发展与展望
□吴敏镜 超精密加工技术的发展与展望 一、前言本世纪的精密加工发展到超精密加工历程比较复杂且难度大,目前超精密加工日趋成熟,已形成系列,它包括超精密切削、超精密磨削、超精密微细加工、超精密计量等。
尽管超精密加工迄今尚无确切的定义,但是它仍然在向更高的层次发展。
早在80年代,美国LLN L 国家实验室等就提出了POMA (P oint One Microme 2ter Accurary )计划,主要是为了加工直径<800mm 的曲面精度为0.1μm 。
1982年,在国际生产工程学会(CIRP )的年会上,日本的谷口纪男教授发表了题为“超精密加工和超精整工艺的现状与未来趋势”的论文,他认为在2000年,超精密加工的精度将为0.001μm 。
应当说,现在已经接近这个目标。
二、超精密加工技术的回顾1.超精密机床的商品化超精密加工技术方面最典型的是美国的LLN L 国家实验室研制的LODT M 大型光学金刚石车床,其他国家也相应研制成各种类似的装置,如英国的Cran field 、美国的MOORE ,日本的东芝机械等。
英国的Rank T aylor H obs on 公司的超精密加工装置,在世界上销售很多,如NANOFORM 系列的,我国已经引进一定的数量。
这类机床是集当今科技进步为一体,以Bryn 教授为代表的群体作出了巨大的贡献,采用摩擦驱动取代传统的滚珠丝杠,就是一种突破;测量系统采用微晶玻璃,来获得高精度;采用双频激光干涉仪作为高精度的定位;机床的支承系统采用了气浮技术等。
在我国,对超精密机床的研制也一直在进行,而且也取得不小的成绩,例如北京机床研究所,航空系统的303所、国防科大、哈工大等。
但是与国外先进的机床相比有相当大的差距。
2.金刚石工具与切削技术向高层次发展用天然单晶金刚石制造切削工具,已经成为超精密加工的必备的条件之一。
现在由于研磨技术的进步,金刚石切削刃口圆弧半径已经达到2～4nm ,甚至更小,扫描电子显微镜已无法检测,日本在1986年专门成立了一个检测委员会,来探索检测方法,迄今尚未达到目的。
超精密制造技术的进展与发展趋势
超精密制造技术的进展与发展趋势超精密制造技术是一种在纳米级尺度下进行加工和制造的技术，其应用范围广泛，包括光学、半导体、生物医学、航空航天等领域。
近年来，随着技术的不断革新和研究的不断深入，超精密制造技术也在不断发展和进步。
本文将探讨超精密制造技术的进展和发展趋势。
I、进展在技术的不断进步下，超精密制造技术也逐渐实现了从研究到实际应用的转化。
以下是超精密制造技术的一些进展：1. 纳米级加工能力的提高现在的超精密制造技术已经可以实现在纳米级尺度下的加工和制造，其加工精度可以达到0.1微米至0.01微米，最小加工量可以达到纳米级别。
这种加工能力的提高使得超精密制造技术在各个领域都有广泛的应用，尤其是在半导体、光学和生物医学等领域。
2. 加工的复杂度不断提高近年来，超精密制造技术在加工的复杂度上也有了很大的提高，之前只能加工一些简单的几何形状，现在已经可以制造出非常复杂的零件和器件，如微机电系统、光学棱镜、光栅和纳米器件等。
3. 非接触式加工技术的发展传统的加工技术需要机械接触加工，但是这种加工方式会对加工材料造成划痕和损伤。
随着非接触式加工技术的发展，如激光加工和电子束加工，加工时不需要接触加工，可以避免对材料的损伤。
II、发展趋势超精密制造技术的发展趋势主要包括以下几个方面：1. 改善加工精度虽然目前超精密制造技术可以在纳米级尺度下进行加工和制造，但是仍然存在一些难以解决的问题，如加工误差、表面粗糙度等。
未来的发展方向应该是更进一步地提高加工精度，将加工误差降到最低，同时也要解决表面质量的问题，使得制造出的产品亮度更高，表面更光滑。
2. 降低加工成本目前超精密制造技术的加工成本较高，这限制了其在工业领域的应用。
未来的发展方向应该是降低加工成本，提高生产效率和效益。
这可以通过改进生产工艺和材料、降低超精密设备的制造成本等方面实现。
3. 开发新的加工材料超精密制造技术的加工材料对材料的要求非常高，要求材料的均匀性和纯度都非常高。
超精密加工的发展和展望
超精密加工的发展和展望精密和超精密制造工程是适应前沿高技术发展需求而发展起来的。
它是一个国家重要经济和技术实力的体现，是其它高新技术实施的基础。
超精密制造技术是当前各个工业国家发展的核心技术之一，各技术先进国家在高技术领域(如国防工业、集成电路、信息技术产业等)之所以一直领先，与这些国家高度重视和发展超精密制造技术有极其重要的关系。
超精密制造技术是随着测量技术的发展而发展的。
Renishaw、Heidenhain及SONY等公司发展了分辨率均可以达到1nm的测量元件；美国HP公司、英国Taylor、美国zygo等公司的测量仪器均可以满足纳米测量的需求。
超精密制造技术在国际上已经得到广泛应用。
与国防工业有关的如人造卫星用的姿态轴承和遥测部件、被送入太空的哈勃望远镜(HST)、飞机发动机转子叶片等；与集成电路(IC)有关的硅片加工(要求硅片的加工表面粗糙度Ra一般小于2nm，精度要求达0．1nm)；此外光刻设备和硅片加工设备的精度要求到亚微米和纳米级。
仪表的精度、激光陀螺仪的平面反射镜的精度、红外制导的反射镜等，其表面粗糙度均要求达到纳米级。
另外，光学非球曲面零件面形制造精度要求已达λ/(30—50)，表面粗糙度要求≤0．5nm。
1、超精密制造技术的发展状况1962年美国Union Carbide公司研制出首台超精密车床。
在美国能源部支持下，LLI实验室和Y—12工厂合作，与1983年成功地研制出大型超精密金刚石车床(DTM—3型)。
该机床可加工直径￠2100mm，多路激光干涉测量系统分辨率为2.5nm。
1984年，LLL实验室成功地研制出LODTM大型金刚石车床。
该机床可加工的最大直径为￠1625mm x500mm，重量1360kg。
采用的双频激光测量系统分辨率为0.7nm，其主轴静态精度为：径向跳动≤25nm，轴向窜动≤51nm。
LLL实验室这两台机床是目前公认的国际上水平最高的超精密机床。
CUPE(Cranfield Unit for Precision Engineering)研制的Nanocenter超精密车床已批量生产，其主轴精度≤50nm，加工工件的面形精度≤0.1μm。
精密与超精密加工技术现状和发展展望
精密与超精密加工技术现状和发展展望精密加工技术是一种在当今制造业中非常重要的技术，它的发展与制造业的发展息息相关。
精密加工技术是通过对材料进行高精度的加工来制造出各种精密零部件，这些精密零部件被广泛应用于汽车、航空航天、医疗器械、电子产品等各个领域。
现阶段，精密加工技术已经取得了很大的进步，各种高精度的加工设备和加工工艺层出不穷。
在这些技术发展的基础上，超精密加工技术应运而生。
超精密加工技术是一种相对于精密加工技术更加高端、更加精密的加工技术，它可以实现对材料的超高精度加工，甚至可以达到纳米级的精度。
这种技术对于一些特殊材料的加工非常重要，比如硬质合金、钢、陶瓷等材料。
超精密加工技术的发展展望是非常乐观的。
随着科学技术的不断进步，各种先进的加工设备和工艺将不断涌现。
在这种趋势下，超精密加工技术将会得到更加广泛的应用。
在汽车工业中，超精密加工技术可以用于制造高压油泵的零部件，提高汽车发动机燃油的利用率；在医疗器械领域，超精密加工技术可以用于制造各种医疗器械的零部件，提高医疗器械的精度和安全性。
在未来的发展中，我们还可以看到超精密加工技术将会在航空航天领域得到更广泛的应用。
超精密加工技术可以制造出更加轻巧和高强度的航空零部件，提高航空器的性能和安全性。
超精密加工技术在电子产品领域也有很大的潜力，它可以制造出更小巧、更精密的电子元件，提高电子产品的性能和可靠性。
精密加工技术和超精密加工技术的发展是非常重要的。
它们直接关系到制造业的发展和产品的质量。
相信随着科学技术的不断进步，这些技术将会取得更大的突破，为各个领域带来更多的创新和发展。
精密与超精密加工技术的现状和发展展望精密加工技术是制造业中至关重要的一环，它的发展与制造业的发展密不可分。
精密加工技术通过对材料进行高精度的加工，制造出各种精密零部件，广泛应用于汽车、航空航天、医疗器械、电子产品等各个领域。
当前，精密加工技术已取得了长足的发展，各种高精度加工设备和工艺不断涌现。
超精密加工技术的发展及对策
超精密加工技术的发展及对策随着科技的不断进步，超精密加工技术已经成为当今制造业中的重要一环。
超精密加工技术是指通过高度精密的加工设备和工艺，在微米级别甚至更小的范围内进行精细加工，以达到高精度、高质量的加工效果。
这种技术被广泛应用于半导体、光学、航空航天、医疗器械等领域，对提高产品的性能和品质起到至关重要的作用。
本文将从超精密加工技术的发展历程、应用领域和未来发展趋势等方面进行探讨，并提出相应的对策，以期为推动超精密加工技术的发展贡献一份力量。
一、超精密加工技术的发展历程超精密加工技术的发展可以追溯到20世纪50年代末期，当时主要应用于半导体制造领域。
随着计算机技术和光学技术的发展，超精密加工技术得到了进一步的推广和应用。
1980年代，日本开始大力发展超精密加工技术，成为当时的领导者。
1990年代，随着微电子技术和光学技术的迅速发展，超精密加工技术的应用领域不断扩大，涉及到了半导体、光学、生物医学等多个领域。
2000年以后，随着纳米技术的兴起，超精密加工技术的精度要求进一步提高，同时也呈现出多样化、高效化、智能化的趋势。
二、超精密加工技术的应用领域1.半导体领域半导体是超精密加工技术最早应用的领域之一，它对超精密加工技术的精度和稳定性要求极高。
半导体元件的制造需要高度精密的加工设备和工艺，以确保产品的质量和稳定性。
超精密加工技术可以制造出微米级别的半导体元件，如芯片、传感器等，为信息技术的发展提供了重要支持。
2.光学领域光学领域是超精密加工技术的另一个重要领域。
在光学领域，超精密加工技术可以制造出高精度的光学元件，如镜片、棱镜、光纤等，这些元件在光学仪器、通讯、医疗设备等领域有着广泛的应用。
3.医疗器械领域超精密加工技术在医疗器械领域也有着广泛的应用。
例如，在手术中使用的微型器械、人工关节等都需要高精度的加工技术来制造，以确保手术的安全性和成功率。
4.航空航天领域航空航天领域是超精密加工技术的另一个应用领域。
超精密机械加工技术及其发展动向
超精密机械加工技术及其发展动向本文主要介绍的就是超精密机械加工技术和其发展的动向，研究超精密机械的研究原理，研究机械的发展现状，了解目前超精密机械的管理制度和管理措施上存在的问题，研究在超精密机械在进行加工制作的过程中影响其质量的因素，对影响机械制作质量的因素进行简单的介绍分析，加强对机械的管理和提高其质量，保证机械的应用寿命，使得超精密机械在应用的过程中提高工作的效率，提高经济的效益。
标签：超精密；机械加工；技术发展；动向；研究分析1 前言随着我国经济建设发展速度的不断加快，我国的综合国力已经成功的跻身于国际的前沿，所以加强我国的经济建设的管理成为我国最重要的任务，必须保证我国的经济市场可以在激烈的竞争中得到生存，现在我们的行业种类越来越多，对于机械的应用越来越广泛，所以保证机械制作的精密度就可以保证工程的质量，得到人们的信赖，促进我国经济建设的进步与发展，如今我国的超精密机械已经取得了初步的成绩，所以继续研究发展超精密机械，保证产品的质量使人们得到满足是急需解决的问题。
2 超精密机械的介绍超精密机械的加工技术非常的复杂，需要经过的步骤非常的多，并且机械的制作材料非常的小，超精密机械加工就是以形状精度为数百纳米甚至数百微米，表面的粗糙组的范围以在数百纳米以内为标准的机械，可以看出加工的过程必须非常的小心，在加工的过程中还要进行切削、磨削等多种加工的技术，然后将工具复制到其他的工件上的方法，超精密机械的加工过程以及加工技术的应用必须要时刻的注意，如果一不小心就会降低制作的质量，影响到机械的应用，降低产品的质量，不利于产品满足顾客的需求，就影响经济市场的发展，当前的超精密机械已经发展了40多年，在某些方面取得了较好的成绩，但是在其加工技术方面还是存在许多的漏洞，不能促进超精密机械的广泛应用。
超精密机械的加工技术与现在的计算机、能源技术等等都有较为紧密的联系，超精密机械的加工技术在近些年来正在逐渐的发展，因为其发展的过程非常的缓慢，所以不能适应我国经济发展的速度，所以现在必须要采取正确的措施进行加工技术的升级，推动超精密机械的大规模发展和应用，使其适应我国经济的发展速度。
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超精密加工的发展动向和展望超精密加工技术是机械制造领域的重要方面，它的发展是尖端技术的基础，它的成就将是推动整个科技向更高层次发展的重要手段，也是现阶段必须突破的关键技术，因此及时借助于当前的有关各项技术的进步，综合加以利用才能突破。
这就是本文的初衷。
1综述超精密加工技术是一门综合性的系统工程，它的发展综合地利用了机床、工具、计量、环境技术、微电子技术、计算机技术、数控技术等的进步。
日本的津和秀夫教授形象地将超精密加工比作富士山的山顶，所以在某种意义上说，已到达了精密加工的顶峰。
日本的文献上，经常出现向极限靠拢的提法。
虽然从技术的角度来说，有些模糊，但是很形象化。
实际上，加工精度在现有的水平上再提高一步已是相当困难。
以现在的产品而言，凡是要求高的尺寸，大部分是超越现有标准的，这从另一个侧面反映了超精密的实际情况，相当多的要求，均以技术条件的形式来表示，或标明具体的特殊公差，而今天除了精度以外，对表面还提出了新的要求——表面完整性。
日本谷口纪男教授往往将超精密加工技术与微细加工综合在一起来加以介绍，客观上反映了两种技术的交叉，也体现了时代的特征。
本文想就超精密加工发展的趋势，说明一些个人的看法。
超精密加工技术随着时间的推延，精度、难度、复杂性等都在向更高层次发展，使加工技术也随之需要不断加以更新，来与之相适应。
以金刚石切削为例，其刃口圆弧半径一直在向更小的方向发展，因为它的大小直接影响到被加工表面的粗糙度，与光学镜面的反射率直接有关，而今反射率要求越来越高，如激光陀螺反射镜的反射率已提出了99.99%，必然要求金刚石刀具更加锋利，根据日本大阪大学岛田尚一博士介绍，为了进行切薄试验，目标是达到切屑的厚度1nm，其刃口圆弧半径趋近2～4nm。
直至今日，这个水平仍为世界最高的。
为了达到这个高度，促使金刚石研磨机也改变了传统的结构，而采用了空气轴承作为支承，研磨盘的端面跳动能在机床上自行修正，使其端面跳动控制在0.5μm以下，我国航空系统303所研制的刃磨机就是一例。
刃口锋利了，接着其检测又成为一个难题，起先日本横滨大学的中山一雄教授用金丝压痕的方法;后来发展到采用扫描电子显微镜(SEM)，其测量精度可达到50nm;随着精度的再提高，日本的刀尖评价委员会又在SEM上增加了二次电子的发射装置，这时也只能测定到20～40nm;1993年，该小组再提出采用扫描隧道显微镜(STM)或原子力显微镜(AFM)来进行检测，但以后就未见报道。
直到1996年，我国的华中理工大学发表了用AFM检测的报道。
1998年，哈工大又再次作了报道。
用AFM成功地检测了刃口圆弧半径。
检测技术的突破，的进为微量切削机理一步探索创造了前提。
硬脆材料的加工一般均采用研磨等方法，后来日本足利大学的宫下政和教授发表了采用金刚石砂轮，控制切削深度和走刀量，在超精密磨床上，可以进行延性方式磨削，即使是玻璃的表面也可以获得光学镜面。
这在技术上是一次很大的突破。
接着，又发展到了直接采用大负前角度的金刚石车刀在上述的类似条件下，也可以获得同样的结果，但车削的效率则明显的提高。
今天又提出如果将超声波技术与金刚石切削结合，更有利于发挥出功效。
我国吉林工大等也作了这种尝试，并取得成果。
砂轮采用金属结合剂，一般指的是铜，而为了提高砂轮的寿命，日本东京工业大学的中川威雄教授采用了铸铁结合剂，使砂轮的寿命明显提高，这是很大的突破，随之，引起了各种结合剂的研究热潮。
后来日本理化学研究所的大森整就在这个基础上，发展了砂轮的在线电解修整(ELID)技术，又使超精密加工技术的途径得到了拓宽，在镜面加工方面取得了进步。
金刚石技术的发展，近几十年来，给了科技人员很大的激励，从天然金刚石到人造金刚石，从超硬金刚石薄膜到厚膜的形成，逐渐为在超精密制造技术方面广泛采用金刚石工具创造了美好的前景。
为了金刚石应用领域的拓宽，为突破金刚石切削黑色金属，一直在进行大量的实践，如深冷切削、富碳大气中的切削等，都先后取得一些效果，也有在金刚石的成份中掺入硼，使之与黑色金属的亲和力明显改善。
而今金刚石的刃磨已在探索其他的途径，如热化学研磨即为一例。
微量切削的机理一直是技术人员所关切的一个大问题，但是要直接对切削点观察是异常困难的，现在有提议将切削装置小型化，放置于SEM的镜头下进行切削并观察;日本大阪大学井川直哉教授等开始采用计算机仿真，逐步在向揭开微量切削的奥秘迫近。
超精密机床的发展，已经相当成熟。
它是最重要的硬件，它集大量成果于一体，如高精度主轴、微量进给装置、高精度定位系统、气浮导轨技术、热稳定性技术、NC系统等。
特别是美国的LLNL实验室、日本的不二越、东芝机械等公司、英国的Cranfield、Pneumo Precision等的产品都已商品化，在市场上很有声望。
总之，超精密制造技术是综合的、系统的技术组合，而且随着时间的推延，其内涵始终在演变，因此必须及时跟踪、分析，综合地将其各方面的进步，以新颖的构思巧妙地加以重组，来不断地提高超精密加工技术水平，适应时代的要求。
2展望与对策时代对超精密加工技术仍在不断地提出更新的需求，从大到天体望远镜的透镜，小到微机械的微纳米尺寸零件。
不论体积大小，其最高尺寸精度都趋近于毫微米;形状也日益复杂化，各种非球面已是当前非常典型的几何形状;70年代，始于日本的产品短薄轻小的战略思想，引发了仪表的小型化、轻便化，从而导致仪表零件的薄壁、低刚度、易变形的特点，也造成超精密加工的更大难度。
在当前必然也会谈到的是微机械技术的诞生，为超精密制造技术引来一种崭新的态势，它的微细程度使传统的制造技术面临一种新的挑战。
尽管它的诞生时间只是近期的事。
人们已公认为它是21世纪的前沿技术。
它的发展极为神速，受到全世界的关注，我国也不例外，仅几年时间，许多单位已生产出各种产品，甚至完成了将原子迁移，构成图形或字体等的各种创举。
1996年，上海交通大学展示了直径为2mm的微电机，而今天瑞士TECHS TAR GmbH已经将直径3mm电机，转速为100,000r/min的产品作为商品销售，其最小的滚珠轴承外径只有3mm。
微机械的发展如此迅速，确实惊人!面临即将到来的21世纪，我国从事超精密加工的广大科技人员如何努力才能缩短与国外的差距，作为这条战线的一名工作者，确是日有所思，下面提出一些个人的具体想法。
跟踪世界先进科技的发展，大量掌握和利用信息超精密加工技术是发展科技的重要手段，所以受到世界各国的广泛重视，因此也就不断地获得新的成果，但是因为它的要求都处在精度的极限，传统的、单一的技术往往很难突破，必须综合地利用当前取得的各种成果，通过综合、分析，加以整合、重组，才能进一步满足更高的要求。
因此当务之急是如何及时地取得各种有关的信息。
自从进入信息时代，获得信息的手段也随之而得到发展，特别是计算机联网的实现，加速了信息传递。
因此为信息的及时获得创造了前提，同时已成为竞争的重要手段。
前面已提到的金刚石切削刃口圆弧半径的测量，一直是超精密加工技术领域中的一个难题，自从1982年，STM和A FM的发明，应当说为其测量创造了前提，但是当时并未受到应有的重视，直到1993年才从《Precision Engineering》看到美国学者J.Drescher提出这种设想，但并未实现。
到了199 6年和1998年，才看到我国的华中理工大学和哈工大在这方面相继作出了的有关的报道。
表明这些信息的传递，有利于加速技术的发展。
但为什么实践如此滞后。
也许可以说，信息虽然是有了，但并没有很快得到应用，当时它的出现并非直接为超精密加工领域应用的。
不过今天看来这项研究，所以能获得进展，也是因为应用了这个信息。
这充分说明信息只是一种素材，有了信息还得进一步经过加工，才能成为真正的手段。
超精密加工技术一直是制造技术的前沿技术，每前进一步，都需付出很大的代价，而且对其要求也是随着时间的推延而不断提高，这就必须广泛的收集信息，虽然工艺信息往往是被视作Know-How而加以保密，所以更增加了它的收集难度，但是信息的渠道是多方面的，另外，得到的信息，大部分仍然需要经过大量筛选，择其有用的为我所用。
而信息的收集必须先行，并且需要及时。
比如，当前硬脆材料的加工已是当务之急，历来采用磨削的途径，但是在技术上存在比较难克服的问题，往往满足不了光学等方面的要求，有的还将附加采用难度不小的抛光。
为了突破这个难题，世界各国都开始摸索新的途径，后来出现在超精密机床上加工硬脆材料，控制极小切深和走刀量，首先从磨削突破了硬脆材料延性方式的技术，紧接着也很快采用大负前角的金刚石车刀获得成功。
当然在掌握上，仍然存在难度。
近期又有建议在金刚石的切削上如果复合振动切削，便能更易实现硬脆材料延性方式的切削。
这表明技术是在不断推陈出新的。
必须时时跟踪，这样才有可能缩短研制的周期，突破难题。
整合、重组思想的运用超精密加工技术是一项系统工程，它集机床、工具、计量、数控、材料、环境控制等成果于一体，针对不同的加工对象，不同的设计要求，综合地加以利用。
这里想以当前的超精密机床为例，可以发现大部分这类机床也是反映出这些特点，它是根据自己所需的产品来设计、制造的。
从这类机床的主轴、直到床身，几乎均被认为到了精度的极限，因此每种型号特色都比较明显。
而商品化的也有一些，但从已发表的文献中来看，只是少数。
前者如美国的LLNL国家实验室的大型光学金刚石车床LODTM等。
后者如Pneumo Preci sion公司的SMG325超精密机床。
即使是大量生产磁盘的车床其需要量也是很有限的，以日本东芝机械公司为例，据其公司的介绍，每年在日本的补充量也仅三十多台，或者更少。
这是超精密机床的特点。
超精密机床的特点扩大到整个超精密加工技术来看，有类似的情况，超精密加工技术也都是在其有关的各项技术支撑的条件下，逐步发展起来的，同时又往往取各项技术的崭新成果来加以充实、提高。
例如金刚石车刀的刃口圆弧半径达到2～4nm，就可切削下小于1nm厚度的切屑，这为更高精度的加工创造了前提;摩擦驱动的出现，完全解决了滚珠丝杆的发热、振动、振摆和噪音等的不足，使获得更佳的质量具有可能性;冷却液的温度能控制到20±0.0005℃，在喷淋下切削可以保证高精度;静压轴承的高精度为主轴的高精度回转提供了条件;双频激光干涉仪达到了当前的最高定位精度;喻为零膨胀系数的微晶玻璃为超精密机床向更高层次的发展提供了可能。
这许多崭新的技术成就为整个超精密加工技术向纵深发展创造了依据。
今日的超精密加工技术就是以这许多先进技术作为支撑的。
但是如何运用好这些技术，还有待更高超的整合和重组的技巧。
这是超精密加工技术方面的重要课题。
创新是推动超精密加工技术发展的动力超精密加工技术每前进一步，都离不开创新，这是由超精密加工技术所处的位置决定的，因为这门技术始终处在发展的前沿。