XPS分析元素的含量的方法

XPS数据分析之樊仲川亿创作

纵坐标：Intensity(cps)

横坐标：bindingenergy（eV）

除氢氦元素, 其他的元素都可以进行分析；先进行宽扫, 确定样品有何种元素, 再对该元素进行窄扫.该元素的分歧键接方式都对应分歧的峰, 所以对元素窄扫的峰要进行分峰（分峰之前要进行调整基线）.如何分峰, 分歧的键接方式会对应分歧的结合能.

第一步：先把元素的窄扫峰用origin画出来；

纵坐标：Intensity(cps)

横坐标：bindingenergy（eV）

第二步：调整基线；

选择CeateBaseline-----next------next-----add/modify添加（双击）或去除（delete）基点, 保证基线水平-----Finish

最小化图, 会呈现调整基线后的坐标.拔出一列,

单机右键选择setcolumnvalues输入col（b）-col（d）：即开始纵坐标减去调整基线后的纵坐标.

再用横坐标与刚开始获得的纵坐标作图------调整基线后的XPS 窄扫图.

第三步：对峰求积分面积；

选择integratepeaks-----next-------狂点------完成

即area为峰的面积.

第四步：分峰较难（有专门的分峰软件, origin也能分峰）

第五步：求组分元素比：

元素比即是：窄扫峰面积/XPS灵敏度因子（每一个元素的灵敏度因子纷歧致）

咱们这边的XPS设备选择的是铝板（AlKα）.