制绒工艺

工艺流程情况
→1#预备处理→2#漂洗→3#去损伤层→4#漂洗
→5#制绒面1 →6#制绒面2 →7#制绒面3 →8#制绒面4
→9#漂洗→10#喷淋→11# HCL →12#漂洗→13#喷淋
13#槽纯水供12#槽使用，10#槽纯水供9#槽使用
使用三个机械手，4#9#槽为公共槽
1#到2#槽时间小于20秒，3#到4#槽时间小于15秒，5# 6# 7# 8#到9#槽时间小于20秒
1#3#槽时间优先
5#6#7#8#槽满足普通排液和定量排液两种方式
5#6#7#8#槽满足普通加纯水方式
5#6#7#8#槽循环泵增加“有篮循环”“无篮循环”功能
报警分为故障报警和通知报警（出料到位）两种方式
抽风风道可以清理
机械手上下左右全部采用伺服控制
在1#槽或2#槽上部没有增加喷淋功能
11#槽采用快速排水模式
喷淋盖板使用塑料材质,设备外露部分如螺丝链条全部采用塑料材质
在13#槽后增加一个氮气喷枪
将5#,6#,7#,8#绒面处理槽的加热管采用不锈钢加热管
增加加热管功率或增加加热管的数量，使用预热纯水时，绒面处理槽的加温时间减少到20分钟左右
外置预热时间为60分钟
片盒为25片,(每槽每批处理200片)
绒面处理槽排液系统改进,( 排除废液后槽内不得留有废液)
绒面处理槽自动盖密封性改进及材料改进.
增加(预留)稀HCl清洗槽
5#,6#,7#,8#绒面处理槽增加溶液循环模式
增加纯水预热设备，NaOH和纯水混合槽，IPA槽，自动计量补液和排放
制绒槽中部增加一个温度显示,温度显示仪放在制绒槽旁边,和底部温度控制进行比较，此温度不参与程序软件控制
工艺作业指导书
1.目的
硅片表面的粗抛。

2.适用范围
制绒工序
3.管理流程
3.1 生产准备
3.1.1 穿上工作服，戴上PVC/呢绒手套，加药操作人员需要戴上安全眼镜、
防护面具、防酸碱围裙、长袖防酸手套。

3.1.2 确保手套没有粘有油脂性物质,在插片过程中请使用真空吸笔,如有其他取片需要,严禁直接接触硅片的表面，只允许接触硅片的两侧.手套若接触过皮肤、头发或者是带有油脂的物品，请更换手套。

3.1.3 装片前必须记录硅片材料的箱体号、单晶号及流程单号等信息，硅片包装标签需要贴在流程单背面。

3.1.4 检查DI水的电阻率，实际观察值需＞16ohm-cm,上班前并做好相应记录，低于规定数值，立即通知工艺人员。

3.2 生产操作过程
A：制绒槽的操作过程
3.2.1 把DI水装入制绒槽中，使水位到达预定的刻度(制绒槽从上向下不锈钢壁第五个孔位），盖上槽盖，开启加热。

3.2.2 当屏幕显示制绒槽温度达到，先按工艺规定的配液比例加入KOH, 盖上盖子，鼓泡数分钟，使溶液混合均匀。

3.2.3 制绒槽持续加热溶液，直到控制屏幕实际显示温度达到工艺规定要求。

3.2.4 按工艺配液比例要求加入IPA,盖上盖子，开启鼓泡。

3.2.5 当温度稳定后，开始投料生产。

3.2.6 正式生产时，当硅片从制绒槽中提出后，在漂洗槽检查硅片质量（外观与重量检查，标准见质量检查一项）。

3.2.7在每个槽中做完一批后，需要定量补料，补料范围为：根据实际生产出片制绒效果结合工艺参数PPM。

3.2.8 如果当班在下班时制绒槽如果没有做满10批，则不需要将药液放掉，下个班次可以继续使用到10个批次，上个班次。

B：其它辅助槽的操作过程
3.2.9 预清洗、HF、HCL槽将水位加到预定刻度处（在相应的槽中有标定刻度），溢流槽加满水。

3.2.10 在HF、HCL槽中分别加入工艺规定溶液配比量的HF和HCL，每个槽鼓泡数分钟,使溶液均匀。

3.2.11 在盐酸前面的漂洗槽检查硅片时，操作人员不应在盐酸槽一面，而应该在漂洗槽一面，同时要注意机械臂的运动。

3.3 工艺控制要求
3.3.1 所有漂洗槽中的水必须一个班次（12小时）更换一次，并清理槽内的碎片。

3.3.2 每一制绒槽中的溶液必须在十批硅片后更换。

3.3.3 如果中间停止生产45分钟的话，制绒槽中加入工艺要求的IPA和KOH。

3.3.4 如果中间停止生产一小时的话，制绒槽中加入工艺要求的IPA和KOH。

3.3.5 如果停止时间超过一小时,制绒槽中的IPA加入量由当班工艺工程师或技术员决定。

3.3.6 由于每个槽体的密封性不同，在制绒过程中应观察每个槽中的水位，如发现水位明显有异于其它槽体，应及时通知班技术人员，进行补水以及药液加入量的调整。

3.3.7 预清洗槽、HF、HCL槽必须在做满15000片进行药液更换。

3.3.8 制绒工序做好各种记录表格，包括：DI水电阻率检查表、制绒槽中定量补药记录表、每个槽的药液和水的更换记录表。

3.4 质量检验
3.4.1 当硅片到达漂洗槽中时，需检查腐蚀后硅片质量，包括绒面外观质量。

外观要求绒面无明显白斑，无药液残留、无明显反光。

3.4.2 工序产品单面腐蚀深度如果不在工艺要求的范围之内,通知工艺工程师,采取改善措施，刻蚀深度最合适的范围在8至13微米之内。

4 仪器/工具/材料
仪器：测量范围100摄氏度的温度计、PH试纸。

工具：防护用品（耐酸碱长袖手套、防酸碱围裙、防护眼镜、防护面罩）、PVC/呢绒手套。

材料：硅片、KOH、HF、HCL、IPA、DI 水。

5.0 注意事项
5.1 检查制绒质量，观察是否出现异常,详细参照代表性样品。

若出现异常情况，目测或参考有代表性的样品，在作业指导书规定范围内做调整（见3.2.7），问题仍不能解决则通知技术员做工艺调整。

5.2 如果需要更改工艺,一般只需更改制绒时间与IPA的加入量，KOH的加入量只有在上述调整效果不明显的情况下做改动。

补药量超过控制作业指导书范围
时，需工艺工程师同意。

5.3 所有生产人员必须严格遵守工艺规定，严禁越过一些工艺或者不按照工艺执行。

5.4 在制绒过程中，如发现在槽中有腐蚀锈迹，应立即通知设备工程师。

5.5 发现工艺槽体及液体颜色出现异常时，应立即通知设备工程师和工艺工程师。

5.6 不允许将片盒或篮子直接放在地面上并与金属直接接触。

5.7 每条线制绒与扩散工序之间的在制品在置时间不能超过4小时。

5.8 每批测量3片硅片（片架的固定位置）来检查腐蚀厚度。

5.9 在更换所有药液做清洗工作时，所有槽只需做一次溢流清洗，然后用水枪清洗干净即可。