SEM操作规程

扫描电子显微镜操作规程
一、开始运行系统：
1.打开总电源。

2.打开空气压缩机。

3.打开机械泵和变压器。

4.通入冷却水。

5.打开真空电源，系统开始抽低真空。

6.30分钟后，使系统抽高真空。

7.待前级真空、管道真空和高真空均指示到200的位置以后，即可开始工
作。

二、关机
1.关闭阀1，打开“STAND BY”开关。

2.将真空控制板上的自动、手动开关置于手动，此时只有阀2继续抽扩散
泵的前级真空。

3.30分钟后，关真空电源。

4.关闭机械泵、空气压缩机、总电源。

5.关冷却水。

三、注意事项：
1.在测量高真空时，不要将表头开关置于HI V AC位置上。

2.加高压时，不要一下子加到20-30KV，特别是房间较潮湿的地方，高压
容易打火，造成仪器元件损坏。

所以可以先加10KV，再以1KV的步距
逐步增加高压。

3.要慢慢增加束流，并且是灯丝在饱和点工作。

4.灯丝一定要安正，否则看不到图像。

5.在仪器不用时，要定期开机抽真空。

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