高精度加速度传感器

高精度加速度传感器
佚名
【期刊名称】《发明与创新：大科技》
【年(卷),期】2005()6
【摘要】日本三菱电机公司，利用最新的微型机械加工技术——DRIE工艺，开发了高性能的加速度传感器(加速度测定范围2G，G=重力加速度)。

该传感器与公司生产的老产品相比，加速度检测精度提高了2倍，此外，将偏置电压的温度漂移量抑制到1／2以下，提高检测精度，实现行业内最高水平的小型化与高性能化，同时，由于内置信号处理IC，实现低价格化。

【总页数】1页(P47-47)
【关键词】加速度传感器;高精度;日本三菱电机公司;微型机械加工技术;检测精度;重力加速度;速度测定;偏置电压;高性能化;信号处理;E工艺;DRI;老产品;漂移量;小型化;低价格;相比
【正文语种】中文
【中图分类】TQ320.79;TP212
【相关文献】
1.用于微振动测量的高精度加速度传感器标定方法 [J], 马功泊;李栋;岳志勇;冯国松
2.基于加速度传感器ADXL330的高精度计步器 [J], 宋浩然;廖文帅;赵一鸣
3.高精度加速度传感器信号处理电路的设计 [J], 唐军;郭涛;石云波;刘俊
4.一种基于加速度传感器的高精度振动探测器技术研究 [J], 陈力
5.高精度加速度传感器实现帕金森病早期诊断 [J], 贾海昆
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