10-真空泵维修保养规程

1. 目的
建立真空泵维修保养规程，确保设备正常运转。

2. 范围
本规程适用于抽气速率70L/S以上及2×型旋片式真空泵的维修保养。

3.职责
3.1设备员负责本规程的制定、修订、培训。

3.2岗位操作人员负责本规程日常维护保养部分的实施。

3.3电钳维修人员负责本规程周期检修保养部分的实施。

3.4 QA人员、设备员和车间主任负责监督和检查本规程的执行。

3.5设备维修部经理负责本规程的可操作性和适用性审核。

3.6品质部负责本规程的批准和发布。

4. 程序
4.1 检修间隔期
4.1.1 检修类别
检修类别分小修和大修两类。

检修间隔期见表1。

4.1.2 检修内容
4.1.2.1 小修
4.1.2.1.1 检查、紧固各连接螺栓，调整胶带松紧度。

4.1.2.1.2 检查密封装置，更换密封垫。

4.1.2.1.3 检查润滑油质量和油位，更换或添加真空油。

4.1.2.1.4 检查、清洗水冷却系统。

4.1.2.1.5 检查和清洗过滤网、挡油网。

4.1.2.1.6 清洗或更换视镜。

4.1.2.1.7 排除管道接头漏气。

4.1.2.2 大修
4.1.2.2.1 包括小修内容。

4.1.2.2.2 解体检查零部件的磨损、腐蚀程度，并进行修复或更换。

4.1.2.2.3 更换滚动轴承，调整高、低转子轴的水平位置。

4.1.2.2.4 检查、修理泵轴、泵壳、端盖，更换旋片。

4.1.2.2.5 调整、更换排气阀片、弹簧及橡胶片。

4.2 检修前的准备
4.2.1 技术准备
4.2.1.1 说明书、图样、技术标准等技术资料。

4.2.1.2 设备运行、检修、缺陷、故障、功能失常等技术状况记录。

4.2.1.3 机器检修前预检记录。

4.2.1.4 制订大修理方案。

4.2.2 物资准备
4.2.2.1 检修用零、配件。

4.2.2.2 检测工具：如刀口尺、塞尺，内、外径千分尺及真空压力表等。

4.2.2.3 拆、装工具、吊具。

4.2.3 安全技术准备
4.2.3.1切断电源，挂禁止开启警示牌。

4.2.3.2 切断与泵相连接的管路，对有毒、易燃、易爆介质要求进行有效处理。

4.2.3.3 制订人机安全措施。

4.3 检修方法
4.3.1 拆卸
4.3.1.1 放净泵油与冷却水。

4.3.1.2切断真空及冷却水管道。

4.3.1.3拆卸防护罩、油箱盖。

4.3.1.4 拆下胶带、胶带轮。

4.3.1.5 拆卸低真空腔端盖，取出密封圈及定位销。

4.3.1.6 取出低真空转子、旋片，拉出转子时，应捏紧旋片。

4.3.1.7 用同样方法拆卸高真空转子、旋片。

4.3.1.8 拆卸过程中应做到
a、保护零部件的配合表面和密封结合面；
b、对转子部分的组合件，一般不得拆卸，必要时需审慎进行。

4.3.2 泵体
4.3.2.1 泵体工作表面的锈蚀、滑痕缺陷，用细砂或细砂石磨光修复。

4.3.2.2 泵腔与转子切合点间隙的检查方法：将泵体垂直放置，用塞尺塞进切口进行检查，检查时转子与泵体不得有相对移动。

4.3.2.3 切点间隙超差，采用将转子外表面镀硬铬后磨削加工的方法修复：组合式的泵体，可调整其端盖和中心壁和偏心距。

4.3.2.4 端面间隙检查方法：将转子与中壁贴紧，用刀口尺横放在泵体端面上，用塞尺塞进刀口尺
与转子端面之间进行测量。

4.3.2.5 端面间隙超过规定值，采用磨削泵体相应端面的方法修复。

4.3.2.6端盖平面度的检查方法：将刀口尺放在端盖平面上，用塞尺塞入刀口尺与端盖之间检测端盖平面。

4.3.2.7 端盖平面磨损0.02mm以上时，用磨削的方法修复。

4.3.2.8 转子轴颈处磨损大于0.15mm时，采用镀硬铬然后磨削修复。

4.3.2.9 泵零件拉毛、划伤、碰伤等严重缺陷，用刮刀、细砂纸和油石磨光方法修复。

4.3.3 装配
4.3.3.1 装配按拆卸的相反程序进行。

4.3.3.2 采用倒、正、侧装方式，装配时利用转子自重使其与泵腔贴紧，保证切合点间隙。

4.3.3.3 旋片组装，应先将弹簧装在旋片上，再将旋片装入转子，并用手压缩几次，手感无卡阻现象。

4.3.3.4 一般先装高真空转子，后装低真空转子，装配时应加入适量的真空油。

4.3.3.5 装配两端盖时，可先用手转动胶带轮，边转动，边拧紧端盖螺钉。

4.3.3.6 装排气阀的阀片时，要注意清洁度。

4.3.3.7 所有静密封面，推荐用真空密封胶，以保证密封。

4.4 检修质量标准
4.4.1 主要零件公差等级及配合种类见表2规定。

4.4.2 主要零件形位公差按GB1184《形状和位置公差未注公差规定》选取，见表3。

4.4.3 主要零件主要表面粗糙度见表4。

4.4.4 泵的主要部位的间隙见表5
4.4.5 其他要求
4.4.
5.1 泵缸重新安装时，其水平度要求为0.1/1000mm。

4.4.
5.2 缸体内表面无裂纹、砂眼、伤痕、沟槽等缺陷。

4.4.
5.3 油箱内表面和高低缸气体通道无裂纹气孔、砂眼，及明显的凸起和凹陷。

4.4.
5.4 旋片选用酚醛玻璃层压板代用材料时，表面粗糙度Ra值不大于1.6um，并要保证尺寸精度。

4.4.
5.5 旋片弹簧用65Mn（或琴钢丝）弹簧钢丝绕制并经热处理，应无明显扭曲、弯曲、螺距缩短和疲劳裂纹等缺陷。

4.5 试车和验收
4.5.1 试车前的准备
4.5.1.1 检查各部连接无松动。

4.5.1.2 高、低真空室按规定加足4#、1#真空油。

4.5.1.3 检查各辅助设备是否良好，仪表是否灵敏、准确。

4.5.1.4 手盘车检查无异常现象。

4.5.1.5 检查冷却水系统应通畅。

4.5.1.6 拆下胶带，检查电动机的旋转方向应正确。

4.5.2 试车
4.5.2.1 空载试车
4.5.2.1.1 启动电动机时先点动启动，确认泵的旋转方向，并使泵内积油排出。

4.5.2.1.2 空载试车进行极限真空试验，真空度应达到技术要求（见说明书）的99.5%。

4.5.2.2 负载试车
4.5.2.2.1 负载试车时间不少于4小时。

4.5.2.2.2 负载试车应达到如下要求：
a、无泄漏（漏油、漏水）现象；
b、运转平稳，无异常振动和杂音；
c、泵的温升不小于40℃；
d、运转时，电动机电流不大于额定电流；
e、噪声不大于表6规定值。

4.5.3 验收
检修质量符合规程规定，试车符合6.2条及说明书有关要求，检修及试车记录齐全，可办理验收手续。

4.6 维护及常见的故障处理
4.6.1 维护
4.6.1.1 大修后运行150小时换油一次，以后每季换油一次。

4.6.1.2 经常检查油位及油质变化，发现油乳化时可开气动阀处理，若仍无效，则换新油。

4.6.1.3经常检查冷却水是否中断，及密封装置有无泄漏。

4.6.1.4 检查泵温和油温。

4.6.1.5 经常检查电流值。

4.6.1.6 冷却水进口温度应低于30℃，如高于30℃应采取措施。

4.6.1.7 及时排除管道、接头漏气。

4.6.1.8 泵工作环境温度不得超过40℃，相对湿度不得高于90%。

如超过，应采取措施。

4.6.1.9 停车后，泵温下降到5℃以下时，泵内冷却水必须除净。

4.6.1.10 如长时间停用，应每隔7～10天启动一次，防止长期不用而锈蚀。

4.6.2 常见故障处理
常见故障及处理方法见表7
4.6.3 维修保养结束后，及时做好记录。

5.相关文件：
5.1设备维修记录（XY/SOR—EQ·X—17）5.2 设备润滑记录（XY/SOR—EQ·X—14）5.3 设备定期检修保养记录（XY/SOR—EQ·X—12）
6.文件变更及原因。