真空镀铝中溅射问题的分析及处理

真空镀铝中溅射问题的分析及处理
张忠武;董华娟
【期刊名称】《真空科学与技术学报》
【年(卷),期】1990(0)6
【摘要】真空镀铝膜时,经常会发生铝液溅射现象(又称溅火或打火),使被镀物因铝液的喷溅而出现孔洞,造成废、次品(尤其是塑料薄膜)。

所谓溅射现象,即在蒸发源工作时,在产生铝金属蒸汽时。

【总页数】1页(P413-413)
【关键词】溅射现象;真空镀铝膜;铝液;铝金属;基材表面;铝原子;电阻加热蒸发;蒸发装置;送丝机构;包装材料
【作者】张忠武;董华娟
【作者单位】浙江省萧山市包装材料股份有限公司
【正文语种】中文
【中图分类】TB7-55
【相关文献】
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