SiCl4等离子体中的中性基团质谱测量

SiCl4等离子体中的中性基团质谱测量
王照奎;林揆训;娄艳辉;林璇英;祝祖送
【期刊名称】《核聚变与等离子体物理》
【年(卷),期】2006(026)003
【摘要】设计了一个取样位置能在射频辉光放电等离子体电极间自由移动的取样装置,用质谱计测量了SiCl4等离子体的离子信号.提出了一种线性拟合的方法用于计算SiCl4等离子体的消耗率,利用测量的离子信号,计算出了SiCl4等离子体中SiCln(n=0～2)中性基团的空间分布.实验结果表明,可移动质谱取样装置的设计是合理的;用线性拟合方法得到的等离子体消耗率和中性基团的相对密度,比以前的方法得到的更精确.
【总页数】5页(P252-256)
【作者】王照奎;林揆训;娄艳辉;林璇英;祝祖送
【作者单位】河南师范大学物理系,新乡,453007;汕头大学物理系,汕头,515063;汕头大学物理系,汕头,515063;河南师范大学物理系,新乡,453007;汕头大学物理系,汕头,515063;汕头大学物理系,汕头,515063
【正文语种】中文
【中图分类】TL65
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