vertical gradient freeze methods
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vertical gradient freeze methods
垂直梯度凝固法,英文名为Vertical Gradient Freeze Method,简称VGF。
该方法是将装有物料的容器垂直放置在炉中,使物料在设定好的温度梯度下完全熔化,然后让其从下部一端缓慢结晶,并向上部一端延续,从而实现晶体生长。
VGF方法常用于生产单晶硅,其操作过程大致如下:首先,将需要结晶的材料放入特定形状的坩埚内,然后在结晶炉内加热熔化;接着,使坩埚缓慢下降,通过温度梯度较大的区域,使晶体从坩埚低端开始生长,并逐渐向上推移。
VGF方法的优点在于可以实现批量生产,且生产效率较高,一组源棒可以产出12到50个单晶硅棒不等。