一种显示面板及其制备方法[发明专利]

专利名称：一种显示面板及其制备方法专利类型：发明专利
发明人：张伟彬
申请号：CN202010020197.0
申请日：20200109
公开号：CN111192908A
公开日：
20200522
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明提供一种显示面板及其制备方法。

所述显示面板包括：衬底层、位于所述衬底层之上的缓冲层、以及位于所述缓冲层之上的有源层。

其中，所述有源层由原子晶体单质和原子晶体化合物混合而成，所述原子晶体单质为多晶硅。

本发明通过将非晶硅层在进行激光退火晶化形成多晶硅层之前进行原子掺杂，可以使晶化时晶粒更细，降低因晶粒挤压形成凸起的高度，晶化后形成原子晶体单质和原子晶体化合物的混合层，其粗糙度低，后续制程不易发生破膜、蚀刻不干净、尖端放电等问题。

申请人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
地址：430079 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室国籍：CN
代理机构：深圳紫藤知识产权代理有限公司
代理人：刁文魁
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