形貌检测频域低通滤波器及检测误差修正
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形貌检测频域低通滤波器及检测误差修正
徐建强;王蕴珊
【期刊名称】《半导体光电》
【年(卷),期】1999(0)1
【摘要】文章提出了用于傅里叶变换形貌检测法的新频域低通滤波器，并提出了修正在检测大梯度变化物体时常出现跳跃误差的相位逆解调法，给出了实际测量结果，并证明其具有使用简单、参数调整方便、应用范围广等特点。
【总页数】4页(P15-18)
【关键词】傅里叶变换形貌法;低通滤波器;三维形貌测量;误差修正
【作者】徐建强;王蕴珊
【作者单位】山东工业大学
【正文语种】中文
【中图分类】TN713.4
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