【CN109950200A】显示面板及其制作方法、显示装置【专利】

(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910233643.3
(22)申请日 2019.03.26
(71)申请人 上海天马微电子有限公司
地址 201201 上海市浦东新区汇庆路888、
889号
(72)发明人 冷传利　
(74)专利代理机构 北京晟睿智杰知识产权代理
事务所(特殊普通合伙)
11603
代理人 于淼
(51)Int.Cl.
H01L 21/77(2017.01)
H01L 27/12(2006.01)
(54)发明名称
显示面板及其制作方法、显示装置
(57)摘要
本发明公开了一种显示面板及其制作方法、
显示装置，属于显示技术领域，包括：提供柔性基
板；形成第一无机层；使用图案化工艺在第一无
机层中形成至少一个镂空部；形成有机垫层；使
有机垫层填充镂空部；在有机垫层背离柔性基板
的一侧表面形成至少一个第一金属部；第一金属
部靠近柔性基板的一侧表面为第一表面，第一金
属部背离柔性基板的一侧表面为第二表面，第一
金属部还包括侧面，侧面和第一表面、第二表面
相接；在位于弯折区中的第一金属部的第一表
面、第二表面、侧面形成金属氧化物层。

相对于现
有技术，可以改善弯折区中的第一金属部被氧化
的问题，提高显示面板的可靠性，
提升用户体验。

权利要求书2页 说明书8页 附图6页CN 109950200 A 2019.06.28
C N 109950200
A
权　利　要　求　书1/2页CN 109950200 A
1.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括：
提供柔性基板；所述柔性基板具有显示区和非显示区，所述非显示区包括弯折区；
形成第一无机层，所述第一无机层位于所述柔性基板一侧；使用图案化工艺在所述第一无机层中形成至少一个镂空部，所述镂空部位于所述弯折区；
形成有机垫层；使所述有机垫层填充所述镂空部；在所述有机垫层背离所述柔性基板的一侧表面形成至少一个第一金属部；所述第一金属部靠近所述柔性基板的一侧表面为第一表面，所述第一金属部背离所述柔性基板的一侧表面为第二表面，所述第一金属部还包括侧面，所述侧面和所述第一表面、所述第二表面相接；
在位于所述弯折区中的所述第一金属部的所述第一表面、所述第二表面、所述侧面形成金属氧化物层。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，
所述在位于所述弯折区中的所述第一金属部的所述第一表面、所述第二表面、所述侧面形成金属氧化物层包括：
使用含氧等离子体处理所述第一金属部，使位于所述弯折区中的所述第一金属部的所述第一表面、所述第二表面、所述侧面中的至少一者形成金属氧化物层。

3.根据权利要求2所述的制作方法，其特征在于，
所述形成有机垫层包括：将所述有机垫层制备为多孔形状，或者在所述有机垫层中掺杂氧化性物质。

4.根据权利要求2所述的制作方法，其特征在于，
所述含氧等离子体包括：氧气、臭氧、一氧化二氮。

5.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，
所述氧化性物质包括：氧化钾、氧化钙、氧化钠、氧化镁。

6.一种显示面板，具有显示区和非显示区，其特征在于，包括：
柔性基板；
所述非显示区包括弯折区；
第一无机层，所述第一无机层位于所述柔性基板一侧，所述第一无机层包括至少一个镂空部，所述镂空部位于所述弯折区；
有机垫层，所述有机垫层填充在所述镂空部中；
至少一个第一金属部；所述第一金属部位于所述有机垫层背离所述柔性基板的一侧表面；
所述第一金属部靠近所述柔性基板的一侧表面为第一表面，所述第一金属部背离所述柔性基板的一侧表面为第二表面，所述第一金属部还包括侧面，所述侧面连接于所述第一表面和所述第二表面之间；
位于所述弯折区中的所述第一金属部的所述第一表面、所述第二表面、所述侧面为金属氧化物层。

7.根据权利要求6所述的显示面板，其特征在于，
所述有机垫层为多孔形状，或者所述有机垫层中掺杂氧化性物质。

8.根据权利要求7所述的显示面板，其特征在于，
所述有机垫层为多孔形状，所述有机垫层包含的气体的体积为V1，所述有机垫层包含
2。