SOI材料在光电子学中的应用

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关键词：Ｏ；波导；Ｓ１光硅基；电子学；光；光热电光中图分类号：Ｎ５Ｔ２２文献标识码：ＡＤＯＩ１．９９ｊｉｎ．０２０．０ｓ５
制备和加工技术的成熟，Ｏ基光波导器件的研究日益受到人们的重视。文章介绍了ＳＩＳＩＯ材料在光电子学领域的一些具体应用，括了在热光器件、包电光器件、微米波导器件与光纤的亚耦合器以及光电子集成芯片等方面的最新研究进展。更小的． ’ 波导截面尺寸是未来ＳＩ波导Ｏ光器件发展的必然趋势。
ＡｐｐｉａｉｎｏＯＩｍａｅｉｌｎ０ｔｅｅｔ０ｉｓｌｔｏｆＳｔｒａｓｉｐ０ｌｃｒｎｃｃ
ＣＨＥＮａ．ｕｎｒＡＮＧＹｕｎｙａ，Ｄｉ
（．ｏｅｅｏｏｕｅｎｎｏｔｎＥｇｅｒｇＢｉｎｅｈｏｏｙａｄＢｓｅｓＵｉｒｔ，ｅｉｇ１０４，ｈｎ；１ＣｌｇｆｍｐｔｒｄＩｆｍａｏｎｉｅｎ，ｅｉｇＴｃｎｌｇｎｕｉｓｎｖｓｙＢｉｎ００８ＣｉａｌＣａｒｉｎｉｊｎｅｉｊ
第４２卷第１期
２１０２年１月
激光与红外
ＬＳＡＥＲ＆ＩＲＮＦＡＲＥＤ
Ｖｏ．１４２，Ｎｏ．１
Ｊｎａｙ２２ａｕｒ，０１
文章编号：０１０８２１）１０１－５１０－７（０２Ｏ－３０５０
・
综述与评论・
ＳＩ料在光电子学中的应用Ｏ材
陈媛媛杨，笛
（．京工商大学计算机与信息工程学院，１北北京１０４；．００８２中央民族大学理学院，北京１０８）００１
摘
要：Ｏ材料是应用于硅基光电子学中的一种重要的光波导材料。近年来随着ＳＩ料ＳＩＯ材
ｗｖｇｉｅｄｖｃｓｉｅｆｔｒ．ａｅｕｄｅｉｅｎｔｕｕｅｈ
Ｋｅｏｄ：Ｏ（ｉｃｎｏ— ｓｌｅ）ｏｔａｗｖｇｉｅｓｉｎｂｓｄｏｔｌｃｏｉ；ｅｍ —ｐｃｅｅｔ —ｐｉｙｗｒｓＳＩｓｉ —ｎｉｕａｒ；ｐｉａｅｕｄ；ｌｏ —ａｅ；ｐｅｅｔｎｃｔｒｏｏｔ；ｌｃｏｏｔｌｏｎｔｃｌｉｃｏｒｓｈｉｒｃ
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ＡｓａｔＳｌ（ｉｃｎｏ — ｓｌｔ）ａｒｌｓｎｉｐｒｎｋｄｏｔａｗｖｇｉｅｍｔａｒｉｃｎｂｓｄ０ — ｂｔｃ：Ｏｓｉｏ—ｎｉｕａｒｍｔｉｏｔｔｉｆｐｉａｅｕｄａｒｌｆｌｏ —ａｅｐｒｌｎｅｅａｉａｍａｎｏｃｌｅｓｏｓｉｉ
ｔｅｒｓａｃｉＳ — ａｅｐｉａｖｇｉｅｄｖｃｓｈｖｔａｔｄｍｏｅａｄｍｏｅａｔｎｉｎ．ｎｔｉｐｐｒｔｅｓｅｉｈｅｅｒｈＯｌＯＩｂｓｄｏｔｌｗａｅｕｄｅｉｅａｅａｔｃｅｒｎｒｔｔｓＩｈｓａｅ，ｐｃｂｃｒｅｏｈ