fpga生产工艺流程

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fpga生产工艺流程
FPGA(Field Programmable Gate Array),即现场可编程门阵列,是一种在硅片上预先设计实现的具有可编程特性的集成电路。

它能够按照设计人员的需求配置为指定的电路结构。

FPGA 是在CPLD的基础上发展起来的新型高性能可编程逻辑器件,一般采用SRAM工艺,也有一些专用器件采用Flash工艺。

FPGA生产工艺流程是一个复杂的过程,主要包括以下几个步骤:
1. 晶圆制备:将硅片切割成一定尺寸的圆形薄片。

2. 光刻:在硅片上涂上光刻胶,然后通过掩膜曝光,形成电路图案。

3. 蚀刻:使用化学溶液将未被光刻胶保护的部分腐蚀掉,留下所需的电路图案。

4. 离子注入:将掺杂物注入硅片中,以改变其电性能。

5. 金属化:在硅片上沉积金属层,以连接电路元件。

6. 封装:将芯片封装成最终产品的形式。

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