石英增强光声光谱技术研究进展

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石英增强光声光谱技术研究进展
马欲飞，佟瑶，何应，张立功，于欣
（可调谐激光技术国家级重点实验室哈尔滨工业大学，黑龙江哈尔滨１５０００１）
摘要：石英增强光声光谱（ＱＥＰＡＳ）技术是一种新颖的气体探测技术，具有体积小、灵敏度高等优点，是痕量
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｑｕａ￣ｚ — ｅｎｈａｎｃｅｄｐｈｏｔｏａｃｏｕｓｔｉｃｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ（ＱＥＰＡＳ）ｉｓａｎｅｗｔｅｃｈｎｉｑｕｅｆｏｒｇａｓｄｅｔｅｃ — ｔｉｏｎ．ＩｔｉｓｒｅｖｅａｌｅｄｔｈａｔＱＥＰＡＳｈｏｌｄｓｍｅｒｉｔｓｉｎｍａｎｙａｓｐｅｃｔｓ，ｉｎｃｌｕｄｉｎｇｓｍａｌｌｖｏｌｕｍｅａｎｄｈｉｇｈｓｅｎ —
传感技术应用领域非常广泛，目前主要应用领域包括环境监测、排放物监测、与医学有关的重要气体分子研究、燃烧过程研究、星际探测和制造
近年来，大气环境污染、全球气候变暖以及工业生产过程中危险气体的产生等问题日益引起人
Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ＱＥＰＡＳ；ｔｒａｃｅｇａｓｄｅｔｅｃｔｉｏｎ；ｌａｓｅｒｓｏｕｒｃｅ；ｑｕａ￣ｚｔｕｎｉｎｇｆｏｒｋ
士
口
段去检测这些目标气体的成分及浓度。痕量气体
ｐｅｒｉｎｔｒｏｄｕｃｅｓｔｈｅＱＥＰＡＳｔｅｃｈｎｉｑｕｅｐｒｉｎｃｉｐｌｅａｎｄｔｈｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓｏｆｓｅｖｅｒａｌｄｉｆｆｅｒｅｎｔＱＥＰＡＳｓｙｓ —
第３８卷
第７期
发光学报
ＣＨＩＮＥＳＥＪＯＵＲＮＡＬＯＦＬＵＭＩＮＥＳＣＥＮＣＥ
Ｖ０１．３８Ｎｏ．７
２０１７年７月Ｊ来自ｕｌｙ，２０１７文章编号：１０００－７０３２（２０１７ｌ０７－０８３９ — １｛３
们的关注。一般情况下，这些气体的含量很低，其体积浓度远小于１％，称之为痕量气体 … 。痕量气体传感技术的发展为人们提供了有效的技术手
气体检测技术的研究热点。本文对ＱＥＰＡＳ技术的基本原理、发展历史及发展现状进行了综述，并对多种不同结构的ＱＥＰＡＳ系统发展情况进行了介绍，最后对该技术的发展前景进行了展望。
ＭＡＹｕ— ｆｅｉ，ＴＯＮＧＹａｏ，ＨＥＹｉｎｇ，ＺＨＡＮＧＬｉ — ｇｏｎｇ，ＹＵＸｉｎ
（ＮａｔｉｏｎａｌＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｎＴｕｎａｂｌｅＬａｓｅｒ，ＨａｒｂｉｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｆＴｏｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈａｒｂｉｎ１５０００１，Ｃｈｉｎａ）ＣｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇＡｕｔｈｏｒ，Ｅ— ｍａｉｌ：ｍａｙｕｆｅｉ＠ｈｉｔ．ｅｄｕ．ｃｎ
ｔｅｍｓ．Ｆｕｒｔｈｅｒｍｏｒｅ，ｔｈｅｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｐｒｏｓｐｅｃｔｏｆｔｈｉｓｋｉｎｄｔｅｃｈｎｉｑｕｅｉｓａｌｓｏｐｒｅｄｉｃｔｅｄ．
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键
词：石英增强光声光谱；痕量气体检测；激光器；石英音叉
文献标识码：ＡＤＯＩ：１０．３７８８／￣ｘｂ２０１７３８０７．０８３９
中图分类号：ＴＮ２４７；ＴＮ２４９
ＲｅｓｅａｒｃｈＰｒｏｇｒｅｓｓｏｆＱｕａｒｔｚ－ｅｎｈａｎｃｅｄＰｈｏｔｏａｃｏｕｓｔｉｃＳｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ
ｓｉｔｉｖｉｔｙ．Ｔｈｅｒｅｆｏｒｅ，ｉｔｈａｓｂｅｃｏｍｅｔｈｅｈｏｔｒｅｓｅａｒｃｈｉｎｇｔｏｐｉｃｏｆｔｒａｃｅｇａｓｄｅｔｅｃｔｉｏｎｔｅｃｈｎｉｑｕｅ．Ｔｈｉｓｐａ —