电容式微加速度计零偏的补偿方法
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电容式微加速度计零偏的补偿方法
刘民杰;董景新
【期刊名称】《中国惯性技术学报》
【年(卷),期】2008(16)1
【摘要】在电容式微加速度计系统中,零偏是一个普遍存在的问题.针对这个问题设计了一种采用二进制权重的微小电容阵列,引入了基于电荷的电容测量方法并对其进行了仿真验证,验证表明这种电容测量方法具有约0.01fF的测量精度.采用该种电容测量方法对微小电容阵列进行仿真,在线宽为0.18 um的一层多晶硅六层金属的CMOS工艺下,取得了1.23% 的相对精度,表明这种方法是可行性.
【总页数】4页(P86-89)
【作者】刘民杰;董景新
【作者单位】清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084;清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084
【正文语种】中文
【中图分类】U666.1
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