锆钛酸铅薄膜腐蚀研究

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文章编号：０７２７（０７０－７１０１０－２６２０）５０１－４
ＥｒｄｎｆｌａｉｃｎｔｉｎｔＰｏｉｇｏｅｄｚｒｏａｅｔａａｅ（ＺＴ）ｔｉｌｔｈｎｆｍｓｉ
ＣＡＩＣｈａｇ－ｏｇｎｌｎ，ＬＩＭｉｇ，ＭＡｅ－ｏｇｎＷｉｈｎ，ＬＩＷｅ－ｕＵｉｇｏ
维普资讯
第３６卷第５期
ＶＯ．１３６ＮＯ．５
红外与激光工程
ＩｆａｅｎａｅｇｎｅｉｇｎｒｒｄａｄＬｓｒＥｎｉｅｒｎ
２００７年ｌ月０
０ｃ．２０７ｔ０
锆钛酸铅薄膜腐蚀研究
Ｏ引
言
易，腐蚀时能够保持准确的化学计量比。文中拟采用
湿法腐蚀方法来进行ＰＴ薄膜的图形化。Ｚ
ＰＴ主要由钛、和铅的氧化物组成。钛可溶于Ｚ锆
锆钛酸铅（Ｚｘｉｇ，ＺＴ）陶瓷是目前应用最￣ｒＯ。Ｔ－Ｐ
多学者［６究ＰＴ薄膜的图形化技术。Ｂａｄ４１－研ＺＰ．ｕｅ等人
微电子学、集成光学以及微机械学等技术领域有着重要的或潜在的应用，它是制备红外热成像探测器、铁
纵向腐蚀速率随温度和浓度变化曲线，蚀比（比纵）于ｌ１０，图形表面无残留物。侧横小：．７且
关键词：Ｚ薄膜；湿法腐蚀；腐蚀速率ＰＴ
中图分类号：Ｂ０Ｔ３４
文献标识码：Ａ
方。文中所采用的ＰＴ薄膜是通过溶胶一Ｚ￣（ｌｅ）获得的，研究腐蚀溶液组分、度以及浓度对ｓ — １法ｏｇ在温
腐蚀速率影响的基础上，成功获得了ＰＴ薄膜微图形化的湿法腐蚀工艺。过实验研究，Ｚ通获得了横向和
蔡长龙，李明，卫红，卫国马刘西安７０３）１０２
（安工业大学光电微系统研究所，陕西西
摘要：过对腐蚀溶液的优化，得了一种刻蚀效果良好的锆钛酸铅（Ｚ）膜的腐蚀溶液配通获ＰＴ薄
ｔｅｍｅｎｆｓｌｇｌｍｅｈｄ．Ｔｈｎｕｎｅｏｅｓｌｔｎｃｍｐｓｔｏｓｅｅａｕｅｎｅｃｎｅｔａｉｎｈａｓｏｏ－ｅｔｏｓｅｉｆｅｃｆｔｏｕｉｏｌｈｏｏｉｎ，ｔｍｐｒｔｒｓａｄｔｏｃｎｒｔｓｉｈｏ
（ｃｏｏｔｅｅｔｃｌＳｓｍａｏａｏｙＸｉａｅｈｏｏｙＵｎｖｒｉ，１０２ｈｎ）Ｍｉｒ — ｐｏｌｃｒａｙｔＬｂｒｔｒ，ｎＴｃｎｌｇｉｅｓｙＸｉａ７０３，Ｃｉａｉｅｔｎ
Ａｂｓｒｃ：ｗｅ —ｃｅｉａｒｄｎｒｅｓｏＺＴｈｎｆｌｓｓｒｐｒｅｔａｔＡｔｈｍｃｌｅｏｉｇｐｏｃｓｆＰｔｉｍｉｅｏｔｄ．ＰｆｌｓｒｐｅａｅｙｉＺＴｉｍａｅｒｐｒｄｂ
广、究最深的铁电材料。钙钛矿结构的ＰＴ材料具研Ｚ有优异的热释电、电、电、电和介电特、水，化合钛必须用氧化性Ｃ、Ｏ、ＦＨＰ王但酸来腐蚀；只受Ｈ、锆Ｆ王水的腐蚀；只在Ｈ、铅Ｆ王水、浓ＨＳＨＯ及Ｆ和ＨＯ介质中腐蚀】Ｎ。。之前，许有
ｏｅｅｏｄｎａｅｉｔｄｅｎｔｒｉｇｒｔｓｓｕｉｄ．ＴｈａｔｒｉｇｔｃｎｑｅｏＺＴｈｎｆｌｓｉｕｃｓｆｌｙｏｔｉｅｓｎｈｈｅｐｔｅｎｎｅｈｉｕｆＰｔｉｍｓｓｃｅｓｕｌｂａｎｄｕｉｇｔｅｉｗｅ —ｃｅｃｌｅｏｉｇｔｈｍａｒｄｎ．Ａｆｅｅｅｃｉｇ，ｔｅｒｌｔｎｈｐｃｒｅｆｔｅｔａｓｅｓａｄｖｒｉａｒｄｎａｉｉｔｒｒｓａｈｎｈｅａｉｓｉｕｖｓｏｎｖｒｅｎｅｔｌｅｏｉｇｒｔｒｏｈｒｃｏｒｂａｎｄｈａｉｏｎｖｒｅｖｒｃｌｉｅｓｔｎｌ：．７ｎｏｒｓｄｅｓｏａｔｒａｅｏｔｉｅ，ｔｅｒｔｆｔａｓｅｓ／ｅｉａｓｌｓａ１０，ａｄｎｅｉｕｓｉｎｔｅｐｔｅｏｒｔｈｈｎＫｅｒｓＰＺＴｈｎｆｌｓ；Ｗｅ－ｈｍｃｌｅｏｉｇ；Ｅｒｄｎａｅｙｗｏｄ：ｔｉｍｉｔｃｅｉａｒｄｎｏｉｇｒｔ