单晶碱制绒工艺文件A1

单晶碱制绒工艺文件A1
单晶硅碱制绒工艺文件
目录
1.目的 (2)
2.适用范围 (2)
3.职责 (2)
4. 碱制绒工艺 (2)
4.1目的 (2)
4.2原理 (2)
4.2.1制绒原理 (2)
4.2.2 NaOH作用 (3)
4.2.3 Na2SiO3作用 (3)
4.2.4 IPA作用 (3)
4.2.5 HCl酸洗作用 (3)
4.2.6 HF酸洗作用 (3)
4.3 范围 (3)
4.4 工艺流程 (3)
5.操作注意点 (5)
5.1开包和插片注意点 (5)
5.2 抬花篮架注意点 (5)
5.3配液和加液注意点 (5)
5.4手动操作的时候注意点 (5)
6工艺参数 (6)
7．常见异常处理 (7)
8.检验卡片 (8)
9.工序控制点 (9)
9.1腐蚀过程控制 (10)
9.2 工艺状态控制 (10)
9.3 化学试剂、气体源代用，更换供应厂商的控制 (10)
1.目的
确保碱制绒工艺处于受控和稳定的状态。

2.适用范围
适用于本公司单晶制绒工序。

3.职责
3.1 本文件由工艺技术部负责制定、更新和修订，由工艺经理监督并保证如
实执行，工艺技术部具体执行。

3.2 本文件的必须经过工艺部经理的签字认可并备案，方可交付执行。

4. 碱制绒工艺
4.1目的
4.1.1 去除单晶硅片在切片过程中产生的机械损伤层。

4.1.2 在硅片表面形成均匀的金字塔结构，减小反射率。

4.1.3 为扩散提供一个好的基底。

4.2原理
4.2.1制绒原理：
在低浓度NaOH水溶液中，硅片表面发生各向异性腐蚀，产生密集的金字塔型角锥体结构。

4.2.2 NaOH 作用：腐蚀硅片，与硅反应。

化学反应方程式：Si+2NaOH+H 2O=Na 2SiO 3+2H 2↑。

4.2.3 Na 2SiO 3作用：减缓反应，起到缓冲剂的作用
4.2.4 IPA 作用：降低溶液的表面张力，起到减小气泡、消泡和调节金字塔大小的作用。

4.2.5 HCl 酸洗作用：络合和去除硅片表面残留的金属离子
4.2.6 HF 酸洗作用：去除硅片表面的二氧化硅氧化层，起到使硅片脱水的作用。

4.3 范围
适用于中联科伟达单晶碱制绒设备（型号，CUCKWD-KSQ-03001L, CUCKWD-KSQ-03002L ）
4.4 工艺流程
单晶制绒工艺流程图
合格
开包装盒、插片过程检验
组装大花篮不合格
合格不合格
1号预处理槽 2号QDR 清洗槽
3号、4号制绒槽
5号QDR 清洗槽
9号混酸槽 10号OF 槽
13号慢提拉槽
12号QDR 清洗槽
分类退库 8号QDR 清洗槽 6号、7号制绒槽 11号混酸槽
质检转入扩散工序返回制绒工段 14号烘干槽下料台
5.操作注意点
5.1开包和插片注意点：
5.1.1用美工刀时，深度不能超过包装盒的厚度，防止刀片将硅片划伤；
5.1.2整个插片过程中，禁止裸手与片盒接触，避免片盒与衣物接触；
5.1.3双手须戴PVC手套，手指上需套手指套，手指禁止接触硅片表面；
5.1.4手套须洁净、无破损、无汗迹，每插1000片硅片（根据“手套须洁净、无破损、无汗迹”的标准和实际情况调整更换频率）需更换手套；
5.1.5硅片盒需保持干净，不允许贴标签。

5.1.6插片过程中，须将有崩边、严重线痕、翘曲、油污片、原损片（穿孔、缺角、隐裂等）、明显偏厚或偏薄等不合格硅片挑出（除包装盒上写明不合格硅片类型外）。

5.1.7数量校对
插完一个包装盒内的硅片后，核对硅片的数量是否与泡沫盒盖上标示的相符合。

5.2 抬花篮架注意点
需双人双手抓住花篮架抬，防止花篮架变形。

严禁单人操作！
5.3配液和加液注意点：
初始配液和中间补液过程中，操作员必须佩带橡胶手套、3M防毒面具、橡胶防护围裙等劳保用品。

加液过程中一定要缓慢细心，禁止将液体溅出。

5.4手动操作的时候注意点
5.4.1 机械臂手动操作前一定要在点动状态下恢复原点
5.4.2 机械臂脱钩时一定要注意对应槽子的槽盖处于打开状态
5.4.3 机械臂在慢提拉槽脱钩时一定要注意慢提拉机械臂要在高位的状态
6工艺参数
单晶制绒各槽工艺参数
槽标号作用初配液温度
/℃
时间/s 补液及周期
1#预清洗
槽
清洗8LIPA 70 120 4L/2h
2#QDR清洗
槽
清洗H2O 常温120 每班换液
3#、4#制绒
槽制绒
1200gNaOH、650mL
添加剂、7.5LIPA
80 1000
130-150gNaOH、20-25mL
添加剂、0.6LIPA/批
5#QDR清洗
槽
清洗H2O 常温180 每班换液6#、7#制绒
槽制绒
1200gNaOH、650mL
添加剂、7.5LIPA
80 1000
130-150gNaOH、20-25mL 添加剂、0.6LIPA/批
8#QDR清洗
槽
清洗H2O 常温180 每班换液9#混酸槽去除
金属
离子
8LHF4LHCl 常温200 每班换液10#OF清洗
槽
清洗H2O 常温100 每班换液11#混酸槽去除
SiO2
8LHF4LHCl 常温100 每班换液12#QDR清
洗槽
清洗H2O 常温100 每班换液13#慢提拉
槽拉干
硅片
表面
的水
H2O 65 10 每班换液
14#热风烘
干槽烘干
硅片
无90 360
备注：浓度HF 49%wt; HCl 36%wt 7．常见异常处理
白斑适当提高氢氧化钠的
浓度（手动补加
150-180g的氢氧化钠）
发白适当提高氢氧化钠的
浓度（手动补加
150-170g的氢氧化钠）
小雨点在制绒槽中手动补加
一定量的IPA
（1L-1.5L）
水纹 1.可以将制绒温度适
当降低1-2度。

2.在制绒槽中手动补
加一定量的IPA
（1L-2L）
发亮适当减小NaOH的补
液量（可以尝试降低
50g左右）
8.检验卡片
检验卡片产品名称
单晶硅太阳电
池
名称碱制绒产品图号图号
工作地制绒间工序号 1 来自何处材料库交往何处扩散前清洗
序号
检测内容及技术要求检测
方法
检验器具
全检备注名称规格及精样本抽检
1
表面清洁度
目检日光灯200 3
自检要求表面无明显的沾污物、指纹和划痕
2
绒面状况
目检
金相
显微镜
10×40200 1
自检要求金字塔大小均匀，覆盖率在95%以上
3
硅片重量
称量电子台秤0.01g 200 1
自检要求减少重量控制在0.3g～0.5g
4 反射率不大于15.2% 仪器检测反射率仪200 1
自检
9.工序控制点
工序控制点操作指导卡电池类型单晶硅太阳电池
编号碱制绒
工作地制绒间工序号 1 工序名称制绒控制点编号TXT-1 设备名称及型号中联科利制绒机工装名称及编号
工序因素控制
序号控制项目及内容控制方法
检验器具检查
频次名称规格精度
1 腐蚀温度：△=±2℃监控温度水银温度计1℃1次/天
控制程序：
9.1腐蚀过程控制
9.1.1按照控制因素的相应检查要求进行检查调整，使各控制因素稳定在控制界限值之内，并作好记录。

9.1.2投片进行生产。

9.1.3按照质量特性值和技术要求进行检查、记录。

若发现质量特性值不符合规范要求，应按照本程序 1.1条进行检查
调整，并报告工艺师。

9.2 工艺状态控制
9.2.1按照第1条进行过程控制不能保证产品质量特性值和技术要求时，应当进行工艺状态诊断，查明原因后，提出调
整试验方案报告。

9.2.2工艺状态的调整应由工艺师出具书面报告，经主管领导批准后方可进行。

9.2.3工艺状态的调整试验应有试验记录，试验完成后应有试验报告。

9.3 化学试剂、气体源代用，更换供应厂商的控制
9.3.1当使用新的供应厂商提供的化学试剂时，必须有材料质量检验合格证，并且必须先做工艺应用试验，试验完成后
应有记录和报告。

9.3.2应用试验报告证明能够满足工艺技术要求和产品质量特性要求的，经质量管理部批准，可用于生产。