露点相对湿度百分比ppmRH对照表_工作表
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备注：1、湿度按露点需达到-28%RH以下方可生产； 2、注液手套箱内露点（湿度、温度）每隔半小时测量记录一次。
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露点/相对湿度百分比/ppmRH对照表 露点/相对湿度百分比/ppmRH对照表
露点仪显示湿度 -100 -98 -98 -94 -92 -90 -88 -86 -84 -82 -80 -78 -76 -74 -72 -70 -68 -66 -64 -62 -60 -58 -56 -54 -52 -50 -48 -46 -44 -42 相对湿度百分比RH/% （21.12℃环境之下） 0.000053 0.000080 0.00012 0.00018 0.00026 0.00037 0.00054 0.00075 0.00107 0.00155 0.00214 0.00300 0.00410 0.00559 0.00762 0.0104 0.0140 0.0187 0.0248 0.0328 0.0430 0.0565 0.0735 0.0948 0.123 0.157 0.202 0.257 0.325 0.410 露点仪显示湿度 -40 -38 -36 -34 -32 -30 -28 -26 -24 -22 -20 -18 -16 -14 -12 -10 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 10 12 14 16 18 相对湿度百分比RH/% （21.12℃环境之下） 0.516 0.644 0.804 1.00 1.24 1.52 1.88 2.30 2.81 3.41 4.13 5.00 5.03 7.25 8.69 10.4 12.4 14.7 17.5 20.7 24.4 28.2 32.5 37.4 42.9 49.1 56.1 63.9 72.5 82.5