一种平衡式超导量子干涉器件微波放大器及其制备方法[发明专利]

专利名称：一种平衡式超导量子干涉器件微波放大器及其制备方法
专利类型：发明专利
发明人：伍文涛,林志荣,张国峰,王永良,王镇
申请号：CN202111088251.6
申请日：20210916
公开号：CN114221629A
公开日：
20220322
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明提供一种平衡式超导量子干涉器件微波放大器及其制备方法，该平衡式超导量子干涉器件微波放大器包括第一3dB正交定向耦合器、第一阻抗匹配网络、第二阻抗匹配网络、第一超导量子干涉器件、第二超导量子干涉器件、第三阻抗匹配网络、第四阻抗匹配网络及第二3dB正交定向耦合器。

本发明的平衡式超导量子干涉器件微波放大器的整个电路输入输出端是关于SQUID对称，相较于单路SQUID微波放大器电路，平衡式SQUID微波放大器不仅能够大幅度提升输入输出匹配性能，扩展器件工作带宽，更容易实现级联，还能够改善放大器饱和功率和良好稳定。

平衡式SQUID微波放大器采用平面微纳制备工艺加工实现，与现有大部分超导器件制备工艺兼容，可大大提高相关低温探测系统集成度。

申请人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
地址：200050 上海市长宁区长宁路865号
国籍：CN
代理机构：上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人：刘星
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