高重复频率飞秒激光刻写铌酸锂光波导的研究

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ＳｃｈｏｏｌｏｆＳｃｉｅｎｃｅ，ＳｏｕｔｈｗｅｓｔＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｆＳｏｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｍｉａｎｙａｎｇ，Ｓｉｃｈｕａｎ６２１０１０，Ｃｈｉｎａ
ＲｅｐｅｔｉｔｉｏｎＲａｔｅＦｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄＬａｓｅｒ
ＦａｎＺｏｎｇｘｕｅＦｅｎｇＪｉｅＬｉｕＡｎｇＹａｎｇＹｏｎｇＪｉａＺｈｏｕＺｉｇａｎｇ
摘要利用重复频率为２５ＭＨｚ的飞秒激光刻写铌酸锂掩埋式光波导，研究了在激光作用中心及热影响区域的物质
结构，采用６５０ａｍ的激光进行端面耦合实验，观测刻写区域波导的光传输特性及损耗测量。研究发现，在激光刻写
ｄｅｆｅｃｔｓｉｎｔｈｅｉｎｎｅｒｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎｒｅｇｉｏｎ．
Ｋｅｙｗｏｒｄｓｌａｓｅｒｏｐｔｉｃｓ；ｆｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄｌａｓｅｒ；ｗａｖｅｇｕｉｄｅ；Ｒａｍａｎｓｃａｔｔｅｒｉｎｇ；ＬｉＮｂＯ３
ｏＣＩＳｃｏｄｅｓ１４０．６８１０；２３０．７３８０；１４０．７０９０
高重复频率飞秒激光刻写铌酸锂光波导的研究
范宗学冯杰刘昂杨永佳周自刚
西南科技大学理学院，四川Ｉ绵阳６２１０１０
区域的上下两个部位分别形成了传输损耗低于１．５ｄＢ／ｃｍ的单模光波导，而刻写区域中心未形成波导结构且光传输性能较弱。拉曼分析显示，刻写区域上下两个部位形成了致密化波导结构，而刻写中心形成了大尺度的缺陷。关键词激光光学；飞秒激光；光波导；拉曼；铌酸锂
激与光电孑学进展
５２，０９１４０３（２０１５）Ｌａｓｅｒ＆０ｐｔｏｅｌｅｃｔｒ０ｎｉｃｓＰｒｏｇｒｅｓｓ￣２０１５（中国激光》杂志社
ＳｔｕｄｙｏｆＢｕｒｉｅｄＷａｖｅｇｕｉｄｅＷｒｉｔｔｅｎｉｎＬｉＮｂＯ８ＣｒｙｓｔａｌｂｙＨｉｇｈ
文献标９；ＴＮ２５
ＡｂｓｔｒａｃｔＡｂｕｒｉｅｄｗａｖｅｇｕｉｄｅｉｎＬｉＮｂＯ３ｃｒｙｓｔａｌｉｓｆａｂｒｉｃａｔｅｄ，ｂｙｕｓｉｎｇｔｈｅｆｅｍｔｏｓｅｃｏｎｄｌａｓｅｒｗｈｉｃｈｒｅｐｅｔｉｔｉｏｎｒａｔｅｉｓ２５ＭＨｚ．Ｔｈｅｅｔｃｈｉｎｇｒｅｇｉｏｎｃａｎｂｅｄｉｖｉｄｅｄｉｎｔｏｔｗｏｒｅｇｉｏｎｓｗｈｉｃｈａｒｅｉｎｎｅｒｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎｒｅｇｉｏｎａｎｄｔｈｅｒｍａｌｌｙｍｏｄｉｉｅｄｆｒｅｇｉｏｎｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ．Ｔｈｅｃｏｕｐｌｉｎｇｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｓｈｏｗｓｔｗｏｓｉｎｇｌｅｍｏｄｅｂｕｒｉｅｄｗａｖｅｇｕｉｄｅｓａｒｅｇｅｎｅｒａｔｅｄｉｎｔｈｅｔｈｅｒｍａｌｌｙｍｏｄｉｉｅｆｄｒｅｇｉｏｎ，ａｎｄｔｈｅｐｒｏｐａｇａｔｉｏｎｌｏｓｓｏｆｔｈｅｔｗｏｗａｖｅｇｕｉｄｅｓａｒｅｂｅｌｏｗ１．５ｄＢ／ｃｍ．Ａｔｔｈｅｓａｍｅｔｉｍｅ，ｔｈｅｉｎｎｅｒｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎｒｅｇｉｏｎｌｅａｄｉｎｇｔｏａｌｏｗｔｒａｎｓｍｉｔｔａｎｃｅ．ＴｈｅＲａｍａｎｓｐｅｃｔｒｕｍｏｆｔｈｅｅｔｃｈｉｎｇｒｅｇｉｏｎｉｓｍｅａｓｕｒｅｄｗｈｉｃｈｓｈｏｗｓｔｈｅｌｉｇｈｔ —ｇｕｉｄｅｒｅｇｉｏｎｉｓｄｅｎｓｉｆｉｃａｔｅｄｂｙｔｈｅｔｈｅｒｍａｌｅｆｆｅｃｔｏｆｈｉｇｈｒｅｐｅｔｉｔｉｏｎ，ａｎｄｔｈｅｒｅｉｓａｌａｒｇｅ—ｓｃａｌｅ