一种挡光式MEMS VOA[发明专利]

专利名称：一种挡光式MEMS VOA
专利类型：发明专利
发明人：宋家军,张川,魏德亮,肖清明,孙莉萍,胡强高申请号：CN201510796819.8
申请日：20151119
公开号：CN105278060A
公开日：
20160127
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明公开一种挡光式MEMS？VOA，包括输入光纤(1)、输出光纤(2)、MEMS芯片(4)、反射装置，所述反射装置将输入光纤的输入光反射至输出光纤端，所述MEMS芯片(4)设置有挡光装置(4-1)，挡光装置由挡光板(4-1-1)、连接杆(4-1-2)、散热杆(4-1-3)组成，挡光板(4-1-1)与连接杆(4-1-2)之间设有空腔区域；在掉电状态下调试输入光纤(1)使其与连接杆(4-1-2)对准，连接杆(4-1-2)遮挡由输入光纤(1)进入的输入光产生与其对应的初始衰减值，输出光纤(2)位于空腔区域内不受遮挡有效通光孔径。

本发明装置可以实现掉电衰减保持为特定值5～15dB，掉电后MEMS？VOA产品仍能保持在特定工作状态，且满足最小衰减小于0.8dB、最大可调衰减达到40dB以上的要求。

申请人：武汉光迅科技股份有限公司
地址：430205 湖北省武汉市江夏区藏龙岛开发区潭湖路1号
国籍：CN
代理机构：北京天奇智新知识产权代理有限公司
代理人：陈新胜
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