西北工业大学微纳米系统实验室超净间管理文件汇编
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3. 未经许可，严禁无关人员进入超净间，任何非正式工作人员（参见正式工作 人员名单）要进入超净间必须经过超净间主管同意。任何人不得擅自将外来 人员带入超净间，超净间任何人员不得把超净间钥匙和大门钥匙转借他人。 不允许将自己管辖的仪器给他人使用。以防出现安全事故。
4. 进入超净间人员应严格遵守超净间安全管理制度。 5. 超净间内严禁烟火、严禁食宿、严禁存放个人钱物。 6. 超净间工作人员应树立安全意识，做好安全预防工作。安全第一，预防为主。 7. 超净间中有害气体的含量必须符合国家规定，对污染环境的有害物质要定期
超净间管理文件汇编
制定人：乔大勇 日期：2004 年 5 月
（生效）实验室主管签字： 日期： 年 月 日
安全管理制度 ............................................................................................1 入 室 须 知 ..............................................................................................2 卫生管理制度 ............................................................................................3 卫生责任区示意图 ....................................................................................1 消防设施分布图 ........................................................................................2 日常管理制度 ............................................................................................1 仪器设备损坏、丢失赔偿制度 ................................................................2 超净间使用者资格认定管理办法 ............................................................3 附件 1：西北工业大学微/纳米系统实验室超净间通行证....................4 附件 2：西北工业大学微/纳米系统实验室超净间使用者资格申请表6 超净间通行证管理规定 ............................................................................7 物料进入登记表 ........................................................................................8 物料领出登记表 ........................................................................................8 超净间使用登记表 ..................................................................................18 更衣柜使用说明 ......................................................................................20 实验室镊子、护目镜和片盒专用规定 ..................................................21 实验室更衣柜标签 ..................................................................................22 净化间卫生清扫记录 ..............................................................................23 洗衣机使用记录 ......................................................................................24 设备使用权限 ..........................................................................................25 净化间违规行为月报表 ..........................................................................26 净化间一般训练培训签到表 ..................................................................27
微/纳米系统实验室
NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间管理文件
安全管理制度
1. 参加实验的人员必须认真学习有关安全条例和安全技术操作规程，必须熟悉 灭火工具的存放位置和使用方法（见消防设施分布图）。室内安全设施、标 志必须齐全有效。
2. 超净间安全工作实行专人负责制，由超净间主管专门负责超净间的安全工 作。
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微/纳米系统实验室
NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间管理文件
仪器设备损坏、丢失赔偿制度
一. 出现以下情况之一，但未造成损失者，给予批评。 1. 未经超净间主管允许，将钥匙借给非超净间人员使用。 2. 未经负责人允许，擅自动用仪器。 3. 超净间各室负责人离室时未进行安全检查，不关灯或不锁门。 4. 仪器设备使用不登记。 5. 在超净间范围内进行其它影响超净间正常工作或干扰他人工 作的事。
日常管理制度
1. 超净间内仪器由专人负责，其它人员未经许可不得私自动用仪器。 2. 未经许可，严禁无关人员进入超净间。任何人不得擅自将外来人
员带入超净间。 3. 超净间人员应树立强烈的责任感，做好仪器的使用、维修和保养
工作，保证及时为科研和教学服务。仪器出现故障应及时通知主 管人员。 4. 超净间人员未经许可不得私自进入超净间，若要进入试验室须向 主管人员申请，经批准后方可进入。 5. 保持超净间内清洁卫生，走廊卫生应按值日表中安排进行，周末 超净间全体人员共同清扫超净间卫生。 6. 测试样品要做到及时准确，并做好记录，以备检查和查询。 7. 参观超净间须经有关主管人员批准，统一安排。 8. 进入超净间人员要注意安全。 9. 任何对内、对外加工服务必须填写“工艺实验流程单”，经过超净 间主管进行成本核算，签字后方可进行，如私接业务，一经发现， 立刻撤销责任人的正式使用者身份。
清洁卫生应做到每天一小扫，一周一大扫，做到台面整洁卫生，工 作井然有序。各区域负责人负责本区域的卫生清扫并登记《净化间 卫生清扫记录》，区域划分见卫生责任区示意图。 7. 超净间内禁止吸烟，禁止大声喧哗，不得在超净间进行非业务性会 客。 8. 超净间中有害气体、粉尘含量必须符合国家标准规定，对污染环境 的有害物质要定期进行分析和监测 9. 假期应安排人员值班，负责来室人员的接待及超净间的卫生工作。 10. 超净间人员应严格遵守超净间卫生管理制度。
3. 进入超净间必须踏粘尘垫，必须进行风淋。 4. 禁止携带书，资料及报纸等进入超净超净间。 5. 进入房间须关上房门。 6. 实验人员须经培训后方可做实验。 7. 实验期间，必须服从工艺人员的指导，未经许可禁止操作设
备。不听从指导者，取消入室资格。 8. 超净间内严禁烟火、严禁食宿、严禁存放个人钱物。 9. 凡进入超净间的研究人员，必须保持室内卫生及良好的实验
30northwesternpolytechnicaluniversity微纳米系统实验室超净间管理文件安全管理制度参加实验的人员必须认真学习有关安全条例和安全技术操作规程必须熟悉灭火工具的存放位置和使用方法见消防设施分布图
NORHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY
西北工业大学微/纳米系统实验室
2. 凡进入超净间的研究人员，必须保持室. 超净间内各种仪器、物品摆放要合理、整齐，与实验无关的物品禁 止存放在超净间内。
4. 参加实验的人员在实验过程中，要注意保持室内卫生及良好的实验 秩序。每次做好实验后，应将所用仪器设备复原，整理好现场。
5. 学生在每次实验结束后，须留一组人员对超净间进行清扫。 6. 超净间成员有参加本超净间清扫及维护保养仪器设备的义务，室内
进行分析和监测。超净间内易燃、易爆、剧毒物品要按有关规定专人保管和 使用，不得任意乱放。 8. 超净间内贵重、精密、稀缺仪器应有专人管理、使用和保养。 9. 仪器开机前应对仪器作全面检查，对使用非 220V 电源的仪器应重点检查电 源。 10. 仪器运行过程中，操作者不得脱离岗位，发生突然断电情况应及时关闭电源。 11. 做危险性实验时必须经超净间主管批准，有两人以上在场方可进行，节假日 和夜间严禁做危险性实验。做有危险性的实验必须在通风环境里进行。做放 射性、激光等对人体危害较重的实验，应制定严格安全措施，做好个人防护。 12. 实验中如遇紧急情况，应有急救措施，同时保护现场，并立即报告有关部门。 13. 工作结束后，应对所使用的水、电、气进行全面检查，确认无误方可离开。 14. 超净间全体人员都要树立安全意识。每日最后离室人员要负责水、电、气、 门窗的安全检查。 15. 超净间每季度举行一次消防演习，任何超净间正式工作人员都必须具备正确 处理紧急状况的能力。 16. 假期应安排人员值班，负责来室人员的接待及超净间的安全工作。
进入超净间提醒您 ..................................................................................28 离开超净间提醒您 ..................................................................................29 进入清洗间提醒您 ..................................................................................30
秩序，做到整洁、 文明、肃静。 10. 参加实验的人员在实验过程中，要注意保持室内卫生及良好
的实验秩序。每次做好实验后，应将所用仪器设备复原，整 理好现场。
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NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间管理文件
卫生管理制度
1. 超净间是进行科学研究的重要场所，必须加强管理，为超净间创造 一个良好的环境。
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微/纳米系统实验室
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回
风 黄光区
负责人：
负责人：
清洗间灰区
卫生责任区示意图
负责人：
等离子区灰区
负责人：
夹
黄光区
负责人：
道
清洗间
等离子区
负责人：
负责人：
一更
负责人：
二更
测试区
1
负责人：
炉管区灰区
负责人：
炉管区
微/纳米系统实验室
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微/纳米系统实验室
NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间管理文件
入室须知
1. 未经许可，严禁无关人员进入超净间。任何人不得擅自将外 来人员带入超净间。
2. 进入超净超净间必须穿洁净服（包括帽子，衣服，鞋，手套）， 使用清洗台时必须佩戴护目镜和使用蓝色手套并外套复合膜 手套。
NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间管理文件
消防设施分布图
回
清洗间 灰区
风
等离子区灰区
清洗间
夹
等离子区
道
声光火灾报警
火警控
制器一更
二更
测试区
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紧 急 逃 生
炉管区灰区
炉管区
紧 急 逃 生
微/纳米系统实验室
NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间管理文件
4. 进入超净间人员应严格遵守超净间安全管理制度。 5. 超净间内严禁烟火、严禁食宿、严禁存放个人钱物。 6. 超净间工作人员应树立安全意识，做好安全预防工作。安全第一，预防为主。 7. 超净间中有害气体的含量必须符合国家规定，对污染环境的有害物质要定期
超净间管理文件汇编
制定人：乔大勇 日期：2004 年 5 月
（生效）实验室主管签字： 日期： 年 月 日
安全管理制度 ............................................................................................1 入 室 须 知 ..............................................................................................2 卫生管理制度 ............................................................................................3 卫生责任区示意图 ....................................................................................1 消防设施分布图 ........................................................................................2 日常管理制度 ............................................................................................1 仪器设备损坏、丢失赔偿制度 ................................................................2 超净间使用者资格认定管理办法 ............................................................3 附件 1：西北工业大学微/纳米系统实验室超净间通行证....................4 附件 2：西北工业大学微/纳米系统实验室超净间使用者资格申请表6 超净间通行证管理规定 ............................................................................7 物料进入登记表 ........................................................................................8 物料领出登记表 ........................................................................................8 超净间使用登记表 ..................................................................................18 更衣柜使用说明 ......................................................................................20 实验室镊子、护目镜和片盒专用规定 ..................................................21 实验室更衣柜标签 ..................................................................................22 净化间卫生清扫记录 ..............................................................................23 洗衣机使用记录 ......................................................................................24 设备使用权限 ..........................................................................................25 净化间违规行为月报表 ..........................................................................26 净化间一般训练培训签到表 ..................................................................27
微/纳米系统实验室
NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间管理文件
安全管理制度
1. 参加实验的人员必须认真学习有关安全条例和安全技术操作规程，必须熟悉 灭火工具的存放位置和使用方法（见消防设施分布图）。室内安全设施、标 志必须齐全有效。
2. 超净间安全工作实行专人负责制，由超净间主管专门负责超净间的安全工 作。
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微/纳米系统实验室
NORTHWESTERN POLYTECHNICAL UNIVERSITY 超净间管理文件
仪器设备损坏、丢失赔偿制度
一. 出现以下情况之一，但未造成损失者，给予批评。 1. 未经超净间主管允许，将钥匙借给非超净间人员使用。 2. 未经负责人允许，擅自动用仪器。 3. 超净间各室负责人离室时未进行安全检查，不关灯或不锁门。 4. 仪器设备使用不登记。 5. 在超净间范围内进行其它影响超净间正常工作或干扰他人工 作的事。
日常管理制度
1. 超净间内仪器由专人负责，其它人员未经许可不得私自动用仪器。 2. 未经许可，严禁无关人员进入超净间。任何人不得擅自将外来人
员带入超净间。 3. 超净间人员应树立强烈的责任感，做好仪器的使用、维修和保养
工作，保证及时为科研和教学服务。仪器出现故障应及时通知主 管人员。 4. 超净间人员未经许可不得私自进入超净间，若要进入试验室须向 主管人员申请，经批准后方可进入。 5. 保持超净间内清洁卫生，走廊卫生应按值日表中安排进行，周末 超净间全体人员共同清扫超净间卫生。 6. 测试样品要做到及时准确，并做好记录，以备检查和查询。 7. 参观超净间须经有关主管人员批准，统一安排。 8. 进入超净间人员要注意安全。 9. 任何对内、对外加工服务必须填写“工艺实验流程单”，经过超净 间主管进行成本核算，签字后方可进行，如私接业务，一经发现， 立刻撤销责任人的正式使用者身份。
清洁卫生应做到每天一小扫，一周一大扫，做到台面整洁卫生，工 作井然有序。各区域负责人负责本区域的卫生清扫并登记《净化间 卫生清扫记录》，区域划分见卫生责任区示意图。 7. 超净间内禁止吸烟，禁止大声喧哗，不得在超净间进行非业务性会 客。 8. 超净间中有害气体、粉尘含量必须符合国家标准规定，对污染环境 的有害物质要定期进行分析和监测 9. 假期应安排人员值班，负责来室人员的接待及超净间的卫生工作。 10. 超净间人员应严格遵守超净间卫生管理制度。
3. 进入超净间必须踏粘尘垫，必须进行风淋。 4. 禁止携带书，资料及报纸等进入超净超净间。 5. 进入房间须关上房门。 6. 实验人员须经培训后方可做实验。 7. 实验期间，必须服从工艺人员的指导，未经许可禁止操作设
备。不听从指导者，取消入室资格。 8. 超净间内严禁烟火、严禁食宿、严禁存放个人钱物。 9. 凡进入超净间的研究人员，必须保持室内卫生及良好的实验
30northwesternpolytechnicaluniversity微纳米系统实验室超净间管理文件安全管理制度参加实验的人员必须认真学习有关安全条例和安全技术操作规程必须熟悉灭火工具的存放位置和使用方法见消防设施分布图
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西北工业大学微/纳米系统实验室
2. 凡进入超净间的研究人员，必须保持室. 超净间内各种仪器、物品摆放要合理、整齐，与实验无关的物品禁 止存放在超净间内。
4. 参加实验的人员在实验过程中，要注意保持室内卫生及良好的实验 秩序。每次做好实验后，应将所用仪器设备复原，整理好现场。
5. 学生在每次实验结束后，须留一组人员对超净间进行清扫。 6. 超净间成员有参加本超净间清扫及维护保养仪器设备的义务，室内
进行分析和监测。超净间内易燃、易爆、剧毒物品要按有关规定专人保管和 使用，不得任意乱放。 8. 超净间内贵重、精密、稀缺仪器应有专人管理、使用和保养。 9. 仪器开机前应对仪器作全面检查，对使用非 220V 电源的仪器应重点检查电 源。 10. 仪器运行过程中，操作者不得脱离岗位，发生突然断电情况应及时关闭电源。 11. 做危险性实验时必须经超净间主管批准，有两人以上在场方可进行，节假日 和夜间严禁做危险性实验。做有危险性的实验必须在通风环境里进行。做放 射性、激光等对人体危害较重的实验，应制定严格安全措施，做好个人防护。 12. 实验中如遇紧急情况，应有急救措施，同时保护现场，并立即报告有关部门。 13. 工作结束后，应对所使用的水、电、气进行全面检查，确认无误方可离开。 14. 超净间全体人员都要树立安全意识。每日最后离室人员要负责水、电、气、 门窗的安全检查。 15. 超净间每季度举行一次消防演习，任何超净间正式工作人员都必须具备正确 处理紧急状况的能力。 16. 假期应安排人员值班，负责来室人员的接待及超净间的安全工作。
进入超净间提醒您 ..................................................................................28 离开超净间提醒您 ..................................................................................29 进入清洗间提醒您 ..................................................................................30
秩序，做到整洁、 文明、肃静。 10. 参加实验的人员在实验过程中，要注意保持室内卫生及良好
的实验秩序。每次做好实验后，应将所用仪器设备复原，整 理好现场。
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卫生管理制度
1. 超净间是进行科学研究的重要场所，必须加强管理，为超净间创造 一个良好的环境。
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风 黄光区
负责人：
负责人：
清洗间灰区
卫生责任区示意图
负责人：
等离子区灰区
负责人：
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黄光区
负责人：
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清洗间
等离子区
负责人：
负责人：
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负责人：
二更
测试区
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负责人：
炉管区灰区
负责人：
炉管区
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入室须知
1. 未经许可，严禁无关人员进入超净间。任何人不得擅自将外 来人员带入超净间。
2. 进入超净超净间必须穿洁净服（包括帽子，衣服，鞋，手套）， 使用清洗台时必须佩戴护目镜和使用蓝色手套并外套复合膜 手套。
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消防设施分布图
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清洗间 灰区
风
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等离子区
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声光火灾报警
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紧 急 逃 生
炉管区灰区
炉管区
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