ISMI谈关于450nmSi片问题
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：． ， 。 每 １～ １ ０ １ 年过渡到更大的直径： １９ 。 ９ ０年前后 ２ ０ ｍ，２０ 年到 ３０ ｍ，２ ｌ 年将开 ０ｒ ． ０ １ ａ ０ｒ ． ０２ ａ 始使用 ４ ０ ｍ 晶片 。与 ４０ ｍ 相关 的原材料 问题主要 是：Ｓ 供应链、材料处理、（ ４ ） ５ｒ ａ ５ｒ ． ａ ｉ ’ｉ试 贝 响。
关的各项参数 。 ， （ 杨英 惠 摘译 ）
等温铝熔炼技术可节能＿半
美 国 Ａ ｏｅ 工艺公司开发出一项等温熔炼技术 （ Ｍ） ｐｇｅ Ｉ ，与传统工艺相 比可节能一半 、 Ｔ 废气排放也减少一半 。 新材料及浸没式加热器制造工艺使 ⅡＭ 工艺可用于铝 的大规模生产 。 目前 ，炼铝多使用振动炉，用天然气或燃油加 热。辐射 热是主要传 热机理 ，其热效率小于 、
表征设备和 晶片标准 。 直拉单晶炉 问题最大，也是成本 。 ０ｒ ａ
速更慢、 拉相 同长度单晶耗 时更长 ， 生产效率更低而装料量要多得多 。 当然 ， 炉子也大得多 。 晶片厚度也要增大 （ 比如说 ８５ａ ）以保持其在加工和处理过程 中的完整性。４０ ｍ 的较 ２ｂ ｎ ５ｍ 大的直径／ 厚度 比增加其在热处理过程 中滑移和破裂 的危险，这是 由于有来官温度梯度和重 力所感 生的应力 。 加工过程中晶片弯 曲度和翘 曲度会增大 ， 这又会对光刻、快速退火等加工
３ ％。 Ｏ 。
１ ２
感 ，尤其是没有适当的研发投资 。 ＩＭＩ Ｓ 已开始系统地分析和评价过渡到 ４ ０ ｍ 的最佳途径 ２ ０ 年第一季度 ，ＩＭＩ ５ｒ ａ ０６ Ｓ 成 立了 ４个研 究组：工厂布局 、工厂模拟、原材料 问题和经济分析 。在 ２ ０ ０６年 １ ０月份 ＩＭＩ Ｓ
关于制造有效性的会议上介绍 了他们的进展 。 向 ４０ ｍ过渡面临的主要问题是 ：财务分析、何 时投入量产和工艺技术可行性 。ＩＭＩ ５ｒ ａ Ｓ 认为： 要弄清经济上对业界 的影 响： 世界要达到共识并认真 总结 ３ ０ ｍ 过渡 中的经验教训。 ０一 ｍ ２ ０ 年则主要研究 ４０— ０６ ５ｒ ａ ｍ过渡 的生产和经济 问题 ：０ ｍ ． ３０ ｍ 过渡中的主要经验是工业界的协 调一致非常关键， 这包括设备和材料制造方面的早期合作， 过渡所需的多种贸易模式 。 Ｓ ＩＭＩ 必须评价贸 易和经济模式 ，继续评价和调整工艺技术对进 度和市场 以及工业发展态势的影
维普资讯
现代材料动态
２０ 年 第 期 ０７ ３
ＩＭＩ 关于 ４ ０ Ｓ 谈 ５ ｍｍＳ 片 问题 ｉ
ＩＭＩ（ Ｓ 国际半导体制造技术联盟）在 ２ ０ 年深入研究了半导体工业 向 “ ５一 过渡 ０６ ４０ ｍ ａ ｒ
的问题 。在过渡到 ３０ ｍ 晶片以后 ，工具和材料供应商对下一代晶片尺寸的 “ ０ｒ ａ 过渡 ’不敏 ’ 。
带来不利影响。将其用于制备 Ｓ Ｉ Ｏ 晶片和 ＳＧ ／ｉ ｉ ｅ 晶片也会不可避免地产生另外一些问题 。 Ｓ （ 邓志杰 摘译 ）
・
．
以熔融氧化物 电解技术无排放生产铁
麻 省理工 学院的工程人员开发 出一种适 宜环 保 的生产 铁技术 。熔融氧 化物 电解技 术 （ Ｅ ＭＯ ）仅仅释放氧气，而不产生其他排放，如 目前冶炼工艺产生的碳基化合物 。ＭＯ Ｅ法 将 电流通过液态氧化铁 ， 而后氧化铁被分解 为铁水和氧气 ， 这样工艺 中的主要副产物就是氧。 预期 ＭＯ Ｅ工艺法炼铁 比类似方法炼铝至少可提高生产率 ５ ， ． 并开发新材料 以便使现 倍 有反应器 的部件使用时间更长 。 下一步验证 ＭＯ Ｅ工艺用于生产的可能性并确定扩大生产有
关的各项参数 。 ， （ 杨英 惠 摘译 ）
等温铝熔炼技术可节能＿半
美 国 Ａ ｏｅ 工艺公司开发出一项等温熔炼技术 （ Ｍ） ｐｇｅ Ｉ ，与传统工艺相 比可节能一半 、 Ｔ 废气排放也减少一半 。 新材料及浸没式加热器制造工艺使 ⅡＭ 工艺可用于铝 的大规模生产 。 目前 ，炼铝多使用振动炉，用天然气或燃油加 热。辐射 热是主要传 热机理 ，其热效率小于 、
表征设备和 晶片标准 。 直拉单晶炉 问题最大，也是成本 。 ０ｒ ａ
速更慢、 拉相 同长度单晶耗 时更长 ， 生产效率更低而装料量要多得多 。 当然 ， 炉子也大得多 。 晶片厚度也要增大 （ 比如说 ８５ａ ）以保持其在加工和处理过程 中的完整性。４０ ｍ 的较 ２ｂ ｎ ５ｍ 大的直径／ 厚度 比增加其在热处理过程 中滑移和破裂 的危险，这是 由于有来官温度梯度和重 力所感 生的应力 。 加工过程中晶片弯 曲度和翘 曲度会增大 ， 这又会对光刻、快速退火等加工
３ ％。 Ｏ 。
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感 ，尤其是没有适当的研发投资 。 ＩＭＩ Ｓ 已开始系统地分析和评价过渡到 ４ ０ ｍ 的最佳途径 ２ ０ 年第一季度 ，ＩＭＩ ５ｒ ａ ０６ Ｓ 成 立了 ４个研 究组：工厂布局 、工厂模拟、原材料 问题和经济分析 。在 ２ ０ ０６年 １ ０月份 ＩＭＩ Ｓ
关于制造有效性的会议上介绍 了他们的进展 。 向 ４０ ｍ过渡面临的主要问题是 ：财务分析、何 时投入量产和工艺技术可行性 。ＩＭＩ ５ｒ ａ Ｓ 认为： 要弄清经济上对业界 的影 响： 世界要达到共识并认真 总结 ３ ０ ｍ 过渡 中的经验教训。 ０一 ｍ ２ ０ 年则主要研究 ４０— ０６ ５ｒ ａ ｍ过渡 的生产和经济 问题 ：０ ｍ ． ３０ ｍ 过渡中的主要经验是工业界的协 调一致非常关键， 这包括设备和材料制造方面的早期合作， 过渡所需的多种贸易模式 。 Ｓ ＩＭＩ 必须评价贸 易和经济模式 ，继续评价和调整工艺技术对进 度和市场 以及工业发展态势的影
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２０ 年 第 期 ０７ ３
ＩＭＩ 关于 ４ ０ Ｓ 谈 ５ ｍｍＳ 片 问题 ｉ
ＩＭＩ（ Ｓ 国际半导体制造技术联盟）在 ２ ０ 年深入研究了半导体工业 向 “ ５一 过渡 ０６ ４０ ｍ ａ ｒ
的问题 。在过渡到 ３０ ｍ 晶片以后 ，工具和材料供应商对下一代晶片尺寸的 “ ０ｒ ａ 过渡 ’不敏 ’ 。
带来不利影响。将其用于制备 Ｓ Ｉ Ｏ 晶片和 ＳＧ ／ｉ ｉ ｅ 晶片也会不可避免地产生另外一些问题 。 Ｓ （ 邓志杰 摘译 ）
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以熔融氧化物 电解技术无排放生产铁
麻 省理工 学院的工程人员开发 出一种适 宜环 保 的生产 铁技术 。熔融氧 化物 电解技 术 （ Ｅ ＭＯ ）仅仅释放氧气，而不产生其他排放，如 目前冶炼工艺产生的碳基化合物 。ＭＯ Ｅ法 将 电流通过液态氧化铁 ， 而后氧化铁被分解 为铁水和氧气 ， 这样工艺 中的主要副产物就是氧。 预期 ＭＯ Ｅ工艺法炼铁 比类似方法炼铝至少可提高生产率 ５ ， ． 并开发新材料 以便使现 倍 有反应器 的部件使用时间更长 。 下一步验证 ＭＯ Ｅ工艺用于生产的可能性并确定扩大生产有