钛过渡层对CVD金刚石膜热残余应力的影响

钛过渡层对CVD金刚石膜热残余应力的影响
唐达培;高庆
【期刊名称】《材料热处理学报》
【年(卷),期】2008(29)1
【摘要】选用钛作为金刚石膜和钼基体间的中间过渡层,探讨使用过渡层减小热残余应力的可能性。

建立三维有限元分析模型,对使用钛过渡层前、后,金刚石膜内及界面处的热残余应力分量的分布分别进行模拟和比较;考虑了热膨胀系数随温度的变化;讨论了热残余应力对金刚石膜失效的影响。

结果表明:采用钛过渡层后,热残余应力的特性和分布规律并未改变,但各应力分量的大小均有一定的减小。

本文所建三维的有限元分析模型与已往的一维解析模型都能得出金刚石膜沿其厚度上的径向应力分布,但前者还能得出金刚石膜在其内部及界面处的多个应力分量沿径向或沿厚度的分布规律。

【总页数】4页(P176-179)
【关键词】金刚石膜;热残余应力;钛过渡层;有限元分析;失效
【作者】唐达培;高庆
【作者单位】西南交通大学应用力学与工程系
【正文语种】中文
【中图分类】TB301;TB34
【相关文献】
1.过渡层特性对金刚石涂层残余应力影响的有限元模拟 [J], 唐达培;高庆;李映辉
2.Cr过渡层沉积粘附型CVD金刚石膜的机理研究 [J], 卢文壮;左敦稳;王珉;黎向锋;徐锋
3.金刚石膜厚度尺寸对热残余应力的影响 [J], 唐达培;高庆;吴兰鹰
4.厚钛过渡层缓解铜基上热丝CVD金刚石薄膜内应力 [J], 赵齐;代明江;韦春贝;邱万奇;侯惠君;谭笛
5.CVD金刚石厚膜的机械抛光及其残余应力的分析 [J], 徐锋;左敦稳;王珉;黎向锋;卢文壮;彭文武
因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买。