一种柔性宽波段非制冷红外探测器及其制备方法[发明专利]

专利名称：一种柔性宽波段非制冷红外探测器及其制备方法专利类型：发明专利
发明人：马建华,黄志明,褚君浩
申请号：CN202110100806.8
申请日：20210126
公开号：CN112834053A
公开日：
20210525
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明公开了一种柔性宽波段非制冷红外探测器及其制备方法。

器件先采用硅片作为衬底，在其上生长水溶性牺牲层，最后通过在水中溶解牺牲层的剥离工艺去除硬质硅片衬底，剥离后的硅片可重复使用，制备成本低。

器件本身是一种自支撑结构，热容量小，有利于提高器件响应速度。

器件选用具有宽波段响应特性的锰钴镍氧热敏电阻薄膜作为红外吸收层，不含传统的微桥制备工艺，不会形成响应波段较窄的谐振腔结构，工艺简单易操作，可实现宽波段探测。

器件柔韧性好，质量轻，防震性能高，易于转移到柔性读出电路上，应用于柔性可穿戴感知等智能化电子系统中。

本发明器件及其制备方法工艺成熟，与标准硅集成电路工艺兼容，适用于单元、线列及面阵红外探测器。

申请人：中国科学院上海技术物理研究所
地址：200083 上海市虹口区玉田路500号
国籍：CN
代理机构：上海沪慧律师事务所
代理人：郭英
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