溶胶-凝胶法ZnO薄膜的制备及性能表征

溶胶-凝胶法ZnO薄膜的制备及性能表征
辛春雨;张继德;刘成有;蒋大勇;秦杰明
【期刊名称】《吉林大学学报（理学版）》
【年(卷),期】2012(50)1
【摘要】Zinc oxide thin films were synthesized on glass substrates by means of sol-gel method. The X-ray diffraction (XRD) results show that the grain size increased with the increasing of annealing temperature, which was confirmed .by the morphology by atomic force microscopy (AFM). The UV-Vis results show that there is a stronger absorption on the near band edge of zinc oxide and the bandgap of the film at 600 °C by means of annealing treatment is 3. 23 eV. Room-temperature photoluminescence (PL) results show that all films show UV emission peak at 386. 5 nm, the deep level emission is restrained by the increase of annealing temperature.%采用溶胶-凝胶法在玻璃衬底上制备ZnO薄膜,X射线衍射(XRD)结果表明:晶粒尺
寸随退火温度的升高而增大,与原子力显微镜( AFM)分析薄膜表面形貌的结果相符；UV-Vis吸收谱线表明,在ZnO带边吸收的位置出现较强的吸收,并得到600℃退火处理的薄膜禁带宽度为3.23 eV;室温光致发光谱表明,所有薄膜均在386.5 nm处
出现一个紫外发射峰,当退火温度升高时,深能级发射受到抑制.
【总页数】4页(P122-125)
【作者】辛春雨;张继德;刘成有;蒋大勇;秦杰明
【作者单位】白城师范学院物理系,吉林白城137000;白城师范学院物理系,吉林白城137000;通化师范学院物理系,吉林通化134001;长春理工大学材料科学与工程学院,长春130022;长春理工大学材料科学与工程学院,长春130022
【正文语种】中文
【中图分类】TN814
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