扫描探针针尖的制备方法[发明专利]

专利名称：扫描探针针尖的制备方法
专利类型：发明专利
发明人：高思田,丁健,朱振东,姜静子,徐靖涛,李伟,施玉书,李琪,李适
申请号：CN201811161139.9
申请日：20180930
公开号：CN110967526A
公开日：
20200407
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本申请提供一种扫描探针针尖的制备方法，将探针前驱体以倾斜角度浸入电腐蚀液中，并可依据针尖面型需求驱动探针前驱体在电腐蚀液中做不同方向纳米级移动。

在电腐蚀液中静态腐蚀探针前驱体，并实时监测腐蚀时的电解电流，直至腐蚀电流响应跳变，将腐蚀后的探针前躯体以一定倾斜角度移出电腐蚀液。

通过扫描探针针尖的制备方法制备扫描探针方便快捷、成本低，特征尺寸及探针针尖几何面型可控。

通过实时监测腐蚀时的电解电流是否发生突变，可以更加精准的获得所需纳米功能化的扫描探针，重现性好。

申请人：中国计量科学研究院
地址：100029 北京市朝阳区北三环东路18号
国籍：CN
代理机构：北京华进京联知识产权代理有限公司
代理人：赵永辉
更多信息请下载全文后查看。